OptiGlow Plasma Systems

Glow Výzkum nabízí tři různé typy OptiGlow plazmových systémů:

  • OptiGlow: nejnižší cena. Pro povrchovou úpravu, používat vzduch jako procesního plynu, jeden průtokoměru, 100 kHz, 50 W, hliníková komora, není nutné žádné ladění, automatické zavírání. Zahrnuje vnitřní vakuové pumpy. Tlačítko, automatický provoz.
  • OptiGlow 75:. Pro ​​čištění plazmy, PDMS ošetření, aktivizace, povrchová úprava pomocí vzduchu, kyslíku, argonu nebo dusíku pro zpracování má dvě průtokoměry, 100 kHz, 75 W, bez potřeby ladění, automatické časovače a hliníku komora. Externí vakuová pumpa (doporučujeme Fomblin olej pro zpracování kyslíku). Tlačítko, automatický provoz.
  • leaning, E tching (ACE). OptiGlow ACE: Pro Shing / aktivace, C sklon, E tching (ACE). Eloxovaný hliník komora, 10 až 150 wattů, automatické ladění 13,56 MHz, dva průtokoměry, plazmové nebo RIE styl reakce s kyslíkem, argon nebo CF4 chemie. Ideální pro leptání IC balíčky nebo jiné leptání / čištění applicaitons. Má Držák vzorku s dvěma policemi ... horní police pro RIE, spodní police pro zpracování plazmy. Určeno pro dlouhé zpracování časově tlačítka, automatické operace.

OptiGlow ACE může být použit k odstranění zbytků plastů z IC pro analýzy poruch. Zde je několik údajů z našeho zákazníka, JHT Instruments, LLC.

Komentáře z nástrojů JHT, LLC: Po 1,5 hodinách doby zpracování na následujících podmínek: Jednotka na horní polici "" vzorku držitele 100mt komorní tlak, 100W dopředu moc. LSO očistit povrch jednotky s IPA. Následující obrázky ilustrují proces od balené jednotky až do požadovaného vymazány zemřít povrchu. ACE se zdá být docela "user friendly" a efektivní.

Vlevo: post-polské (Die lehce viditelné)
Vpravo: Post 1,5 hodiny zpopelnění, 100 W,
na horní (RIE) polici.
 
OptiGlow:

Určeno pro Air plazmatu, plazmy, kontaktní čočky léčba, zvýšení smáčivosti, povrchová úprava a generální Plazmový systém. Robustní, stolní OptiGlow Plazmový systém je ideální pro výrobní nebo laboratorní použití. OptiGlow Plazmový systém je první nízkonákladovou Plazmový systém navržen pro zvýšení komfortu a wetability úroveň kontaktních čoček. OptiGlow se používá také k léčbě materiál před lakování, laminování nebo ukládání, a je velmi účinná při léčbě široké škály substrátů nebo materiálu. Zvýšená povrchová energie z materiálu, který zlepšuje její přilnavost vlastnosti, a tím umožnit lepší propojení, lepení, markability a Přetíratelnost a coatability.

  • Hydrofilní povrchová úprava
  • Zvyšuje přilnavost a kapilární účinky
  • Hydrofilní ošetření drobných kanálů
  • Používá se v Bio MEMS a mikrofluidice
  • Kontrola povrchových vlastností
  • Zlepšuje elektroosmotického toku (EOF) z různých materiálů
  • Léčba PDMS
  • Rozšiřovat bílkovin a buněk odpuzující vlastnosti pro některé materiály
  • Ideální pro použití před nátěru, laminování nebo ukládání procesů
  • Čistí, aktivuje před tiskem nebo lepením

Hydrofobní: Kontaktní čočky materiál bez OptiGlow působením plazmy.

OptiGlow Plazmový systém je vybaven hliníkovou komory a spolehlivý 100kHz, nízká frekvence RF generátor. Čerpadlo je integrována do systému. Stačí připojit do systému plazmy OptiGlow a jste připraveni zpracovat. OptiGlow Plazmový systém je navržen tak, aby vzduchu v místnosti jako procesního plynu.

Cena za 10.500 dolarů (USD), OptiGlow Plazmový systém je vhodný pro optické laboratoře, kontaktní čočky od výrobců a univerzity, které budou považovat za dokonalé uchycení a jejich plazmatické potřeby, stejně jako jejich rozpočtu.

Hydrofilní: Lepší webabilty s OptiGlow působením plazmy.

Plyn plazmy poskytuje rychlý a efektivní způsob povrchové úpravy kontaktní čočky nebo různých polymerů a materiálů. OptiGlow plazmové zpracování může zvýšit wetability, zlepšuje mazivost, a umožňuje ukládání bio-kompatibilních materiálů. Kontaktní čočky plazmy léčba je běžnou aplikací, kde je povrch objektivu oxiduje na vytvoření hydrofilního povrchu objektivu, který je odolný proti proteinu uložení. Plasmový proces umožňuje větší pohodlí a delší nošení.

Komora

Komora plazma, vyrobeny z vysoce kvalitní 6061-T hliníku, je odolný vůči chemikáliím a snadno se čistí. Napájení je na horní elektrody přes RF kanálu přes, a hliníku komora funguje jako pozemní umožňující jednotné zpracování plazmy.

V systému je řídící modul monitoruje komoře tlak, předem nastavit sílu a skutečný výkon. Pro každý plazmy, je důležité vědět, v komoře tlak, aby zajistila správné a opakovatelné proces. Relativní komora tlak je zobrazen na přední straně systému.

Process Control

Průtokoměr se montuje na přední části systému plazmového OptiGlow pro snadnou úpravu a prohlížení plynu. Vnitřní elektromagnetický vypne plyn vypnutí po procesu vypršel. To umožní opakovatelné výrobní zpracování, aniž byste museli neustále upravovat tok plynu pro následné ošetření v plazmě. Komora tlak je řízen tok plynu do komory. Jako bezpečnostní ochrany, je proces plynu povoleno pouze proudit do reakční komory, pokud všechny zámky jsou potvrzeny.

Výkon a odpovídající síť

OptiGlow Plazmový systém je vybaven 100 kHz, 50 W nízkém kmitočtu a vestavěný odpovídající jednotky. Žádné ladění je nutné a silný, robustní plazmové záře je automaticky generován při každém spuštění.

Bezpečnost

Standardní funkce patří tlačítko, které ukončí výkon RF a plyn flow.Safety blokování zabránit aktivaci RF energie a plynu, když proudění komory jsou dveře otevřené nebo kryty jsou odstraněny. OptiGlow Plazmový systém prošel přísným testováním a je označení CE. Určeno pro USA nebo mezinárodní síly (110 nebo 230 VAC).