Plasma Cleaners, Plasma Etchers og Plasma Ashers og sputter-belægning (PVD) systemer leveres af Glow Research. Glow Forskning fremstiller AutoGlow plasma-systemer, OptiGlow plasma systemer og SputterGlow sputter-belægning (PVD) systemer. Glow Forskning har overtaget dele og verdensomspændende støtte til flere ældre plasma-systemer fra Nordson marts (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter RIE) og bygger nye plasma reaktorer for forskellige krav og størrelser. Vi forstår, at de fleste laboratorier og mennesker, der køber plasma-systemer kræver en stor hjælp før og efter salget. Vi har mulighed for at køre dine prøver, og hjælpe med installationen af ​​dit system. Glow Forskningen vil behandle gratis smagsprøve til kunder, som måske ønsker at købe vores systemer.

Valg det rigtige system:

OptiGlow anvendelsesformål rumluft som procesgas, 50 watt, 100 kHz, aluminium kammer. Til overflademodifikation. Vores laveste priser systemet under $ 11.000 (inkluderer vakuumpumpe).

OptiGlow 75 til brug med oxygen eller argon (og anden gas), 75 watt, 100 kHz, aluminium kammer. Til overfladebehandling, plasma rengøring prebond behandling.

OptiGlow ACE-til brug med oxygen, argon eller fluor (CF4) type gas. To gas flowmålere, anodiseret aluminium kammer. Variabel fra 10 til 150 watt 13,56 MHz RF generator, autotune. RIE eller plasma forarbejdning. For aktivering, foraskning, rengøring og ætsning. Ideel til at fjerne lag for Failure Analysis, ætsning en række film.

AutoGlow-Op til tre gasser-oxygen, argon eller andre gasser, kvarts kammer, 6 "substrater, variabel 10-300 watt 13,56 MHz RF-generator, autotune. Kapacitiv koblet, trykknap automatisk drift. Bruges til plasma rengøring, prebond, ætsning film, fjerne organiske, fjerne fotoresist.

AutoGlow 200 kan behandle 200 mm substrater (eller 8 "skiver). RIE eller plasma forarbejdning. Op til tre gasser-oxygen, argon eller fluor (CF4) type gas, variabel 10-300 watt 13,56 MHz RF generator, autotune, anodiseret aluminium kammer. Anvendes til plasma rensning, aktivering, prebond, ætsning, fjernelse organiske, fjernelse fotoresist.

AutoGlow Plasma System

Plasma Cleaner. Denne tabel-top-systemet kan anvendes ved lav effekt på 10 watt eller op til 300 watt, 13,56 MHz solid state generator, automatisk indstilling, tryk aflæses på nitrogenskylning bløde udluftning, tre gas indgange og er CE mærket. Den AutoGlow leveres med en 24 måneders garanti. Perfekt til behandling af PDMS, organisk fjernelse eller foto-modstå fjernelse. Har en kvarts kammer og kan behandle op til 6 "(150 mm) substrater.

Det AutoGlow plasma systemet anvendes i fabrikker samt Labs-designet til at give det medicinske, videnskabelige, uddannelsesmæssige og mikroelektronik fællesskab med plasma teknologi til en moderat pris. Inkluderer en 2 års garanti.

Større AutoGlow systemer er tilgængelige med anodiseret aluminium kamre, der passer til kundens behov (RIE eller Plasma behandling). Billedet nedenfor er en AutoGlow 200. Beregnet for op til 200 mm (8 ") substrater eller wafere, CF4, O2-eller argongas og systemet kan anvendes til RIE eller plasmabearbejdning Afhængigt af prøven bæreren bruge. Det har en anodiseret aluminium kammer og kan anvendes til ætsning, foraskning eller overflade modificaiton.

Læs mere om AutoGlow

OptiGlow Plasma Systems  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. Den OptiGlow ACE er konstrueret til at udføre Plasma A ctivation, A Shing, C skæve eller E tching ved 13,56 MHz. Den OptiGlow ACE har to gas indgange og kan være brug med luft, oxygen eller CF4 typen gasser. Det har en anodiseret aluminium kammer og kan anvendes til enten RIE eller plasma forarbejdning. Great for en lang proces og fjerne lag på kolli eller halvleder-chips. Bruges til Failure Analysis, fjerne photoresist, rengøring økologi, ætsning parylen, overfladebehandling og et væld af andre applikationer.

Standard OptiGlow Systemet bruges til Plasma Surface Ændring og Plasma behandling, Overflade aktivering. Pris under $ 10.500 (USD), den robuste, table-top OptiGlow plasma system er perfekt til produktions-eller lab applikationer. Let at bruge med et display for kammertryk og modul status.

Den OptiGlow er det første lave omkostninger plasma, der kan anvendes til at forøge befugteligheden og komforten af ​​kontaktlinser. Det OptiGlow plasma systemet er også ideelt til brug forud for belægning, laminering og deposition processer, og er yderst effektiv til behandling af en bred vifte af substrater eller materiale.

Den OptiGlow 75 plasma-system svarer til den standard OptiGlow og har en større aluminium kammer, 75 watt, og muligheden for at bruge op til to input gasser, såsom oxygen eller argon. Kan anvendes til økologisk fjernelse og stripping fotoresist.

SputterGlow Sputter Deposition System

Et perfekt valg til at deponere en bred vifte af dielektrika eller metaller, med op til tre mål. Oprindeligt designet til at deponere Si ₃ N ₄ anti-reflekterende belægninger på solceller som et alternativ til anvendelse af PECVD-fordi SputterGlow processen ikke kræver farlige gasser såsom SiH ₄ til nitrid deposition. Systemet har stepper robotteknik, opvarmede stationer, og styres med en bærbar computer.

Den proprietære planmagnetron genererer et plasma med lav eller høj effekt, afhængig af dit behov. Den SputterGlow var designet til at sikre proces vakuum integritet og bruge en aluminiums kammer (til at holde omkostningerne nede).

Læs mere om SputterGlow

Ombyggede

Glow Forskning har overtaget det verdensomspændende ansvar for dele og service til flere ældre enheder fra Nordson marts (marts Plasmod marts Super Plasmod marts PM-600 og marts Jupiter RIE-systemer). Vi bor med vores ekspertise og tilbyder genopbygget marts og Tegal plasma-systemer. Tag et kig på, hvad ombyggede vi har at tilbyde .