Tegal 903e

Cassette a cassette en línia Gravador únic de plasma Wafer. Capacitat per gravar vies i contactes. Per aiguafort diòxid de silici, nitrurs de silici, i poliamides. Sistema es ven amb la consulta de la facilitació i funcionament adequats. El sistema està operatiu i es pot demostrar en el nostre Centre d'Atenció al Client en Mesa, Arizona. Diverses actualitzacions estan disponibles per satisfer les seves necessitats específiques.

Pot manejar hòsties de 3 polzades a 6 polzades configurat actualment per hòsties de 4 polzades.

• Control per microprocessador
• En l'actualitat configurat per a 4 polzades (100 mm) hòsties.
• ENI 1000 Watt 13,56 MHz generador de RF.
• 20 El de la capacitat de la recepta
• Els gasos de procés controlats per Tylan de MFC
• No fricció espàtula de recollida i transport d'hòsties lloc.
• Leybold D65 d'oxigen de la bomba de servei (la bomba en sec opcional disponible)
• Dos controladors de llaç tancat Tegal temperatura
• Desembre del monitor i el teclat
• No fricció espàtula de recollida i transport d'hòsties lloc.
• Manuals inclosos, 208 V, 50/60 Hz

(Venda pendent)