AutoGlow плазменных сістэмах

Сістэма AutoGlow плазме хіміі настольны плазменны рэактар ​​прызначаны для забеспячэння медыцынскіх, навуковых, адукацыйных і вытворчасць мікраэлектронікі сумесна з плазменнай тэхналогіі пры ўмеранай кошту. Сістэма выкарыстоўваецца ў вытворчасці, а таксама R & D цэнтраў. Выкарыстоўваецца для аргоновой плазмы, кіслароднай плазмы, плазменных пакрыццяў, PDMS, лячэнне кіслародам плазмы, фотарэзіст зачысткі, Ф. прыкладанняў, Parylene выдалення, выдалення арганічных і лабараторнага выкарыстання.

Універсітэты і кампаніі ва ўсім свеце знайсці сістэму AutoGlow плазмы ідэальна падыходзіць для іх патрэб плазмы.

Сістэма AutoGlow плазма з'яўляецца самай эфектыўнай сістэмай у сваім родзе на рынку, таму што яго пераменны 10 Вт да 300 Вт, 13,56 МГц цвёрдых генератар дзяржавы. Сістэма AutoGlow плазмы таксама прызначаны для эфектыўнага прабоя газаў прадстаўлена сістэма стварэння актыўных формаў, які дазваляе хутка ачысціць або мадыфікаваць ўзору. Аўтаматычная налада і счытванне ціску ўключаны. AutoGlow можа ўдарыць плазмы на ўзроўні 10 Вт!

Аўтаматычны / націску кнопкі.

Glow даследаванняў заняў лепшы дызайн старой сістэмы, і абнаўленне сістэмы AutoGlow плазмы з улікам сучасных тэхналогій, у тым ліку наш уласны дэтэктар велічыня фазы і SimpleMatch РФ сетка, якая дазваляе эфектыўна налады плазмы і забяспечвае хуткую апрацоўку без праблем пастаянна прыстасоўвацца да розных ўзору нагрузкі. AutoGlow вельмі надзейны і мае двухгадовую гарантыю! Лёгка замяняюцца модуляў ў сістэме: ВЧ генератар, РФ матчу сеткі, модуль асабовай панэлі (гл. ніжэй), кварцавы палаты і модуль кіравання для газу больш дадзеных і інфармацыі, калі ласка, націсніце на кнопку "Асаблівасці AutoGlow" справа на гэтай старонцы. .

Вось тое, што апошнія кліентаў было казаць аб іх AutoGlow: «Усё працуе нармальна. Гэта толькі тармозіць разам як след. Я ўражаны, мы можам амаль цалкам попелу AZ4620 супраціў на 125 Вт на працягу некалькіх хвілін. У мяне хтосьці і выкарыстоўваць яго для папярэдняй апрацоўкі PDMS да сувязі. Пышна падыходзіць для гэтага. "
 
AutoGlow 200 прызначана для да 200 мм падкладках ці 8 ", вафлі, і можа выконваць RIE або плазма апрацоўкі, у залежнасці ад ўзору носьбіта выкарыстоўваецца. Анадаваны алюміній камера можа accomidate стандартны O2, Ar або CF4 газаў тыпу для тручэння прыкладанняў. Добра зарэкамендавалі сябе электронныя, ВЧ-генератара, якія адпавядаюць сеткі і газавага кантролю гэтак жа, як стандартны AutoGlow вышэй. Калі ласка, звяжыцеся з Glow даследаванняў для атрымання дадатковай інфармацыі аб AutoGlow 200.
AutoGlow 200 мае той жа статус, дыягнастычную карту AutoGlow які пацвярджае, што ўсе даччыныя модулі працуюць правільна. Сістэмы Справа
паказана з дадатковай прадзьмуху камеры вентыляцыйныя азоту.
AutoGlow 200 можа быць выкарыстаны для Разнастайнасць прыкладанняў ад актывацыі плазмай, ачысткі, выдалення арганічных, папярэдняе асаджэнне ачыстка   а таксама розныя прыкладанні тручэння.
 
 
 
 
 

Масачусецкі тэхналагічны інстытут мае AutoGlow ў цэнтры Stata, які выкарыстоўваецца для розных биомедицинских і микрофлюидики даследаванняў. На фота гэта Джеральдина Паўлюс, аспірант, які адказвае за AutoGlow ў Масачусецкім тэхналагічным інстытуце Будынак 66 (будынак лабараторыі Ландау).

 
 
 

"Універсітэт Райс мае AutoGlow ў Халас Research Lab. Гэтая сістэма выкарыстоўваецца для выдалення палімерных імпульснае для ўжывання ў плазмоники і нанафатоніка. На фота гэта Ліза Браўн, дактарант, які выкарыстоўвае AutoGlow для падрыхтоўкі узораў для гіганцкага малекулярнай спектраскапіі. "

AutoGlow Гарвардскага універсітэта ў сістэме Гордан Маккей Lab. Сістэма выкарыстоўваецца для выдалення арганічных, мадыфікацыі паверхні і абслугоўвае патрэбы некалькіх даследчыкаў, якія працуюць на даследаванне ДНК і расшыфроўка геному чалавека. На фота гэта Гордан Уитлок, прэзідэнт Glow даследаванняў.

На фота гэта AutoGlow на Microsystems Technology Lab ў Масачусецкім тэхналагічным інстытуце. Гэта AutoGlow выкарыстоўваецца для выдалення фотарэзіст, ачысткі і мадыфікацыі паверхні. Гэтая лабараторыя праводзіць даследаванні ў MEMS, BioMEMS, нанатэхналогіі і фатонікі.