Plazma čističe, Plazmové grafiků, Plazmové Ashers a naprašováním (PVD) systémy jsou poskytovány záře výzkum. Záře Výzkum vyrábí nové AutoGlow plasma cleaner / etcher, OptiGlow plazmové systémy a SputterGlow naprašováním (PVD) systémy. Záře Výzkum také převzal část a celosvětová podpora pro několik starších plazmové systémy Nordson března (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter RIE), a staví nové plazmové reaktory pro různé požadavky a velikostí. Chápeme, že většina laboratoří a osoby, které nakupují plazmové systémy vyžadují velké množství pomoci, před a po prodeji. Máme možnost spouštění vzorků, a pomoci s instalací systému. Záře Výzkum bude proces VZORKY ZDARMA pro zákazníky, kteří mohou chtít koupit naše systémy.

AutoGlow plazmový systém

Plazmové Cleaner. Může být použit u malého výkonu 10 wattů a až 300 wattů, 13,56 MHz solid state generátor, automatické ladění, tlak si-out, dusíku očistit, měkké větrání, tři vstupy a plynu, je označení CE. AutoGlow přichází s 24 měsíců záruka. Ideální pro ošetření PDMS, ekologické odstranění nebo fotorezistních odstranění.

AutoGlow Plazmový systém je používán ve výrobních závodech, stejně jako laboratoře tak, aby poskytoval lékařské, vědecké, vzdělávací a mikroelektroniky Společenství s technologií plazmy za přiměřené náklady. Zahrnuje 2 roky záruky.

Větší AutoGlow systémy jsou k dispozici s eloxovaného hliníku komory, aby se vešly požadavků zákazníka. AutoGlow systémy mohou proces 200 mm (8 ") oplatek.

Zjistěte více o AutoGlow

SputterGlow naprašováním systému

Jsou perfektní volbou pro uložení dielektrika nebo kovy až tři cíle. Původně vyvinutá pro nanášení Si 3 N 4 antireflexní vrstvy na solární články jako alternativu k používání PECVD, protože proces SputterGlow nevyžaduje nebezpečných plynů, jako je SiH 4 pro nitridu uložení. Systém má stepper robotika, vyhřívaná stanic, a je řízen kolo-top počítač.

Vlastní rovinné magnetron vytváří plazma s nízkým nebo vysokým výkonem podle potřeby. SputterGlow byl navržen tak, aby proces vakua integrity a využívají hliník komory (držet náklady na nízké úrovni).

Zjistěte více o SputterGlow

OptiGlow plazmové systémy

Používané pro úpravu povrchů a plazmatu plazmy, aktivace povrchu. Cena za 10.500 dolar (USD), robustní, stolní OptiGlow plazmový systém je ideální pro výrobu nebo laboratorních aplikací. Snadné použití. Displej pro tlak ve spalovací komoře a stavu modulu.

Systém OptiGlow je první nízkonákladová Plazmový systém, který lze použít pro zvýšení smáčivosti a komfort kontaktních čoček a různých materiálů. Plazma OptiGlow systém je ideální pro použití před nátěrem, laminování a ukládání procesů, a je vysoce účinná při léčbě celé řady podkladů a materiálu. Používá se v Bio MEMS a mikrofluidikou.

OptiGlow 75 Plazmový systém je jako standardní OptiGlow, ale s 75 wattů a možnost použít až dva vstupní plyny, jako je kyslík nebo argon.

leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE je určen k provádění Shing, C nebo E sklon tching na 13,56 MHz. OptiGlow ACE je určen až pro dva plyny vstupy a lze je použít s CF4 typu plyny. Eloxovaného hliníku komory a pro jeden RIE nebo Plazma podmínek. Skvělé pro dlouhý proces a odstraňování vrstev na obalech nebo polovodičových čipů.

OptiGlow ACE (úklid, žíhání, leptání)

Více informací o systémech OptiGlow

Přebudované systémy

Záře výzkum převzala po celém světě odpovědnost za díly a servis pro několik starších jednotek z Nordson března (březen Plasmod, březen Super Plasmod, březen PM-600 a března Jupiter RIE systémy). Zůstáváme s naším know-how a nabízejí přestavěn března a Tegal plazmových systémů. Podívejte se na to, co přebudované systémy můžeme nabídnout .