Tegal 903e

От касета към касета в линия с един вафли офорист с плазмените. Възможност за на Etch ВИАС и контакти. За офорт силициев диоксид, силициев нитриди и полиамиди. Системата се продава с консултация от на правилното улесняване и работа. Системата функционира и може да се докаже в нашия център за поддръжка на клиенти в Меса, Аризона. Различни подобрения са на разположение да отговарят на вашите специфични нужди.

Можеш да се справиш вафли от 3 инча на 6 инча момента е конфигуриран за 4 инча вафли.

• Микропроцесорно управление
• В момента е конфигуриран за 4 инча (100 мм) вафли.
• ENI 1000 Watt 13,56 MHz RF генератор.
• 20 възможност за процес рецепта
• Технологични газове, контролирани от Tylan MFC
• Липса на триене шпатула вземете и вафла място транспорт.
• Leybold D65 помпа кислород услуга (опционално суха помпа на разположение)
• Две Tegal затворени бримкови температурни контролери
• Декември монитор и клавиатура
• Липса на триене шпатула вземете и вафла място транспорт.
• Приложените ръководства, 208 V, 50/60 Hz

(Продажба в очакване)