SputterGlow تفل نظام ترسب

النظام للحصول على طبقة رقيقة، تفل، PVD، رقيقة ترسب الفيلم، طلاء الفراغ، لامع أو عازل ترسيب طبقة رقيقة. والوهج SputterGlow البحث هو نظام مرن للترسيب تفل مصممة لمعالجة 200mm رقائق، 156mm X 156mm الخلايا الشمسية أو أصغر رقائق، بما في ذلك قطعة من الرقائق. لا يمكن للSputterGlow قد تصل إلى ثلاث محطات عملية تبادل (يمكن تكوين كل محطة للتدفئة، ترسيب بالرش أو تفل النقش). وقد صممت في الأصل لإيداع SputterGlow سي 3 ن 4 الطلاء المضاد على الخلايا الضوئية ويمكن استخدامها لبصق إيداع مجموعة واسعة من العوازل أو المعادن.

وقد وجدت المهندسين الضوئية في SputterGlow أن تكون بديلا ممتازا لتعزيز البلازما ترسيب الأبخرة الكيميائية (PECVD) لأن عملية SputterGlow لا يتطلب Silane (SIH 4) لترسيب نيتريد.

جنبا إلى جنب مع التكلفة الهائلة من المدخرات التي لا تتطلب تيسير باهظة الثمن أو سلامة العقبات، العديد من الباحثين يشعرون هناك مزايا قوية لاستخدام فيلم باءت بالفشل لالتخميل النهائي / طلاء مضادة للانعكاس، مما أدى إلى زيادة كفاءة الخلية الضوئية. تم تصميم SputterGlow بواسطة Reche جون. للحصول على معلومات أساسية عن Reche جون يرجى الضغط على "من نحن" على هذا الموقع.

مرونة

مع محطات غرفة 3، يمكن استخدامها في SputterGlow لمجموعة متنوعة من احتياجات المعالجة. ويمكن لمحطات فردية تستخدم بالتبادل للتدفئة، أو النقش الاخرق مع خيار مناسب من الخيارات في الشراء، أو تحديثه وتعديله في وقت لاحق. وSputterGlow هو الخيار الأمثل لأغراض بحثية أو انخفاض حجم طلبات التصنيع.

النزاهة غرفة / التكلفة

فراغ اختبار

تم تصميم SputterGlow لضمان سلامة عملية الفراغ والاستفادة من دائرة الألومنيوم (للحفاظ على خفض التكلفة). وكانت الغرفة الهليوم تسرب اختبار لميليبار × 10 -10 6.5 مع جميع سدوا المنافذ، (4.8 × 10 -10 عربة).

العرف غرفة الألومنيوم تصميم يسمح لتخفيض سعر 3X بالمقارنة مع غرفة الفولاذ المقاوم للصدأ من نفس العيار. لا يمكن للSputterGlow تعمل من قوة منخفضة للغاية من 25 واط (لمعالجة أقل عدوانية)، إلى 1 كيلو واط لأكثر عدوانية ترسيب بالرش.

العرف غرفة الألومنيوم تصميم يسمح لتخفيض سعر 3X بالمقارنة مع غرفة الفولاذ المقاوم للصدأ من نفس العيار. غرفة هو 34 "في قطر × 11" طويل القامة.

الملكية التصميم

وتستخدم الملكية مستو المغنطرون لتوليد البلازما. هذه النتائج في تصميم أطول عمرا من أجل الهدف الاخرق، وتحسين التوحيد ترسب على الركيزة. فإن الوهج بحوث الملكية مستو المغنطرون أيضا تعزيز معدلات الاخرق وانخفاض نقل الحرارة إلى الركيزة.

PC الكمبيوتر التحكم

دليل أو اللفة بين كبار السيطرة على جهاز الكمبيوتر

والمعالج جزءا لا يتجزأ من يسيطر على المحركات من رقاقة نظام النقل، والموقف من الركائز رقاقة، وفتح الصمامات فراغ والغاز، وما إلى ذلك المستخدم يتحكم في عملية ترسيب عن طريق تحميل وصفة من أجهزة الكمبيوتر المحمول الشخصية الخاصة بهم (غير مرفق). يتم توصيل المعالج جزءا لا يتجزأ من جهاز الكمبيوتر المحمول عبر منفذ USB. يمكن للمستخدم خياط العملية الخاصة بهم مع برنامج البحوث الوهج تسلسل الملكية، أو تحديد أي عملية الإعداد المسبق التي تم تحميلها على أجهزة الكمبيوتر الخاصة بهم.

إمدادات الطاقة

يمكن تكوين SputterGlow مع الترددات اللاسلكية، أو لوازم العاصمة نابض التيار المستمر. يمكن استخدام SputterGlow أن تودع مجموعة متنوعة من المواد العوازل ... وأشباه الموصلات والمعادن والمواد المغناطيسية. ويمكن استخدام نابض العاصمة بدلا من وجود العرض الترددات اللاسلكية مع ميزة القضاء على شبكة التوليف. ويمكن تحديد والعاصمة العرض إذا المعادن أو المواد المغناطيسية هي أن باءت بالفشل على وجه الحصر.