Netejadors de plasma, gravadors de plasma, Plasma i Ashers deposició catòdica (PVD) són proporcionats pels sistemes de recerca Glow. Recerca resplendor fabrica el nou AutoGlow plasma netejador / gravador, el OptiGlow sistemes de plasma i el SputterGlow deposició (PVD) sistemes. Recerca Glow també s'ha fet càrrec de les parts i el suport de tot el món per a diversos sistemes de plasma més grans Nordson MARÇ (plasmòdids, Super plasmòdids, PM-600, Júpiter RIE) i construeix nous reactors de plasma per a diverses necessitats i mides. Entenem que la majoria dels laboratoris i la gent que compra sistemes de plasma requereix una gran quantitat d'assistència abans i després de la venda. Tenim la capacitat d'executar les seves mostres, i ajudar amb la instal · lació del sistema. La investigació s'il · luminarà procés de mostres gratis per als clients que ho desitja, pot adquirir els nostres sistemes.

AutoGlow sistema de plasma

Netejador de plasma. Pot ser utilitzat a baixa potència de 10 watts o watts fins a 300, 13,56 MHz generador d'estat sòlid, la sintonització automàtica, la pressió de lectura, purga de nitrogen, ventilació suau, tres entrades de gas i és la marca CE. El AutoGlow ve amb una garantia de 24 mesos. Perfecte per al tractament de PDMS, l'eliminació orgànica o esborrat de la foto-resistència.

El sistema AutoGlow plasma s'utilitza en les fàbriques de producció, així com laboratoris, dissenyats per a proporcionar un tractament mèdic, científic, educatiu i de la microelectrònica de la comunitat amb la tecnologia de plasma a un cost moderat. Inclou una garantia de 2 anys.

Els sistemes més grans AutoGlow estan disponibles amb càmeres d'alumini anoditzat per adaptar-se a les necessitats del Client. Sistemes AutoGlow pot processar 200 mm (8 ") hòsties.

Més informació sobre AutoGlow

SputterGlow sistema de deposició per polvorització catòdica

Una excel · lent opció per a dipositar dielèctrics o metalls amb un màxim de tres objectius. Originalment dissenyat per a dipositar Si 3 N 4 revestiments anti-reflectors en les cèl · lules solars com una alternativa a l'ús de PECVD, perquè el procés no requereix SputterGlow gasos perillosos com el SiH4 per a la deposició de nitrur de silici. El sistema té pas a pas la robòtica, les estacions de calefacció, i es controla amb un ordinador lap-top.

El propietari magnetró planar genera un plasma amb una potència d'alta o baixa en funció de les seves necessitats. El SputterGlow va ser dissenyat per assegurar la integritat del procés de buit i utilitzar una càmera d'alumini (per mantenir els costos baixos).

Més informació sobre SputterGlow

OptiGlow Plasma Systems

S'utilitza per modificar la superfície de plasma i de tractament de plasma, activació de la superfície. De menys de $ 10,500 (USD), el robust, taula OptiGlow sistema de plasma és perfecte per a aplicacions de producció o laboratori. Fàcil d'utilitzar. Pantalla de la cambra de pressió i estat del mòdul.

El sistema OptiGlow és el primer sistema de baix cost de plasma que es pot utilitzar per augmentar la capacitat d'humectació i la comoditat de les lents de contacte i diversos materials. El sistema de plasma OptiGlow és ideal per al seu ús abans del seu recobriment, laminat i processos de deposició, i és altament eficaç en el tractament d'una àmplia gamma de substrats o materials. Utilitzats en MEMS Bio i la microfluídica.

El sistema de plasma de 75 OptiGlow és com el OptiGlow estàndard, però amb amb 75 watts de potència i l'opció d'utilitzar un màxim de dos gasos d'entrada, com ara l'oxigen o l'argó.

leaning or E tching at 13.56 MHz. L'ACE OptiGlow està dissenyat per realitzar un shing, C inclinat o Tching I a 13,56 MHz L'ACE OptiGlow està dissenyat per a un màxim de dues entrades de gasos i es pot utilitzar amb els gasos de tipus CF4. Cambra d'alumini anoditzat i per a qualsevol de les condicions de EID o Plasma. Ideal per a un procés llarg i l'eliminació de les capes dels paquets o els xips semiconductors.

OptiGlow ACE (neteja, incineració, Gravat)

Més informació sobre els sistemes de OptiGlow

Sistemes reconstruït

Recerca Glow ha assumit la responsabilitat de tot el món per les parts i el servei de diverses unitats més antigues de Nordson de març (març plasmòdids, de març de Super plasmòdids, de març de PM-600 i sistemes de març de Júpiter RIE). Ens quedem amb la nostra experiència i oferir reconstruïda de març i els sistemes de Tegal plasma. Fes un cop d'ull al que va reconstruir sistemes que tenim per oferir .