ميزات SputterGlow

• رد الفعل ترسيب بالرش من سي ₃ ن ₄ أو أفلام أخرى
• يلغي الحاجة إلى الغاز Silane
• مطلوب لا الغازات الخطرة سهل لتيسير في المختبر،
• ما يصل إلى ثلاثة أهداف
• ودائع العوازل أو معادن
• 200 ملم ويفر (أو أصغر) أو 156 ملم x 156 ملم خلايا شمسية
• خيارات للتدفئة (تصل إلى 400 درجة مئوية)
• 1200 واط، 13.56 ميغاهيرتز RF مولد
• ضبط أوتوماتيكي
• توربو ودعم مضخة
• تبريد المياه صمام مفرغ التتفيل
• السائر التعامل مع الركيزة التي تسيطر عليها
• الكمبيوتر أو التحكم اليدوي للمقاييس
• MFC السيطرة على الغازات
• LED تشخيص

خيارات

• الركيزة التحيز
• RGA
• إعادة تدوير تبريد الهدف
• المعاينة ويندوز

جميع أنظمة SputterGlow تأتي مع دليل لمدة 12 شهر الضمان، والمالك، والفيديو حسب المناسبة اقامة النظام وتشغيله. وسوف توفر أيضا توهج البحث في الموقع خدمات الدعم الميداني لبدء تشغيل النظام.

لمزيد من المعلومات يرجى الاتصال الوهج بحوث الولايات المتحدة الأمريكية 480-621-8405 أو مراسلتنا .