Плазменныя ачышчальнікі, плазменныя офортистов, плазменныя Ashers і напылення (PVD) сістэмы забяспечваюць свячэнне даследаванняў. Glow даследаванняў вырабляе AutoGlow плазменных сістэм, OptiGlow плазменных сістэм і SputterGlow напылення (PVD) сістэм. Glow даследаванняў ўзяла на сябе часткі і падтрымку па ўсім свеце на працягу некалькіх старэйшых плазменных сістэмах з Nordson САКАВІКА (Plasmod, Super Plasmod, ПМ-600, Юпітэр гарыць) і будуе новыя рэактары плазмы для розных патрабаванняў і памераў. Мы разумеем, што большасць лабараторый і людзі, якія купляюць плазменныя сістэмы патрабуюць вялікую дапамогу да і пасля продажу. У нас ёсць магчымасць запусціць свае ўзоры, і дапамагчы з устаноўкай сістэмы. Glow даследаванні будзе апрацоўваць свабодныя ўзоры для кліентаў, якія могуць хочаце набыць нашы сістэмы.

Правільны выбар сістэмы:

OptiGlow-пакаёвы паветра выкарыстоўваецца ў якасці тэхналагічнага газу, 50 Вт, 100 кГц, алюміній камеры. Для мадыфікацыі паверхні. Наша нізкая цане сістэмы $ 11,000 (уключаючы вакуумны помпа).

OptiGlow 75 для выкарыстання з кіслародам або аргону (і іншых газаў), 75 Вт, 100 кГц, алюміній камеры. Для мадыфікацыі паверхні, плазменнай ачысткі, prebond лячэння.

OptiGlow АПФ для выкарыстання з кіслародам, аргонам або фтор (CF4) тып газу. Два газу расходомера, анадаваны алюміній камеры. Пераменны ад 10 да 150 Вт 13,56 МГц ВЧ-генератара, аўтаматычнай наладкі. RIE ці плазменнай апрацоўкі. Для актывацыі, озоления, ачысткі і тручэння. Ідэальна падыходзіць для выдалення слаёў Failure Analysis, тручэння розных фільмаў.

AutoGlow-да трох газаў, кіслароду, аргону і іншых газаў, кварц камеру, 6 "субстратаў, пераменны ад 10 да 300 Вт 13,56 МГц ВЧ-генератара, аўтаматычнай наладкі. Ёмістная сувязь, кнопка аўтаматычнага кіравання. Выкарыстоўваецца для плазменнай ачысткі, prebond, тручэнне плёнак, выдаленне арганікі, выдаленне фотарэзістам.

AutoGlow 200 можа апрацоўваць 200 мм падкладкі (або 8 "пласцінах). RIE ці плазменнай апрацоўкі. Да трох газаў, кіслароду, аргону і фтору (CF4) тып газу, пераменны ад 10 да 300 Вт 13,56 МГц ВЧ-генератара, аўтаналадкі, анадаваны алюміній камеры. Выкарыстоўваецца для плазменнай ачысткі, актывацыі, prebond, тручэнне, выдаленне арганікі, выдаленне фотарэзістам.

AutoGlow плазменныя сістэмы

Плазменныя Cleaner. Гэтая настольная сістэма можа быць выкарыстана пры нізкай магутнасці 10 Вт і да 300 Вт, 13,56 МГц цвёрдага стану генератара, аўтаматычнай наладкі, ціск счытвання, прадзьмуху азотам, мяккія вентыляцыі, тры ўваходу газу і мае маркіроўку CE. AutoGlow пастаўляецца з 24-месячная гарантыя. Ідэальна падыходзіць для лячэння PDMS, выдалення арганічных або фотарэзіст выдалення. Мае кварцавую камеру і можа апрацоўваць да 6 "(150 мм) падкладках.

Сістэма AutoGlow плазма выкарыстоўваецца ў вытворчасці завода, а таксама лабараторый, прызначаныя для забеспячэння медыцынскіх, навуковых, адукацыйных і мікраэлектронікі сумесна з плазменнай тэхналогіі пры ўмеранай кошту. Уключае ў сябе 2-гадовая гарантыя.

