وتقدم منظفات البلازما، والبلازما Etchers، Ashers البلازما وترسيب بالرش (PVD) نظم عن طريق البحث الوهج. البحث توهج بتصنيع AutoGlow البلازما النظم، OptiGlow البلازما النظم وSputterGlow ترسيب بالرش (PVD) نظم. وقد اتخذت البحوث توهج على قطع الغيار والدعم في جميع أنحاء العالم لعدة نظم أقدم البلازما من مارس كما يشار (Plasmod، سوبر Plasmod، PM-600، كوكب المشتري RIE) ويبني مفاعلات البلازما الجديدة لتلبية الاحتياجات المختلفة والأحجام. ونحن نفهم أن معظم المعامل والناس أن شراء أنظمة البلازما تتطلب قدرا كبيرا من المساعدة قبل وبعد البيع. لدينا القدرة على تشغيل العينات الخاصة بك، والمساعدة في تركيب النظام الخاص بك. وبحث توهج معالجة عينات مجانية للزبائن التي قد ترغب في شراء أنظمتنا.

اختيار النظام الصحيح:

OptiGlow استخدامات هواء الغرفة والغاز عملية، 50 واط، كيلو هرتز 100، غرفة الألومنيوم. لتعديل السطح. نظامنا أدنى سعرا أقل من $ 11،000 (يتضمن مضخة فراغ).

OptiGlow 75 للاستخدام مع الأكسجين أو الأرجون (الغاز وغيرها)، واط 75، كيلو هرتز 100، غرفة الألومنيوم. لتعديل السطح، والبلازما التنظيف، ومعالجة prebond.

OptiGlow ACE-للاستخدام مع الأكسجين، والأرجون أو الفلور (CF4) نوع الغاز. تدفق الغاز اثنين، بأكسيد الألومنيوم غرفة. متغير 10-150 واط 13،56 ميغاهيرتز RF مولد، autotune. ري أو معالجة البلازما. لتفعيل، ashing والتنظيف والنقش. مثالية لإزالة طبقات لتحليل الفشل، النقش مجموعة متنوعة من الأفلام.

AutoGlow الهاتفي الى ثلاث الغازات الأكسجين، والأرجون أو الغازات الأخرى، غرفة الكوارتز، و 6 ركائز "، متغير 10-300 واط 13،56 ميغاهيرتز RF مولد، autotune. بالسعة الديناميكي، ودفع عملية زر تلقائي. تستخدم لتنظيف البلازما، prebond والأفلام الحفر، إزالة المواد العضوية، وإزالة مقاومة للضوء.

AutoGlow 200 يمكن معالجة 200 ركائز ملم (أو 8 "رقائق). ري أو معالجة البلازما. ما يصل الى ثلاثة الغازات الأكسجين، والأرجون أو الفلور (CF4) نوع الغاز، متغير 10-300 واط 13،56 ميغاهيرتز RF مولد، autotune، بأكسيد الألومنيوم غرفة. تستخدم لتنشيط البلازما، والتنظيف، وprebond، الحفر، وإزالة المواد العضوية، وإزالة مقاومة للضوء.

AutoGlow البلازما النظام

البلازما الأنظف. ويمكن استخدام هذا النظام فوق المنضدة في انخفاض القوة من 10 واط أو ما يصل إلى 300 واط، 13.56 ميغاهيرتز مولد الحالة الصلبة، وضبط تلقائي، والضغط للقراءة خارج، تطهير النيتروجين، وتنفيس لينة، ومدخلات الغاز الثلاثة وهي علامة CE. وAutoGlow تأتي مع ضمان 24 شهرا. مثالية لمعالجة PDMS، وإزالة عضوي أو إزالة الصور ومقاومة. لديه غرفة الكوارتز ويمكن معالجة ما يصل الى 6 "(150 ملم) ركائز.

ويستخدم نظام البلازما AutoGlow في مصانع الانتاج وكذلك المختبرات مصممة لتوفر للمجتمع الطبية والعلمية والتعليمية والالكترونيات الدقيقة مع تكنولوجيا البلازما وبتكلفة معتدلة. ويشمل الضمان 2 سنة.

