Plasma-Cleaners, Plasmaätzern, Plasma Ashers und Sputter Deposition (PVD)-Systeme werden von Glow Forschung zur Verfügung gestellt. Glow Forschung produziert AutoGlow Plasmaanlagen, Plasma OptiGlow Sputter-Systeme und SputterGlow Deposition (PVD)-Systemen. Glow Forschung hat sich in den Teilen und weltweiten Support für einige ältere Plasma Systeme von Nordson MARCH (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter RIE) übernommen und baut neue Plasma-Reaktoren für die unterschiedlichsten Anforderungen und Größen. Wir verstehen, dass die meisten Labore und Menschen, die Plasma-Systemen erwerben ein hohes Maß an Unterstützung benötigen vor und nach dem Verkauf. Wir haben die Fähigkeit, Ihre Proben laufen, und helfen bei der Installation Ihres Systems. Glow Forschung werden freie Proben für Kunden, die wollen unsere Systeme erwerben kann zu verarbeiten.

Wahl des richtigen Systems:

OptiGlow-nutzt Raumluft als Prozessgas, 50 Watt, 100 kHz, Aluminium-Kammer. Zur Oberflächenmodifizierung. Unsere preisgünstigste System unter $ 11.000 (beinhaltet die Vakuumpumpe).

OptiGlow 75-für den Einsatz mit Sauerstoff oder Argon (und andere Gase), 75 Watt, 100 kHz, Aluminium-Kammer. Zur Oberflächenmodifizierung Plasma-Reinigung, PreBond Behandlung.

OptiGlow ACE-für den Einsatz mit Sauerstoff, Argon oder Fluor (CF4) Typ Gas. Zwei Gas-Durchflussmesser, eloxiertes Aluminium Kammer. Variabel von 10 bis 150 Watt 13,56 MHz HF-Generator, Autotune. RIE-oder Plasma-Verarbeitung. Für die Aktivierung, Veraschen, Reinigen und Ätzen. Ideal zum Entfernen von Schichten für die Fehleranalyse, Ätzen eine Vielzahl von Filmen.

AutoGlow-Bis zu drei Gase-Sauerstoff, Argon oder andere Gase, Quarzkammer, 6 "Substrate, variabel von 10 bis 300 Watt 13,56 MHz HF-Generator, Autotune. Kapazitiv gekoppelten, Taster den automatischen Betrieb. Wird für Plasma-Reinigung, PreBond, Ätzen Filme, Entfernen von organischen Stoffen, Entfernen von Fotolack.

AutoGlow 200-verarbeiten kann 200 mm Substrate (oder 8 "-Wafer). RIE-oder Plasma-Verarbeitung. Bis zu drei Gase-Sauerstoff, Argon oder Fluor (CF4) Typ Gas, variabel von 10 bis 300 Watt 13,56 MHz HF-Generator, Autotune, eloxiertes Aluminium Kammer. Wird für Plasma-Reinigung, Aktivierung, PreBond, Ätzen, Entfernen von organischen Stoffen, Entfernen von Fotolack.

AutoGlow Plasma System

Plasma-Reiniger. Das Table-Top-System kann bei niedriger Leistung von 10 Watt oder bis zu 300 Watt, 13.56 MHz Festkörper-Generator, automatische Sendersuche, Druck Auslesen, Stickstoffspülung, weich Entlüftung, Gas drei Eingänge und ist mit CE-Kennzeichnung verwendet werden. Die AutoGlow kommt mit einer Garantiezeit von 24 Monaten. Perfekt für die Behandlung von PDMS, organischen Ausbau oder Fotolack entfernt. Hat eine Quarzkammer und kann bis zu 6 "(150 mm) Substrate.

Die AutoGlow Plasma System ist in der Produktion Fabriken sowie Labor-entwickelt, um die medizinische, wissenschaftliche, pädagogische und Mikroelektronik-Community mit Plasma-Technologie zu einem moderaten Preis bieten benutzt. Beinhaltet einen 2 Jahre Garantie.

