AutoGlow Plasma Systems

Det AutoGlow plasma systemet er en bordplade plasma-kemi reaktor designet til at give det medicinske, videnskabelige, uddannelsesmæssige og produktionen mikroelektronik samfund med plasma teknologi til en moderat pris. Systemet bruges i produktionen såvel som F & U-centre. Bruges til argon plasma, ilt plasma, plasma belægning, PDMS, ilt plasma-behandling, foto modstå rensning, FA applikationer, parylen udsendelse, organisk fjernelse og lab brug.

Universiteter og virksomheder verden over finde AutoGlow plasma system passer perfekt til deres plasma behov.

Det AutoGlow plasma systemet er det mest effektive system af sin art på markedet på grund af sin variabel 10 Watt til 300 Watt, 13,56 MHz solid state generator. Det AutoGlow plasma systemet er også designet til effektivt opdeling gasser introduceret til systemet skabe reaktive arter, som vil hurtigt rengør eller ændre prøven. Automatisk indstilling og et tryk udlæsning er inkluderet. Den AutoGlow kan finde en plasma så lav som 10 watt!

Automatisk / trykknap betjening.

Glow Forskning har taget de bedste design af de gamle systemer, og opdateret AutoGlow plasma systemet med den nuværende teknologi, herunder vores egen fase størrelsesorden detektor og SimpleMatch RF-netværk, der muliggør effektiv plasma tuning og giver hurtig behandling uden besværet med hele tiden at tilpasse sig forskellige prøve belastninger. Den AutoGlow er meget pålidelig og har en to års garanti! Nem replaceble Moduler i systemet er: RF Generator, RF Match Network, Face Plate modul (se nedenfor), Quartz Afdeling og Gas Control Module For flere data og oplysninger, skal du klikke på "AutoGlow Funktioner" til højre på denne side kan du. .

Her er hvad en nylig Kunden havde at sige om deres AutoGlow: "Alt fungerer fint. Det bare chugs sammen som det skal. Jeg er imponeret vi kan næsten fuldt ud aske AZ4620 modstå på 125W i et par minutter. Jeg har fået nogen også bruge det til forbehandling af PDMS før limning. Virker fantastisk til det. "
 
Det AutoGlow 200 er designet for op til 200 mm substrater eller 8 "vafler, og kan udføre RIE eller plasma behandling, afhængig af hvilken prøven bærer anvendes. Den anodiseret aluminium kammer kan accomidate standard O2, Ar eller CF4 typen gasser til ætsning applikationer. Brønden vist elektronisk, RF generator, svarer netværk og gas kontrol er den samme som standard AutoGlow ovenfor. Kontakt Glow Forskning for mere information om AutoGlow 200.
Den AutoGlow 200 har samme status diagnostiske kortet som AutoGlow, der bekræfter, at alle sub-moduler fungerer korrekt. Systemet til højre er
vist med den valgfri nitrogen kammeret udluftning af rensegas.
Den AutoGlow 200 kan anvendes til en Varity anvendelser fra plasma aktivering, rengøring, organisk fjernelse præ-deponering rensning   samt en række af ætsning anvendelser.
 
 
 
 
 

MIT er en AutoGlow i Stata center, der bruges til forskellige biomedicinske og mikrofluidik forskning. Billedet er en Geraldine Paulus, en ph.d.-studerende ansvarlig for AutoGlow på MIT Bygning 66 (Landau Building Lab).

 
 
 

"Rice University har en AutoGlow i Halas Research Lab. Systemet anvendes til fjernelse af polymer modstår for ansøgninger i plasmonics og nanofotonik. Billedet er Lisa Brown, en ph.d.-studerende, der bruger AutoGlow at forberede prøver til overflade-forstærket molekylær spektroskopi. "

Harvard University har AutoGlow system i Gordon McKay Lab. Systemet anvendes til økologisk fjernelse, overfladebehandling og tjener behovene hos flere forskere, der arbejder på DNA forskning og menneskelige genom sekventering. Billedet er Gordon Whitlock, formand for Glow Research.

Billedet er AutoGlow på Microsystems Technology Lab på MIT. Denne AutoGlow bruges til fotoresisten fjernelse, rengøring og overfladebehandling. Dette laboratorium forsker i MEMS, BioMEMS, nanoteknologi og fotonik.