Плазмените почистване, плазмени офортисти, плазмените Ashers и отлагане чрез разпрашаване (PVD) системи са предвидени от Glow изследвания. Glow изследвания произвежда системи за AutoGlow плазма, OptiGlow плазма системи и SputterGlow, отлагане чрез разпрашаване (PVD) системи. Glow изследвания пое части и по света за подпомагане на няколко по-старите системи плазмата от NORDSON март (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Юпитер РИО) и се изгражда нови реактора на плазма за различни изисквания и размери. Ние разбираме, че повечето лаборатории и хората, които купуват плазмени системи изискват много на помощ преди и след продажбата. Ние имаме възможността да пускате проби, и да помогне с инсталирането на вашата система. Изследвания Glow ще се обработват проби за клиенти, които може да искате да закупите нашите системи.

Изборът на правилната система:

OptiGlow използва въздуха в помещението, като процеса на газ, 50 вата, 100 KHz, камера алуминий. За промяна на повърхността. Нашата най-ниска цена система под $ 11,000 (включва вакуум помпа).

OptiGlow 75-за използване с кислород или аргон (и други газове), 75 вата, 100 KHz, камерна алуминиева. За промяна на повърхността, плазмен почистване, prebond лечение.

OptiGlow ACE за използване с кислород, аргон или флуор (CF4) вид газ. Два газови разходомери, анодизиран алуминий камара. Променлива от 10 до 150 вата 13,56 MHz RF генератор, autotune. РИО или плазмена обработка. За активиране, опепеляване, почистване и офорт. Идеален за премахване на слоеве за неизпълнение анализ, офорт разнообразие от филми.

AutoGlow-Up до три газове - кислород, аргон или други газове, кварцов камера, 6 "субстрати, променлива от 10 до 300 вата 13,56 MHz RF генератор, autotune. Капацитивен свързана бутон автоматичен режим на работа. Използва се за почистване плазма, prebond, офорт филми, отстраняване на органични, премахване на фоторезист.

AutoGlow 200-може да обработва 200 мм субстрати (или 8 "пластинки). РИО или плазмена обработка. До три газове - кислород, аргон или флуор (CF4) вид газ, променлива от 10 до 300 вата 13,56 MHz RF генератор, autotune, анодизиран алуминий камера. Използва се за почистване плазма, активиране, prebond, офорт, премахване на органични, премахване на фоторезист.

AutoGlow Plasma система

Плазменият Cleaner. Тази настолна система може да се използва с ниска мощност от 10 вата до 300 вата, 13,56 МХц солиден генератор на държавата, автоматична настройка, налягане четене, азот продухващите, мека обезвъздушаване, три газови входа и маркировка. AutoGlow идва с 24 месеца гаранция. Перфектен за лечение на PDMS, биологично отстраняване или фото-устои отстраняване. Има кварц камера и може да обработва до 6 "(150 мм) субстрати.

Системата AutoGlow плазма се използва в производствени предприятия, както и лаборатории, предназначена да осигури на медицински, научни, образователни и микроелектроника общност с плазмената технология на умерена цена. Включва 2 години гаранция.

По-големи системи AutoGlow са на разположение с анодизирани алуминиеви камери, за да съответстват на изискванията на клиента (РИО или плазмен обработка). Снимката долу AutoGlow 200. Предназначена е за до 200 mm (8 ") субстрати или вафли, CF4, O2 или Ar газ, системата може да бъдат използвани за РИО или плазмена обработка, в зависимост от пробата превозвач, който използвате. Той има анодизиран алуминий камера, и може да се използва за modificaiton офорт, опепеляване или повърхност.

Научете повече за AutoGlow

OptiGlow Plasma системи  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE е проектирана да изпълнява Плазма А ctivation,, A шин, C облегнат или E tching на 13.56 MHz. OptiGlow ACE има два входа за газ и може да се използва с въздух, кислород, или CF4 газове тип. Той има анодизиран алуминий камера, и може да се използва за РИО или плазма обработка. Чудесно за един дълъг процес и премахване на слоеве върху опаковките или полупроводникови чипове. Използва се за неизпълнение анализ, премахване на фоторезист, почистване органични, офорт на Parylene, повърхностна обработка и множество други приложения.

Стандартната система OptiGlow се използва за повърхностно плазмен Изменение и плазма, на лечение за активиране на повърхността. На цена под $ 10,500 (USD), здрав, настолна OptiGlow плазма система е идеална за производство или лаборатория. Лесен за използване с дисплей за камера под налягане и състоянието на модул.

OptiGlow Системата е първата нискотарифна система за разходите плазма, които могат да бъдат използвани за увеличаване на мокрещата и комфорт на контактни лещи. Системата OptiGlow плазма също е идеален за употреба преди нанасяне на покрития, ламиниране и процеси на отлагане, и е много ефективен при лечението на широк спектър от субстрати или материали.

OptiGlow 75 плазмена система е подобна стандартната OptiGlow и има по-голяма алуминиева камера, 75 вата мощност и възможност да използват до две входни газове, като например кислород или аргон. Може да се използва за биологично отстраняване и източване на фоторезист.

SputterGlow чрез разпрашаване на отлагане на система

Перфектният избор за депозиране на широка гама от диелектрици или метали, с до три цели. Първоначално проектирани за нанасяне на Si 3 N 4 анти-отразяващи покрития върху слънчеви клетки като алтернатива на използването на PECVD, защото процес SputterGlow не изисква опасни газове като на SIH 4 за нитрид отлагане. Системата има на степер роботика, отопляеми станции, и се контролира с една обиколка покрив компютър.

Имуществената плоскостен магнетронно генерира плазма с ниска или висока мощност, в зависимост от вашите нужди. SputterGlow е проектиран да се гарантира целостта на вакуум процес и използва камера алуминий, (да се запази цената).

Научете повече за SputterGlow

Реконструирани системи

Glow Изследванията пое в световен мащаб отговорност за части и обслужване за няколко по-стари единици от NORDSON март (март Plasmod, на март Super Plasmod март PM-600 и март Юпитер РИО системи). Ние стоим с нашия опит и да предложи възстановен март и Tegal плазмените системи. Обърнете поглед към това, което възстановен системи, ние трябва да предложим .