Größere AutoGlow Systeme sind mit eloxiertem Aluminium-Kammern den Anforderungen des Kunden (RIE-oder Plasma-Verarbeitung) passen zur Verfügung. Im Bild unten ist ein AutoGlow 200. Ausgelegt für bis zu 200 mm (8 ")-Substraten oder Wafern, CF4, O2 oder Ar-Gas, das System für die RIE-oder Plasma-Verarbeitung in Abhängigkeit von der Probenträger Sie verwendet werden kann. Es hat eine Kammer aus eloxiertem Aluminium und kann zum Ätzen, Veraschen oder modificaiton Oberfläche verwendet werden.

Erfahren Sie mehr über AutoGlow

OptiGlow Plasma-Anlagen  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. Die OptiGlow ACE ist so konzipiert, Plasma Ein KTIVIERUNGSLISTE, A shing, C oder E schiefen khing bei 13,56 MHz durchzuführen. Die OptiGlow ACE verfügt über zwei Gas-Eingänge und kann den Einsatz mit Luft, Sauerstoff oder CF4 Typ Gase sein. Es hat eine Kammer aus eloxiertem Aluminium und sind sowohl für den RIE-oder Plasma-Verarbeitung verwendet werden. Ideal für einen langen Prozess und Entfernen von Schichten auf Verpackungen oder Halbleiter-Chips. Wird für Failure Analysis, Entfernen von Photoresist-, Reinigungs-Organik-, Ätz-Parylen, Oberflächenbehandlung und eine Vielzahl anderer Anwendungen.

Der Standard OptiGlow System ist für Oberflächenmodifizierung Plasma und Plasma-Behandlung, Oberflächenaktivierung verwendet. Priced unter $ 10.500 (USD), ist die robuste, Table-Top-OptiGlow Plasma System ideal für Produktions-oder Laboranwendungen. Einfach mit einem Display für Kammerdruck und Modul-Status nutzen.

Die OptiGlow System ist das erste niedrigen Kosten Plasma, das zur Erhöhung der Benetzbarkeit und Komfort von Kontaktlinsen verwendet werden können. Die OptiGlow Plasma System ist auch ideal für den Einsatz vor dem Beschichten, Laminieren und Abscheideverfahren, und ist hochwirksam bei der Behandlung einer Vielzahl von Substraten oder Materialien.

Die OptiGlow 75 Plasma-System ist vergleichbar mit dem Standard OptiGlow und hat eine größere Kammer Aluminium, 75 Watt Leistung und die Option zur Nutzung von bis zu zwei Eingangs-Gase, wie Sauerstoff oder Argon. Können für Bio-Entfernung und Stripping Fotolack verwendet werden.

SputterGlow Sputter Deposition System

Eine perfekte Wahl, um eine breite Palette von Dielektrika oder Metallen, mit bis zu drei Ziele einzahlen. Ursprünglich entwickelt, um Si ₃ N ₄ anti-reflektierende Beschichtungen auf Solarzellen als Alternative zur Verwendung von PECVD-Abscheidung, weil die SputterGlow Prozess erfordert keine gefährlichen Gase wie SiH ₄ für Nitridabscheidungsprozesses. Das System hat Schrittmotor Robotik, beheizbare Stationen, und mit einem Laptop-Computer gesteuert wird.

Die proprietäre Planarmagnetron erzeugt ein Plasma mit niedriger oder hoher Leistung, je nach Ihrem Bedarf. Die SputterGlow wurde entwickelt, um Verfahren Vakuum Integrität zu gewährleisten und nutzen ein Aluminium-Kammer (um Kosten niedrig zu halten).

Erfahren Sie mehr über SputterGlow

Rebuilt-Systeme

Glow Forschung hat über die weltweite Verantwortung für Teile und Service für einige ältere Geräte von Nordson MARCH (März Plasmod, Lieferung März Plasmod, März PM-600 und Jupiter März RIE-Systeme). Genommen Wir bleiben mit unserem Know-how und Angebot wieder aufgebaut März und Tegal Plasma-Systemen. Werfen Sie einen Blick auf, was wieder aufgebaut Systeme, die wir zu bieten haben .