SputterGlow Egenskaber

  • Reaktiv pådampning af Si 3N 4 eller andre film
  • Eliminerer behovet for silangas
  • Let at lette i et laboratorium, Ingen farlige gasser Needed
  • Op til tre mål
  • Depositum dielektrika eller Metals
  • 200 mm wafers (eller mindre) eller 156 mm x 156 mm Solar Cells
  • Varme Options (op til 400 grader C)
  • 1200 Watt, 13,56 MHz RF Generator
  • Automatisk Tuning
  • Turbo og Bagside Pump
  • Vandkølet magnetronpådampningen
  • Stepper Kontrolleret Substrat Håndtering
  • Computer eller manuel styring af Målere
  • MFC styring af gasser
  • LED Diagnostics

Indstillinger

  • Substrat Bias
  • RGA
  • Recirkulerende Target Køling
  • Viewport Windows

Alle SputterGlow systemer leveres med en 12 måneders garanti, ejer manual, video om korrekt opsætning af systemet og drift. Glow Forskningen vil også give on-site field service støtte til opstart af systemet.

For mere information ring Glow Research USA 480-621-8405 eller email os .