Здыманне фотарэзіст

Сістэма AutoGlow плазма можа быць выкарыстана для зняцця фотарэзістам. Большасць карыстальнікаў выкарыстоўваюць кіслароднай плазмы для выдалення фотарэзіст з розных тыпаў пласцін (крэмній, GaAs, карбід крэмнія, нітрыд крэмнія падкладкі). Аўтаматызаванага праектавання AutoGlow плазмы сістэма дазволіць лёгка і без удзелу аператара.

Нізкая тэмпература озоления з'яўляецца эфектыўным сродкам падрыхтоўкі узораў для розных аналітычных метадаў. Кіслароднай плазмы мякка акісляць арганічныя рэчывы пакінуўшы ззаду неарганічныя. Узоры тканін, такіх як расліны або жывёлы можна спальваюць пакінуўшы трохмернай структуры некранутымі для мікраскапіі. Озоления стаўкі каля аднаго грама у гадзіну, так што сістэма AutoGlow плазмы аўтаналадкі функцыя добра падыходзіць для аўтаматычнай працы. Сістэма AutoGlow плазма можа быць выкарыстана для ачысткі перадачы клетак, вокнаў і мікраскопам.