Přebudované systémy

Záře se specializuje na výzkum Tegal, březnu a výzkum a vývoj plazmových systémů. Přestavěn 901e a 903e Tegal systémy jsou obvykle na skladě.

Záře Výzkum převzal části po celém světě a servisní podpory pro několik starších plazmových systémů od March Plasma Systems, Inc (březen Plasmod, Super Plasmod, PM-600 a Jupiter RIE systémy).

Tato dohoda umožňuje záře Výzkum možnost nabídnout záruku na naše přebudované systémy března.

Nedávné Tegal 901e zákazníka Komentář:

"Zakoupili jsme Tegal 901e systém záře výzkumu. Nebojte se zmínit nás spokojený zákazník na svých webových stránkách. "... .... Eric Weis, PanJit Americas, Inc

 

Března Plasmod
March Plasmod 6" Března Plasmod 150 W, 13.56 MHz generátor. Barel typu plazmy systém Pyrex 5,8 "(průměr) x 7" (hloubka) komory. Komora Pyrex dveře umístěné na vnitřní straně dveří pro snadný přístup a zpracování. Má automatické ladění odpovídající sítě pro snadné zpracování. Analogové panel metrů. 115V, 50/60 Hz, [...]

Lab plazmový systém
March Plasmod with Gas Control Module (optional) Března Plasmod 115 VAC, 13.56 MHz RF generátoru, manuální ladění, Quartz vnitřní komora i vnější komora .. Ruční ladění. Vnější průměr komory je 4,5 ", vnitřní komory průměr je 4,25" a komora hloubka je 6,2 ". Plně přestavěn a testovány. Prodává se s 30 denní záruku. Cena je $ 4,000. Navrhuje se, aby jste [...]

Března AP-1000
Excellent Shape, Looks New Přestavěn března AP-1000, S / N P100199, Výrobce: březen 2005 Advanced Energy ACG6B, 600 watt RF generátoru, 13.56 MHz, solid state 13.56 MHz napájení s automatickým přizpůsobení výkonu 2 regulátory hmotnostního průtoku (Porter), 250 a 500 SCCM. SCCM světla Tower Leybold Trivac D65BCS model čerpadla, připraven k Fomblin ropy typu Alcatel olejové odlučovače, OME 40S [...]

BŘEZEN CS-1701
MARCH CS-1701 (Rebuilt) BŘEZEN CS-1701 RIE systém Březnové CS-1701 systém i nadále podporuje Nordson března a záře Výzkum byl přestavěn tohoto systému na nejvyšší úrovni. Po podpory prodeje mohou být smluvně s Nordson března po celém světě. Pomoc s instalací je podporován výzkum záře. Tento novější styl BŘEZEN CS-1701 je aktualizován plynové potrubí s víkem výtahem [...]

Plazmové Cleaner
Plasma Cleaner AutoGlow plazmové zařízení a Ašer. 10 až 300 W, automatické ladění, diagnostika, 160 mm průměr. křemen komoře, tlak displej, časovač vypnutí, označení CE, kapacitní spojení, záruka 24 měsíců. Skvělé pro plazmové čištění, spalování nebo odstranění organických látek.

Tegal Plasmod (4,5 "vnější komory)
plasmod-45 115 VAC, 13.56 MHz RF generátoru, manuální ladění, Pyrex komora, jeden vstup plynu. Vnější průměr komory je 4,5 ", vnitřní komory průměr je 4,25" a komora hloubka je 6,2 ". Plně přestavěn a testovány. Prodává se s 30 denní záruku.

Března Jupiter
march-jupiter Března Jupiter II RIE. AE 600 W RF generátoru, čtyři řadiče hmotnostní průtok, Automatické ladění, časovač, konec bodové hlásiče, Baratron ovládání tlaku, koncovým bodem kontroly a řízení mikroprocesorem. 4 "nebo 6". Plná podpora, přestavěn, 30 dní záruka. Připraveno k etch!

Tegal 903e
tegal-903e Kazeta-kazeta na In-line Single Zpětná plasma etcher. Možnost etch průchody a kontakty. Pro leptání oxidu křemičitého, nitridy křemíku, a polyamidů. Systém je prodáván s konzultací ze na správné usnadnění a provoz. Systém je funkční a lze prokázat, že v našem centru podpory zákazníků v Mesa, Arizona. Různé upgrady jsou k dispozici, aby vyhovovaly vašim specifickým potřebám. [...]

Tegal 901e
tegal-901e Kazeta-kazeta na Polysilicon / nitridu křemíku plasma etcher. Systém je funkční a může být prokázána. V současné době nastaven na 4 v (100 mm) oplatky. ENI 1000 W 13,56 MHz RF generátoru. 20 Procesní recept plynů, schopnost procesu řízen bez tření špachtle osazovací TYLAN MFC oplatky dopravy. Leybold D65 kyslík čerpadla Tegal zpětnou vazbou teploty zapisovačem [...]