Plasma Cleaners, Plasma Etchers, Plasma Ashers og Sputter Deposition (PVD) systemer leveres af Glow Research. Glow Forskning fremstiller den nye AutoGlow plasma renere / etcher, de OptiGlow plasma systemerne og SputterGlow sputter-belægning (PVD) systemer. Glow Forskning har også overtaget dele og verdensomspændende støtte til flere ældre plasma-systemer fra Nordson marts (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter RIE) og bygger nye plasma-reaktorer til forskellige krav og størrelser. Vi forstår, at de fleste labs og mennesker, der køber plasma-systemer kræver en stor del af bistanden før og efter salget. Vi har evnen til at køre dine prøver, og hjælpe med installationen af ​​dit system. Glow Forskningen vil behandle gratis smagsprøve for kunder, der måske ønsker at købe vores systemer.

AutoGlow Plasma System

Plasma Cleaner. Kan anvendes ved lav effekt på 10 watt eller op til 300 watt, 13,56 MHz solid state generator, automatisk indstilling, tryk read-out, nitrogenudluftning, blød udluftning, tre gas-indgange og er CE-mærket. Den AutoGlow leveres med en 24 måneders garanti. Perfekt til behandling af PDMS, organiske fjernelse eller fotoresistfilm fjernelse.

Det AutoGlow plasma-systemet anvendes i produktionen fabrikker samt Labs-designet til at give de medicinske, videnskabelige, uddannelsesmæssige og mikroelektronik fællesskab med plasma-teknologi til en moderat pris. Inkluderer en 2 års garanti.

Større AutoGlow systemer er tilgængelige med anodiseret aluminium kamre til at passe kundens behov. AutoGlow systemer kan behandle 200 mm (8 ") skiver.

Find ud af mere om AutoGlow

SputterGlow sputterbelægning System

Et perfekt valg til at deponere dielektrika eller metaller med op til tre mål. Oprindeligt designet til at deponere Si ₃ N ₄ anti-reflekterende coating på solceller som et alternativ til at bruge PECVD-fordi SputterGlow processen ikke kræver farlige gasser som SiH ₄ for nitrid deposition. Systemet har stepper robotteknologi, opvarmet stationer, og styres med en lap-top computer.

Den proprietære planar magnetron genererer et plasma med lav eller høj effekt, afhængigt af dit behov. Den SputterGlow var designet til at sikre proces vakuum integritet og bruge en aluminiums kammer (for at holde omkostningerne nede).

Find ud af mere om SputterGlow

OptiGlow Plasma Systems

Anvendes til Plasma Surface Ændring og Plasma Behandling, Surface aktivering. Prismærket under $ 10.500 (USD), de robuste, table-top OptiGlow plasma system er perfekt til produktion eller lab applikationer. Let at bruge. Display til kammertryk og modul status.

Det OptiGlow Systemet er det første lavpris plasma-system, der kan bruges til at øge fugtningsmulighed og komfort af kontaktlinser og forskellige materialer. Det OptiGlow plasma system er ideel til brug før belægning, laminering og udfældningsprocesser, og er yderst effektiv til behandling af en bred vifte af substrater eller materiale. Bruges i Bio MEMS og mikrofluidik.

Den OptiGlow 75 plasma systemet er som standard OptiGlow, men med med 75 watt, og muligheden for at bruge op til to input-gasser, såsom oxygen eller argon.

leaning or E tching at 13.56 MHz. Den OptiGlow ACE er designet til at udføre en Shing, C hælder eller E tching på 13,56 MHz. Den OptiGlow ACE er designet til op til to gasser indgange og kan bruges med CF4 typen gasser. Anodiseret aluminium kammer og for enten RIE eller Plasma betingelser. Great for en lang proces og fjerne lag på kolli eller halvleder-chips.

OptiGlow ACE (Rengøring, Foraskning, ætsning)

Find ud af mere om OptiGlow systemer

Ombyggede

Glow Forskning har overtaget det verdensomspændende ansvar for reservedele og service til flere ældre enheder fra Nordson marts (marts Plasmod, marts Super Plasmod, marts PM-600 og marts Jupiter RIE systemer). Vi holder os med vores ekspertise og tilbyder genopbygget marts og Tegal plasma-systemer. Tag et kig på, hvad ombyggede vi har at tilbyde .