Больш за буйныя сістэмы AutoGlow даступныя з анадаванага алюмінія камеры, каб адпавядаць патрабаванням Заказчыка (гарыць ці плазменнай апрацоўкі). На фота ніжэй AutoGlow 200. Прызначаны для да 200 мм (8 ") падкладках або пласцін, CF4, O2 ці аргону, сістэма можа быць выкарыстана для RIE ці плазменнай апрацоўкі ў залежнасці ад ўзору носьбіта Вы выкарыстоўваеце. Ён мае камеру анадаванага алюмінія і можа быць выкарыстаны для modificaiton тручэння, озоления або паверхні.

Даведайцеся больш пра AutoGlow

OptiGlow плазменных сістэмах  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE прызначаны для выканання плазменнай ctivation, Шинг, C або E толку фактараў, якія дазваляюць на частаце 13,56 МГц. OptiGlow ACE мае два ўваходу газу і можа быць выкарыстаны з паветрам, кіслародам або CF4 газаў тыпу. Ён мае камеру анадаванага алюмінія і можа быць выкарыстаны як для RIE ці плазменнай апрацоўкі. Выдатна падыходзіць для доўгага працэсу і выдаленне пласта на пакаванні або паўправадніковых чыпаў. Выкарыстоўваецца для Failure Analysis, выдаленні фотарэзіст, ачысткі арганічных рэчываў, тручэнне Parylene, апрацоўка паверхні і мноства іншых прыкладанняў.

Стандартная сістэма OptiGlow выкарыстоўваецца для плазменнай мадыфікацыі паверхні і плазменнай апрацоўкі, паверхня актывацыі. Ацэнены ў $ 10,500 (USD), моцны, настольны OptiGlow плазмы сістэма ідэальна падыходзіць для вытворчасці або лабараторыі прыкладанняў. Лёгкі ў выкарыстанні з дысплеем для камеры ціску і стану модуля.

Сістэма OptiGlow 1. Нізкага плазмы выдаткі, якія могуць быць выкарыстаны для павышэння смачиваемости і выгода кантактных лінзаў. Сістэма OptiGlow плазмы таксама ідэальна падыходзіць для выкарыстання перад нанясеннем пакрыцця, ламініраванне і аблогі, а таксама вельмі эфектыўныя пры лячэнні шырокага спектру падкладкі або матэрыялу.

OptiGlow 75 плазменных сістэма падобная на стандартную OptiGlow і мае вялікі алюмініевай камеры, 75 Вт і магчымасць выкарыстоўваць да двух ўваходных газаў, такіх як кісларод і аргон. Можа быць выкарыстаны для выдалення арганічных і зняцця фотарэзістам.

SputterGlow напылення сістэмы

Ідэальны выбар для нанясення шырокага спектру дыэлектрыкаў і металаў, з трыма мэтамі. Першапачаткова распрацаваны для нанясення Si 3 N 4 антыблікавае пакрыццё на сонечных батарэях у якасці альтэрнатывы выкарыстання ПХО, таму што працэс SputterGlow не патрабуе небяспечных газаў, такіх як SiH 4 нітрыду аблогі. Сістэма мае крокавы робататэхнікі, падагрэў станцыі, і кіруецца з дапамогай партатыўныя кампутара.

Маёмасныя плоскага магнетрона генеруецца плазма з нізкай ці высокай магутнасці, у залежнасці ад вашых патрэбаў. SputterGlow быў распрацаваны для забеспячэння цэласнасці працэсу вакуум і выкарыстоўваць алюмініевую камеру (каб захаваць кошт ўніз).

Даведайцеся больш пра SputterGlow

Адноўленыя сістэмы

Glow даследаванняў ўзяла на сябе ўсім свеце адказнасць запасных частак і абслугоўвання на працягу некалькіх старых установак ад Nordson сакавіка (сакавік Plasmod сакавіка Супер Plasmod сакавіка ПМ-600 і сакавіку Юпітэр RIE сістэмы). Мы застаемся з нашым вопытам і прапановы адноўлены сакавіка Tegal плазменных сістэм. Зірніце на тое, што адноўлены сістэмы мы можам прапанаваць .