نظم أكبر AutoGlow تتوفر مع الغرف الألمنيوم لتناسب متطلبات العملاء (RIE أو معالجة البلازما). في الصورة أدناه هو 200 AutoGlow. صمم لمدة تصل إلى 200 ملم (8 ") ركائز أو رقائق، CF4، O2 أو الغاز هارون، ويمكن استخدام نظام ري أو معالجة البلازما اعتمادا على الناقل عينة تستخدمها. ولديه غرفة الألمنيوم، ويمكن استخدامها لmodificaiton الحفر، ashing أو السطح.

معرفة المزيد عن AutoGlow

OptiGlow البلازما أنظمة  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. تم تصميم ACE OptiGlow لأداء البلازما وctivation، وشينغ، C أو E يميل tching على 13.56 ميغاهيرتز. وACE OptiGlow له مدخلات غاز 2 ويمكن استخدامها مع الأكسجين، والهواء، أو غازات نوع CF4. ولديه غرفة الألمنيوم، ويمكن استخدامها لمعالجة إما RIE أو البلازما. كبيرة لعملية طويلة وطبقات إزالة على عبوات أو رقائق أشباه الموصلات. تستخدم لتحليل الفشل، وإزالة مقاومة للضوء، وتنظيف المواد العضوية، النقش Parylene، والمعالجة السطحية ومجموعة كبيرة من التطبيقات الأخرى.

ويستخدم نظام OptiGlow القياسية لتعديل السطح البلازما والعلاج البلازما، تنشيط السطح. مسعرة تحت 10500 $ (دولار)، وقوي، وفوق المنضدة نظام البلازما OptiGlow مثالية لتطبيقات إنتاج أو المختبر. سهلة الاستخدام مع عرض لضغط الغرفة ووضع وحدة.

نظام OptiGlow هو أول نظام البلازما منخفضة التكلفة التي يمكن استخدامها لزيادة wettability وراحة من العدسات اللاصقة. نظام البلازما OptiGlow هي أيضا مثالية للاستخدام قبل الطلاء، والترقق وعمليات الترسيب، وفعالة للغاية في علاج مجموعة واسعة من ركائز أو مادية.

نظام OptiGlow بلازما 75 مشابه لOptiGlow القياسية ويحتوي على غرفة أكبر من الألومنيوم، و 75 واط من الطاقة والخيار لاستخدام ما يصل الى اثنين من المدخلات الغازات، مثل الأكسجين أو الأرجون. يمكن استخدامها لإزالة العضوية ومقاومة للضوء تجريد.

SputterGlow تفل نظام ترسب

الخيار الأمثل لإيداع مجموعة واسعة من العوازل أو المعادن، مع ما يصل الى ثلاثة أهداف. صممت في الأصل لإيداع سي 3 ن 4 المضادة للانعكاس الطلاء على الخلايا الشمسية كبديل لاستخدام PECVD، لأن العملية لا تتطلب SputterGlow الغازات الخطرة مثل SIH (4) لترسيب نيتريد. لدى النظام السائر الروبوتات، ومحطات ساخنة، ويتم التحكم مع الكمبيوتر اللفة أعلى.

والملكية مستو المغنطرون يولد البلازما مع قوة منخفضة أو عالية، اعتمادا على الحاجة الخاصة بك. تم تصميم SputterGlow لضمان سلامة عملية الفراغ والاستفادة من دائرة الألومنيوم (للحفاظ على خفض التكلفة).

معرفة المزيد عن SputterGlow

إعادة بناء أنظمة

وقد اتخذت البحوث توهج على المسؤولية في جميع أنحاء العالم لقطع الغيار والخدمات لكبار السن وحدات عدة من مارس كما يشار (مارس Plasmod، مارس Plasmod سوبر، مارس PM-600 و مارس كوكب المشتري أنظمة ري). نبقى مع خبراتنا والعرض بناؤها مارس ونظم تيجال البلازما. نلقي نظرة على أنظمة بناء ما لدينا لنقدمه .