AutoGlow vlastnosti

Poznámka plynu distrubution trubice v komoře - to pomáhá při procesu uniformity.

Plazmové AutoGlow systém elektroniky pevného skupenství, aktualizované možnosti dodávek plynu a technologie, které se očekává, jak ze strany uživatelů a bezpečnosti pracovníků na celém světě. Komora velikost je 144,27 mm (5,68 v) v průměru 186,94 mm hluboko (7.36 v) a je vyroben z vysoce čisté křemene. Systém a komora jsou určeny ke zvýšení jednotnosti a opakovatelnost ve srovnání s jinými stolní plazmových systémů. Větší komora je také k dispozici.

AutoGlow Plazmový systém byl navržen jeden s nízkým výkonem nebo vysoký výkon činnosti s variabilní 10-300 wattů, 13,56 MHz solid state generátor dělat AutoGlow Plazmový systém nejúčinnějším systémem svého druhu na trhu.

  • Malý, stolní systém
  • Variabilní 10 až 300 W na 13,56 MHz pro jemné a více agresivní zpracování
  • Komora z vysoce čistých křemenných
  • Elektroniky pevného skupenství, bez trubky
  • Vlastnické solid state detektor pro rychlé ladění
  • Automatické ladění pro efektivní zpracování plazmy
  • Tlak si pozor na snadné zpracování
  • Timer
  • Zobrazuje vpřed a odražený výkon a RF žádané
  • AutoTell diagnostická karta pro zlepšení provozuschopnosti
  • Komora distribuce plynu pro lepší uniformity
  • Měkké otvoru, aby se zabránilo roztržení tlakové
  • Volitelný modul Gas Control s až třemi vstupy plyn
  • Jednotná plazmy pro rychlé a efektivní výsledky
  • Proprietární RF generátor a síť zápas pro minimální odražený výkon bez ohledu na nastavení výkonu
  • SimpleMatch odpovídající sítě pro rychlé ladění
  • UV ochrana zabudovaný do předních dveří pohled
  • Plně charakterizovány systém pro opakovatelné výsledky
  • Snadno pochopitelný, snadno ovladatelný
  • Všechna elektronika je na dva plug in desky pro snadnou opravu
  • Podpory na zahájení činnosti
  • Start-up videa
  • Kompletní manuál a dokumentaci
  • Záruka 24 měsíců
Konstrukce AutoGlow začíná plechu používané v systému. Kov je pozinkované a

Plechu se léčí a maskovaných k zajištění řádného RF design.cured k zajištění řádného lepení barvy se správným elektrický kontakt. Kovová skříňka se maskuje tak, zvýšit kov na kov kontaktu ... odstranit RF úniku. To znamená, že AutoGlow zasáhne plazmy rychle, bez ohledu na zatížení vzorku. Správné RF tuning začíná skříně design. AutoGlow je modulární. Generátor RF lze snadno odstranit ze zadní části systému. Komora lze snadno odstranit. Všechny elektronický systém jsou na jedné výměnné desce (spojený s čelním panelu displeje). Vyžadují pouze připojení k elektrické, vakuum a plyn (vše viz obrázek). Stačí připojit konektor AC, conect vývěva a svůj plyn ... a jste připraveni zpracovat vzorky.

 

 

 

 

 

 

Zápas RF síť je velmi rychlý, kondenzátory otočit o 360 stupňů, který umožňuje naladit AutoGlow velmi rychle bez ohledu na zatížení vnitřní zpracování komory.

Horní elektroda je napájen a dolní elektroda je uzemněna, který produkuje chemickým procesem. AutoGlow lze spustit z pouhých 10 wattů pro jemné zpracování, nebo jak vysoce jak 300 wattů pro více agresivní zpracování.

Typická plazma záře. Quartz dveří komory s UV ochranou pro splnění nových bezpečnostních norem