Funkce AutoGlow

AutoGlow Plazmový systém má polovodičové elektroniky, aktualizované možnosti dodávek plynu a technologie, které se očekává od uživatelů i bezpečnostních pracovníků po celém světě. Větší velikost komory se může ubytovat 6 "substrát a je 160 mm (ID) průměr x 186.94 mm (ID), hluboká a je vyroben z vysoce čistoty křemene. Systém a komora jsou určeny ke zvýšení jednotnosti a opakovatelnost ve srovnání s jinými stolních plazmových systémů.

AutoGlow Plazmový systém byl navržen jak pro nízké energie nebo vysoce výkonné operace s variabilní 10-300 W, 13,56 MHz solid state generátorů dělat AutoGlow Plazmový systém nejefektivnější systém svého druhu na trhu. Operátor může spustit proces na 10 wattů nebo tak vysoká jako 300 wattů pro agresivnější zpracování. Výkon lze nastavit v krocích po 1 watt.

  • Malý, stolní systém
  • Variabilní 10 až 300 W na 13,56 MHz pro jemnou a více agresivní zpracování
  • Komora je vyrobena z vysoce čistoty křemene
  • Polovodičová elektronika, žádné trubky
  • Proprietární detektoru v pevné fázi pro rychlé ladění
  • Automatické ladění pro efektivní zpracování plazmy
  • Tlak si pozor na snadné zpracování
  • Časovač
  • Zobrazuje vpřed a odražený výkon a RF žádané
  • AutoTell diagnostická karta pro zlepšení provozuschopnosti
  • Komora distribuce plynu pro zlepšení jednotnosti
  • Měkké otvor, aby se zabránilo tlaku výbuch
  • Volitelný modul Gas Control s až třemi vstupy plynu
  • Jednotná plazmy pro rychlé a efektivní výsledky
  • Proprietární RF generátor a síť pro zápas minimální odraženého výkonu bez ohledu na nastavení výkonu
  • SimpleMatch odpovídající sítě pro rychlé ladění
  • UV ochrana zabudovaná do předního pohledu dveří
  • Plně charakterizován systém opakovatelných výsledků
  • Snadno pochopitelný, snadno ovladatelný
  • Všechna elektronika je na dvě zásuvky v desek pro snadnou opravu
  • Start-up podpora
  • Start-up videa
  • Kompletní manuál a dokumentace
  • Záruka 24 měsíců

Design AutoGlow začíná plechu použitého v systému. Plechu je léčit a maskou pro zajištění řádného RF design.
Kovová skříňka se maskuje tak ke zvýšení kov-kov ... kontakt na odstranění úniku RF. To znamená, že bude usilovat o AutoGlow plazma rychle, bez ohledu na zatížení vzorku. Správné RF tuning začíná kabinetu designem.
AutoGlow je modulární. Generátor RF lze snadno odstranit ze zadní části systému. Komora může být snadno odstranit. Všechny elektronické části systému jsou na jedné vyměnitelné desce (připojený k předním panelu). Jediné potřebné připojení k elektrické vakuové a plynárenství (vše viz obrázek). Stačí připojit do zásuvky AC, připojte vývěvu a svůj plyn ... a jste připraveni zpracovat Vaše vzorky.

Diagnostika karta potvrdit, že všechny moduly pracují správně.

 

 

 

 

 

Zápas RF síť je velmi rychlý, kondenzátory otočit o 360 stupňů, což umožňuje AutoGlow naladit velmi rychle bez ohledu na zatížení uvnitř zpracovatelské komory.

Horní elektroda je napájena a dolní elektroda je uzemněna, který produkuje chemickým procesem. AutoGlow lze spustit z již za 10 wattů k šetrnému zpracování, nebo až 300 wattů pro agresivnější zpracování.

Všechny elektroniky jsou na jedné elektronické desce. Tato deska se montuje na zadní straně předního panelu. Přední panel montáž lze snadno vyměnit.