Plazmové čističe, Plasma Etchers, Plasma Ashers a naprašování (PVD) systémy jsou poskytovány Glow výzkum. Glow Výzkum vyrábí AutoGlow plazmových systémů, OptiGlow plazmové systémy a SputterGlow naprašování (PVD) systémy. Glow Výzkum převzal částí a celosvětová podpora pro několik starších plazmových systémů od Nordson březnu o Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter RIE) a staví nové plazmové reaktory pro různé požadavky a velikostí. Chápeme, že většina laboratoří a osoby, které nakupují plazmové systémy vyžadují velké pomoci před a po prodeji. Máme možnost provozovat své vzorky, a pomáhat s instalací systému. Glow Výzkum bude zpracovávat vzorky zdarma pro zákazníky, které mohou chtějí koupit naše systémy.

Výběr správného systému:

OptiGlow-využívá vzduchu v místnosti jako procesní plyn, 50 wattů, 100 kHz, hliníku komory. Pro povrchové úpravy. Náš systém nejnižší cenou pod 11.000 dolarů (zahrnuje spojení s vakuovou pumpou).

OptiGlow 75 pro použití s kyslíkem nebo argon (a jiné plyn), 75 wattů, 100 kHz, hliníku komory. Pro povrchové úpravy, plazmové čištění, prebond léčba.

OptiGlow ACE pro použití s kyslíkem, argonem nebo fluor (CF4) typ plynu. Dva plynové průtokoměry, eloxovaný hliník komory. Variabilní 10 až 150 watty 13,56 MHz RF generátor, automatické ladění. RIE nebo plazmové zpracování. Za aktivaci, zpopelnění, čištění a leptání. Ideální pro odstranění vrstev pro analýzy poruch, leptání řadu filmů.

AutoGlow-až tří plynů, kyslíku, argonu nebo jiné plyny, křemen komora, 6 "substráty, variabilní 10 až 300 wattů 13,56 MHz RF generátor, automatické ladění. Kapacitní vázanou, tlačítko automatický provoz. Používá se na čištění plazma, prebond, leptáním filmy, odstranění organických látek odstranění fotorezistu.

AutoGlow 200 dokáže zpracovat 200 mm substrátů (nebo 8 "oplatky). RIE nebo plazmové zpracování. Až tří plynů, kyslíku, argonu nebo fluor (CF4) typ plynu, variabilní 10 až 300 wattů 13,56 MHz RF generátor, automatické ladění, eloxovaný hliník komora. Používá se na čištění plazma, aktivace prebond, leptání, odstraňování organických látek, odstranění fotorezistu.

AutoGlow Plazmový systém

Plazmový čistič. Tento stolní systém může být použit při nízkém výkonu 10 wattů a až 300 W, 13,56 MHz pevných generátor, automatické ladění, tlak si-out, dusíku očištění, měkké odvzdušnění, tři vstupy a zemního plynu je označení CE. AutoGlow přichází s 24 měsíců záruka. Ideální pro čištění PDMS, organických odstranění nebo foto-odolat odstranění. Má křemennou komoru a dokáže zpracovat až 6 "(150 mm) podklady.

AutoGlow Plazmový systém je používán ve výrobních závodech, stejně jako laboratoře tak, aby poskytoval lékařské, vědecké, vzdělávací a mikroelektroniku komunitu plazmové technologie při mírné náklady. Obsahuje 2 letou zárukou.

Větší AutoGlow systémy jsou k dispozici s eloxovaného hliníku komor se vejdou požadavky zákazníka (RIE nebo plazma zpracování). Na snímku dole je AutoGlow 200. Určeno pro až 200 mm (8 ") podklady nebo oplatky, CF4, O2 nebo Ar plyn, systém lze použít pro RIE nebo plazmové zpracování v závislosti na vzorku dopravce, který používáte. To má z eloxovaného hliníku komoru a mohou být použity pro lept, nebo na povrchu spalovacího modificaiton.

Zjistěte více o AutoGlow

OptiGlow Plasma Systems  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE, je určena k Plasma A KTIVACE a Shing, C nebo E opírat tching na 13,56 MHz. OptiGlow ACE má dva vstupy a plynu mohou být použití s ​​vzduch, kyslík, nebo CF4 typu plynů. To má z eloxovaného hliníku komory a může být použit jak pro RIE nebo plazmové zpracování. Skvělé pro dlouhého procesu a odstraňování vrstev na obalech nebo polovodičových čipů. Používá se pro analýzy poruch, odstranění fotorezistu, čištění organických látek, leptání Parylene, povrchová úprava a řadu dalších aplikací.

Standardní OptiGlow systém se používá pro modifikaci povrchu plazmatu a plazmatu zpracování, povrchové aktivace. Cena za 10.500 dolarů (USD), robustní, stolní OptiGlow Plazmový systém je ideální pro výrobní nebo laboratorní použití. Snadné použití s ​​displejem pro komorní tlaku a stavu modulu.

Systém OptiGlow je první nízkonákladovou Plazmový systém, který lze použít ke zvýšení smáčivosti a komfort kontaktních čoček. OptiGlow Plazmový systém je ideální pro použití před nátěrem, laminování a nanášení, a je velmi účinná při léčbě široké škály substrátů nebo materiálu.

OptiGlow 75 Plazmový systém je podobný standardnímu OptiGlow a má větší hliníkový komora, 75 wattů a možnost použití až dvou vstupních plynů, jako je kyslík nebo argon. Může být použit pro ekologické odstraňování a stripování fotorezistu.

SputterGlow naprašování systému

Ideální volbou uložit širokou škálu dielektrika nebo kovy, s až tři cíle. Původně navržený uložit Si 3 N 4 antireflexní vrstvou pro solární články jako alternativu k používání PECVD-protože proces SputterGlow nevyžaduje nebezpečné plyny, jako je SIH 4 pro nitridu uložení. Systém má krokový robotiku, vyhřívané stanice, a je ovládán lap-top počítače.

Proprietární planární magnetron vytváří plazma s nízkým nebo vysokým výkonem, v závislosti na vaší potřebě. SputterGlow byl navržen k zajištění procesu vakuové integritu a používají hliníkové komoru (udržet náklady dolů).

Zjistěte více o SputterGlow

Přebudované systémy

Glow Výzkum převzal celosvětové odpovědnosti za díly a práci pro několik starších jednotek z Nordson březnu o března Plasmod března Super Plasmod března PM-600 a března Jupiter RIE systémy). Zůstaneme s naším know-how a nabídka přestavěn března a Tegal plazmové systémy. Podívejte se na to, co přebudované systémy, které máme nabídnout .