Característiques AutoGlow

El sistema de plasma té AutoGlow electrònica d'estat sòlid, actualitzat les opcions de lliurament de gas i la tecnologia que s'espera pels usuaris i personal de seguretat de tot el món. La mida de la càmera més gran pot acomodar un 6 "substrat i és 160 mm (ID) de diàmetre x 186,94 mm (ID) de profunditat i està fet de quars d'alta puresa. El sistema de càmera i estan dissenyats per augmentar la uniformitat i la repetibilitat en comparació amb altres sistemes de plasma de taula.

El sistema AutoGlow plasma va ser dissenyat tant per a l'operació de baixa potència o d'alta potència amb una variable de 10-300 watts, 13,56 MHz del generador d'estat sòlid fent que el sistema de plasma AutoGlow el sistema més eficient del seu tipus en el mercat. L'operador pot executar un procés a 10 watts o tan alt com 300 watts per a un processament més agressiu. La potència es pot ajustar en increments d'1 watt.

  • Petit, de sobretaula del sistema
  • Variable de 10 a 300 watts a 13,56 MHz per al processament suau o més agressiva
  • Cambra de quars d'alta puresa
  • L'electrònica d'estat sòlid sense tubs
  • Detector d'estat sòlid patentat per a un ajust ràpid
  • Ajust automàtic de processament de plasma eficient
  • Pressió lectura per facilitar el processament
  • Temporitzador
  • Mostra la potència directa i reflectida i en el punt de RF conjunt
  • AutoTell diagnòstic de la targeta per a més temps d'activitat
  • Cambra de distribució de gas per a la uniformitat millorada
  • Ventilació suau per evitar que la pressió d'esclat
  • Mòdul de control de gas opcional amb un màxim de tres entrades de gas
  • Plasma uniforme per obtenir resultats ràpids i eficients
  • Propietari generador de RF i la xarxa rival per un mínim d'energia es reflecteix, independentment de la configuració d'energia
  • SimpleMatch xarxa d'adaptació per a la sintonització ràpida
  • Protecció UV incorporada a la porta vista frontal
  • Sistema totalment caracteritzat per resultats repetibles
  • Fàcil d'entendre, fàcil d'operar
  • Tota l'electrònica està a dues taules d'endoll per facilitar les reparacions
  • Posada en marxa de suport
  • Posada en marxa de vídeo
  • Manual complet i la documentació
  • Garantia de 24 mesos

El disseny de la AutoGlow comença amb la xapa metàl · lica utilitzada en el sistema. Xapa metàl · lica és tractada i emmascarat per assegurar el disseny de RF apropiat.
La caixa metàl · lica s'emmascara de manera d'augmentar el contacte metall-metall ... per eliminar les fuites de RF. Això significa que el AutoGlow colpejarà un plasma ràpidament, independentment de la càrrega de la mostra. Adequada sintonització RF comença amb el disseny del gabinet.
El AutoGlow és modular. El generador de RF es pot treure fàcilment de la part posterior del sistema. La càmera es pot treure fàcilment. Tota l'electrònica del sistema estan en una junta recanvi (connectat a la pantalla del tauler frontal). Les úniques connexions requerides són per buit elèctrica, i el gas (tots mostrats). Només ha de connectar el cable de corrent, connecteu la bomba de buit i el gas ... i ja està llest per processar les mostres.

La targeta de diagnòstic que confirmi que tots els mòduls estan funcionant correctament.

 

 

 

 

 

La Xarxa d'ajustos de RF és extremadament ràpid dels condensadors de gir de 360 ​​graus, el que permet sintonitzar AutoGlow extremadament ràpid, independentment de la càrrega a l'interior de la cambra de processament.

L'elèctrode superior és alimentat i l'elèctrode inferior és connectat a terra, la qual cosa produeix un procés químic. El AutoGlow es pot executar des d'un preu tan baix com 10 watts per al processament suau, o com alta com 300 watts per a un processament més agressiu.

Tota l'electrònica estan en una targeta electrònica. Aquesta placa està muntada a la part posterior del tauler de control frontal. El conjunt del panell frontal pot ser fàcilment reemplaçat.