Tegal 903e

Kassette-til-kassette In-line enkelt wafer plasmaætser. Mulighed for at etch gennemgange og kontakter. Til ætsning siliciumdioxid, siliciumoxycarbid nitrider og polyamider. System sælges med høring fra den korrekte lettelse og drift. Systemet er operationelt og kan demonstreres i vores Customer Support Center i Mesa, Arizona. Forskellige opgraderinger er til rådighed til at passe dine specifikke behov.

Kan håndtere vafler fra 3 ind til 6 i. I øjeblikket konfigureret til 4 i. vafler.

• Mikroprocessor kontrol
• I øjeblikket konfigureret til 4 tommer (100mm) skiver.
• ENI 1000 Watt 13,56 MHz RF generatoren.
• 20 Proces opskrift kapacitet
• Procesgasser styres af Tylan MFC s
• Non-friktion spatel pick and place wafer transport.
• Leybold D65 ilt tjeneste pumpe (ekstraudstyr tør pumpe til rådighed)
• To Tegal lukket sløjfe temperaturregulatorer
• December Monitor og keyboard
• Non-friktion spatel pick and place wafer transport.
• Manualer omfattede 208 V, 50/60 Hz

(Afventer salg)