Tegal 903e

Kazeta k Cassette Single In-line Wafer Plazmové rytec. Možnost etchem průchody a kontakty. Pro leptání oxidu křemičitého, nitridy křemíku a polyamidů. Systém se prodává s konzultací ze na správné usnadnění a provoz. Systém je funkční a lze prokázat v naší servisní středisko v Mesa, Arizona. Různé upgrady jsou k dispozici, aby vyhovovaly vašim specifickým potřebám.

Zvládne oplatky od 3 do 6 palců palců současnosti nakonfigurován pro 4 in destiček.

  • Mikroprocesorové řízení
  • V současné době nastaven na 4 palce (100 mm) destičky.
  • ENI 1000 Watt 13,56 MHz RF generátor.
  • 20 Procesní způsobilost recept
  • Procesní plyny ovládané Tylan MFC
  • Non-tření stěrka uchop a oplatky doprava.
  • Leybold D65 kyslík čerpadlo (volitelně suchá čerpadla k dispozici)
  • Dva Tegal uzavřené smyčky regulátory teploty
  • Prosince monitor a klávesnice
  • Non-tření stěrka uchop a oplatky doprava.
  • Manuály v ceně, 208 V, 50/60 Hz

(Prodej v jednání)