Netejadors de plasma, gravadors de plasma, Plasma i Ashers deposició (PVD) són proporcionats pels sistemes de recerca Glow. Recerca Glow fabrica AutoGlow sistemes de plasma, plasma i sistemes de OptiGlow SputterGlow deposició (PVD) sistemes. Investigació Glow s'ha fet càrrec de les parts i el suport de tot el món per a diversos sistemes de plasma més grans Nordson MARÇ (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Júpiter RIE) i construeix nous reactors de plasma per a diverses necessitats i mides. Entenem que la majoria dels laboratoris i les persones que compren sistemes de plasma requereix una gran quantitat d'assistència abans i després de la venda. Tenim la capacitat d'executar les seves mostres, i ajudar amb la instal · lació del sistema. Recerca Glow processarà mostres gratuïtes per a clients que vulguin comprar els nostres sistemes.

Triar el sistema adequat:

OptiGlow-utilitza l'aire ambiental com gas de procés, 50 watts, 100 kHz, càmera d'alumini. Per a la modificació de la superfície. El nostre sistema de més baix preu per sota de $ 11.000 (inclou la bomba de buit).

OptiGlow 75-per funcionar amb oxigen o argó (i un altre gas), 75 watts, 100 kHz, la càmera d'alumini. Per modificació de la superfície, la neteja de plasma, el tractament prebond.

OptiGlow de l'ECA per funcionar amb oxigen, argó i fluor (CF4) del tipus de gas. Dos mesuradors de flux de gas, la càmera d'alumini anoditzat. Variable de 10 a 150 watts 13,56 MHz generador de RF, sintonització automàtica. EID o processament de plasma. Per a l'activació, incineració, la neteja i el gravat. Ideal per a l'eliminació de capes per a anàlisi de falles, el gravat d'una varietat de pel · lícules.

AutoGlow-fins a tres gasos d'oxigen, argó o altres gasos, càmera de quars, 6 substrats ", variable de 10 a 300 watts de 13,56 MHz, generador de RF, sintonització automàtica. Capacitiu acoblat, el funcionament de botó automàtic. S'utilitza per a la neteja de plasma, prebond, pel · lícules gravat, l'eliminació de matèria orgànica, l'eliminació de fotoprotecció.

AutoGlow 200 pot processar 200 mm (substrats o 8 "wafers). EID o processament de plasma. Fins a tres gasos, oxigen, argó i fluor (CF4) del tipus de gas, variable des de 10 fins 300 watts de 13,56 MHz, generador de RF, sintonització automàtica, la cambra d'alumini anoditzat. Usat per a la neteja de plasma, l'activació, prebond, atac químic, l'eliminació de compostos orgànics, l'eliminació de fotoresist.

AutoGlow plasma Sistema

Netejador de plasma. Aquest sistema de sobretaula es pot utilitzar a baixa potència de 10 watts o watts fins a 300 MHz, 13,56 generador d'estat sòlid, sintonització automàtica, lectura de pressió, purga de nitrogen, ventilació suau, tres entrades de gas i és la marca CE. El AutoGlow ve amb una garantia de 24 mesos. Perfecte per al tractament de PDMS, l'eliminació orgànica o esborrat de la foto-resistència. Té una càmera de quars i pot processar fins a 6 "(150 mm) substrats.

El sistema AutoGlow plasma s'utilitza en les fàbriques de producció així com laboratoris, creat per oferir un tractament mèdic, científic, educatiu i de la microelectrònica de la comunitat amb la tecnologia de plasma a un cost moderat. Inclou una garantia de 2 anys.

Els sistemes més grans AutoGlow estan disponibles amb les càmeres d'alumini anoditzat que s'adapten a les necessitats del Client (EID o processament de plasma). Mostra a continuació és un AutoGlow 200. Dissenyat per a un màxim de 200 mm (8 ") o substrats hòsties, CF4, O2 o gas Ar, el sistema pot ser utilitzat per EID o processament de plasma segons el portamostres que utilitzi. Té una càmera d'alumini anoditzat i es pot utilitzar per modificaiton aiguafort, incineració o superfície.

Més informació sobre AutoGlow

OptiGlow Plasma Sistemes  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. L'ACE OptiGlow està dissenyat per realitzar un plasma ctivation, un shing, C o E Tching tendència a 13,56 MHz L'ACE OptiGlow té dues entrades de gas i pot ser usat amb aire, oxigen, o gasos de tipus CF4. Té una càmera d'alumini anoditzat i es pot utilitzar per qualsevol de EID o processament de plasma. Ideal per un procés llarg i l'eliminació de les capes en els paquets o xips semiconductors. S'utilitza per a anàlisi de falles, l'eliminació de fotoprotecció, la neteja de matèria orgànica, el gravat Parileno, tractament de superfície i una multitud d'altres aplicacions.

El sistema OptiGlow estàndard s'utilitza per modificar la superfície de plasma i el tractament de plasma, activació de la superfície. Amb un preu de menys de $ 10,500 (USD), el robust, de sobretaula OptiGlow sistema de plasma és ideal per a aplicacions de producció o laboratori. Fàcil d'usar amb una pantalla de la càmera de pressió i l'estat del mòdul.

El sistema OptiGlow és el primer sistema de baix cost de plasma que es pot utilitzar per augmentar la humectabilitat i la comoditat de les lents de contacte. El sistema OptiGlow plasma també és ideal per utilitzar abans del recobriment, laminat i processos de deposició, i és altament eficaç en el tractament d'una àmplia gamma de substrats o materials.

El sistema de plasma de 75 OptiGlow és similar a la OptiGlow estàndard i té una càmera de alumini més gran, 75 watts de potència i l'opció d'utilitzar un màxim de dos gasos d'entrada, com ara l'oxigen o l'argó. Pot ser utilitzat per a l'extracció orgànica i fotoprotecció d'extracció.

SputterGlow sistema de deposició per polvorització catòdica

Una elecció perfecta per dipositar una àmplia gamma de dielèctrics o metalls, amb un màxim de tres objectius. Originalment dissenyat per a dipositar Si 3 N 4 anti-reflectants recobriments sobre les cèl · lules solars com una alternativa a l'ús de PECVD-perquè el procés no requereix SputterGlow gasos perillosos com ara SiH 4 per a la deposició de nitrur. El sistema compta pas a pas la robòtica, les estacions de calefacció, i es controla amb un ordinador lap-top.

La propietat de magnetró planar genera un plasma amb una potència baixa o alta, depenent de la seva necessitat. El SputterGlow va ser dissenyat per assegurar la integritat del procés de buit i utilitzar una càmera d'alumini (per a mantenir costos baixos).

Més informació sobre SputterGlow

Sistemes reconstruïts

Investigació Glow ha assumit la responsabilitat en tot el món per les parts i el servei de diverses unitats més antigues de Nordson de març (març de Plasmod, de març de Super Plasmod, de març de PM-600 i sistemes de març de Júpiter RIE). Ens quedem amb la nostra experiència i oferta reconstruïda de març i els sistemes de Tegal plasma. Fes una ullada al que van reconstruir els sistemes que tenim per oferir .