AutoGlow Plasma Sistemes

El sistema AutoGlow plasma és un plasma del reactor taula de química dissenyat per proporcionar a la comunitat de la microelectrònica mèdica, científica, educativa i de la producció amb tecnologia de plasma a un cost moderat. El sistema s'utilitza en la producció, així com centres de recerca i desenvolupament. S'utilitza per l'argó plasma, plasma d'oxigen, recobriment per plasma, PDMS, el tractament amb plasma d'oxigen, la foto resistir aplicacions de desbrossament, FA, l'eliminació, l'eliminació Parileno orgànica i l'ús del laboratori.

Universitats i empreses a tot el món trobar el sistema de plasma AutoGlow l'ajust perfecte per a les seves necessitats de plasma.

El sistema AutoGlow plasma és el sistema més eficient del seu tipus en el mercat causa de la seva variable de 10 watts a 300 watts, generador de 13,56 MHz d'estat sòlid. El sistema AutoGlow plasma també està dissenyat per als gasos de descomposició eficientment introduïdes en el sistema de creació d'espècies reactives que ràpidament es netegen o modificar la mostra. Sintonització automàtica i una lectura de pressió estan inclosos. El AutoGlow pot afectar un plasma de tan sols 10 watts!

Automàtic / polsador d'operació.

Investigació Glow va prendre els millors dissenys dels sistemes antics, i va actualitzar el sistema de plasma AutoGlow amb la tecnologia actual, incloent el nostre propi detector de fase i la magnitud SimpleMatch RF de xarxa que permet l'ajust de plasma eficient i ofereix un ràpid processament, sense la molèstia d'ajustar constantment a la mostra dels diversos càrregues. El AutoGlow és molt fiable i té dos anys de garantia! Els mòduls fàcilment replaceble en el sistema són: generador de RF, la Xarxa de RF del partit, el mòdul del panell frontal (veure més avall), la Cambra de quars i el Mòdul de Control de Gas Per a més dades i informació, si us plau feu clic a "Característiques AutoGlow" a la dreta d'aquesta pàgina. .

Aquí és el que un client recent va haver de dir sobre la seva AutoGlow: "Tot està funcionant molt bé. Només esbufega com hauria. Estic impressionat que gairebé es pot totalment cendres AZ4620 resistir a 125W en pocs minuts. Tinc a algú també ho està fent servir per al tractament previ de PDMS abans de la unió. Funciona molt bé per això. "
 
El 200 AutoGlow sistema està dissenyat per a un màxim de 200 mm de substrats o 8 hòsties ", i pot realitzar RIE o plasma processament-depenent de la portadora de la mostra utilitzada. La càmera d'alumini anoditzat pot acollir estàndard d'O2, Ar o CF4 gasos de tipus per al gravat de les aplicacions. El bé demostrat generador electrònic, RF, coincideixen xarxa i control de gas és la mateixa que la AutoGlow estàndard anteriorment. Si us plau, poseu-vos en contacte amb la Investigació Glow per obtenir més informació sobre el AutoGlow 200.
El AutoGlow 200 té el mateix estatus que la targeta de diagnòstic com la AutoGlow el que confirma que tots els mòduls de subvencions estan funcionant correctament. El sistema de la dreta és
es mostra amb la purga de nitrogen opcional de ventilació de la cambra.
El AutoGlow 200 pot ser usat per a una Varity de les sol · licituds d'activació de plasma, la neteja, l'eliminació orgànica, pre-deposició de neteja   així com una varietat d'aplicacions de gravat.
 
 
 
 
 

El MIT té una AutoGlow al Stata Center que s'utilitza per a diversos biomèdica i la investigació de microfluids. A la foto, és un Geraldine Paulus, un estudiant de doctorat a càrrec de la AutoGlow al MIT Building 66 (Edifici de Laboratori de Landau).

 
 
 

"La Universitat de Rice té un AutoGlow al Laboratori de Recerca Halas. El sistema s'utilitza per a l'eliminació de polímer resisteix per a aplicacions en plasmònica i nanofotònica. A la foto, Lisa Brown, un estudiant de doctorat que utilitza el AutoGlow per preparar mostres d'una major superfície de l'espectroscòpia molecular. "

Sistema de la Universitat de Harvard AutoGlow al laboratori de Gordon McKay. El sistema s'utilitza per a l'extracció orgànica, modificació de la superfície i serveix les necessitats de diversos investigadors que treballen en la investigació de l'ADN i la seqüenciació del genoma humà. A la foto, Gordon Whitlock, President de Recerca Glow.

A la foto, és el AutoGlow al Laboratori de Tecnologia de Microsistemes del MIT. Aquest AutoGlow s'utilitza per a l'eliminació de fotoresist, neteja i modificació de la superfície. Aquest laboratori realitza investigacions en MEMS, BioMEMS, nanotecnologia i fotònica.