Přebudované systémy

Záře se specializuje na výzkum Tegal, březnu a výzkumu a vývoje plazmových systémů. Přestavěn Tegal 901e a 903e systémy jsou obvykle na skladě.

Glow Výzkum převzal po celém světě dílů a servisní podpory pro několik starších plazmových systémů od března Plasma Systems, Inc března Plasmod, Super Plasmod, PM-600 a Jupiter RIE systémy).

Tato dohoda umožňuje Glow výzkum schopnost nabízet záruku na naše přebudované systémy března.

Nedávný Tegal 901e Zákazník Komentář:

"Zakoupili jsme si Tegal 901e systém od Glow výzkum. Nebojte se zmínit nás jako spokojený zákazník na vašich webových stránkách. "....... Eric Weis, PanJit Americas, Inc

 

Března Plasmod
March Plasmod 6" Března Plasmod 150 Watt, 13,56 MHz Generator. Barel typu plazma systém s Pyrex 5,8 "(průměr) x 7" (hluboké) komora. Komora Pyrex dveří se montuje na vnitřní straně dveří pro snadný přístup a zpracování. Má automatické ladění odpovídající sítě pro snadné zpracování. Analogové panel metrů. 115V, 50/60 [...]

Března AP-1000
Excellent Shape, Looks New Přestavěn března AP-1000, S / N P100199, Výrobce: březen 2005 Advanced Energy ACG6B, 600 watt RF generátor, 13,56 MHz, SSD 13,56 MHz napájení s automatickým impedance 2 regulátory hmotnostního průtoku (Porter), 250 a 500 sccm. SCCM Light Tower Leybold Trivac D65BCS čerpadlo model, připravené pro Fomblin oleje typu Alcatel odlučovače olejové mlhy a OME 40. let [...]

BŘEZEN CS-1701
MARCH CS-1701 (Rebuilt) BŘEZEN CS-1701 RIE systém BŘEZEN CS-1701 systém i nadále podporuje Nordson března a Glow výzkum byl přestavěn tento systém na základě nejpřísnějších norem. Po podpora prodeje může být nakažený s Nordson BŘEZNA celém světě. Pomoc s instalací je podporován výzkum Glow. Toto Novější styl BŘEZEN CS-1701 aktualizovala plyn potrubí s víkem výtahem [...]

Plazmový čistič
Plasma Cleaner AutoGlow plazmové čistší a Ašer. 10 až 300 W, automatické ladění, diagnostika, 160 mm průměr. křemen komoře, tlak displej, časovač vypnutí, označení CE, kapacitně vázaný, záruka 24 měsíců. Skvělé pro čištění plazmy, zpopelnění nebo odstranění organických látek.

Března Jupiter
march-jupiter Března Jupiter II RIE. AE 600 W RF generátor, čtyři řadiče hmotnostní průtok, automatické ladění, časovač, Koncový bod detektoru, Baratron Regulace tlaku End Point Control a mikroprocesorové řízení. 4 "nebo 6". Plnou podporu, přestavěný, 30 dnů záruka. Připraven na etch!

Tegal 903e
tegal-903e Kazeta k Cassette Single In-line Wafer Plazmové rytec. Možnost etchem průchody a kontakty. Pro leptání oxidu křemičitého, nitridy křemíku a polyamidů. Systém se prodává s konzultací ze na správné usnadnění a provoz. Systém je funkční a lze prokázat v naší servisní středisko v Mesa, Arizona. Různé upgrady jsou k dispozici, aby vyhovovaly vašim specifickým potřebám. [...]

Tegal 901e
tegal-901e Kazeta k Kazeta polysilikonov / nitrid křemíku plasma etcher. Systém je funkční a může být prokázána. V současné době konfigurován pro 4 v (100 mm) destičky. ENI 1000 W 13,56 MHz RF generátor. 20 Procesní plyny recept schopnosti procesu řízen bez tření TYLAN MFC špachtlí uchop a destiček dopravy. Leybold D65 kyslík čerpadlo Tegal uzavřené smyčky regulátor teploty zapisovač dat do grafu [...]