Plasma Cleaners, Plasmaätzern, Plasma Ashers und Sputter Deposition (PVD) werden von Glow Forschung zur Verfügung gestellt. Glow Forschung stellt die neue AutoGlow Plasma Reiniger / Radierer, der OptiGlow Plasma-Systeme und die SputterGlow Sputter Deposition (PVD)-Systemen. Glow Forschung hat auch über die Teile und weltweiten Support für einige ältere Plasma-Systeme von Nordson MARCH (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter RIE) übernommen und baut neue Plasma-Reaktoren für die unterschiedlichsten Anforderungen und Größen. Wir verstehen, dass die meisten Labore und Menschen, die Plasma-Systemen erwerben ein hohes Maß an Unterstützung benötigen vor und nach dem Verkauf. Wir haben die Möglichkeit, Ihre Proben laufen, und helfen bei der Installation Ihres Systems. Glow Forschung wird Gratismuster für Kunden, die wollen unsere Systeme kaufen können Prozess.

AutoGlow Plasma System

Plasma Cleaner. Kann bei niedriger Leistung von 10 Watt oder bis zu 300 Watt, 13,56 MHz Festkörper-Generator, automatische Sendersuche, Druck ausgelesen, Stickstoffspülung, weich Entlüftung, drei Gas-Eingänge verwendet werden und ist CE-gekennzeichnet. Die AutoGlow kommt mit einem 24 Monate Garantie. Perfekt für die Behandlung von PDMS, organischen Ausbau oder Fotolack entfernt.

Die AutoGlow Plasma-System ist in Produktionsstätten sowie Labors konzipiert, um die medizinischen, wissenschaftlichen, pädagogischen und Mikroelektronik-Community mit Plasma-Technologie zu einem moderaten Preis bereitzustellen. Inklusive 2 Jahre Garantie.

Größere AutoGlow Systeme sind mit eloxierten Aluminium-Kammern zu den Anforderungen des Kunden passen zur Verfügung. AutoGlow Systemen verarbeiten kann 200 mm (8 ")-Wafern.

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SputterGlow Sputter Deposition System

Eine perfekte Wahl für Dielektrika oder Metalle mit Einzahlung bis zu drei Ziele. Ursprünglich entwickelt, um Si 3 N 4 anti-reflektierende Beschichtungen auf Solarzellen Anzahlung als eine Alternative zur Verwendung PECVD-weil die SputterGlow erfordert keine gefährlichen Gase wie SiH 4 für Nitrid Ablagerung. Das System verfügt über Stepper Robotik, beheizten Stationen und ist mit einem Laptop-Computer gesteuert.

Die proprietäre Planarmagnetron erzeugt ein Plasma mit niedriger oder hoher Leistung je nach Bedarf. Die SputterGlow wurde entwickelt, um Prozessvakuum Integrität zu gewährleisten und zu nutzen ein Aluminium-Kammer (um Kosten niedrig zu halten).

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OptiGlow Plasma Systems

Wird für Plasma Oberflächenmodifizierung und Plasma-Behandlung, Surface-Aktivierung. Priced unter $ 10.500 (USD), ist die robuste, Table-Top-OptiGlow Plasma-System ideal für Produktions-oder Laboranwendungen. Easy to use. Anzeige für Kammerdruck und Modul-Status.

Die OptiGlow System ist das erste Low-Cost-Plasma, das zur Erhöhung der Benetzbarkeit und Komfort von Kontaktlinsen und verschiedene Materialien verwendet werden können. Die OptiGlow Plasma System ist ideal für den Einsatz vor der Beschichtung, Laminierung und Abscheideverfahren, und ist hochwirksam bei der Behandlung einer breiten Palette von Substraten oder Materialien. Gebrauchte in Bio-MEMS und Mikrofluidik.

Die OptiGlow 75 Plasma-System ist wie die Standard-OptiGlow, aber mit mit 75 Watt Leistung und die Möglichkeit, bis zu zwei Ein-Gase, wie Sauerstoff oder Argon.

leaning or E tching at 13.56 MHz. Die OptiGlow ACE ist so konzipiert, A shing, C geneigtem oder E tching bei 13,56 MHz durchzuführen. Die OptiGlow ACE ist für bis zu zwei Gase Eingängen ausgelegt und kann mit CF4 Typ Gase verwenden. Aus eloxiertem Aluminium Kammer und entweder für RIE-oder Plasma-Bedingungen. Ideal für einen langen Prozess und Entfernen von Schichten auf Paketen oder Halbleiter-Chips.

OptiGlow ACE (Reinigung, Veraschung, Etching)

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Rebuilt-Systeme

Glow Forschung hat sich über die weltweite Verantwortung für Teile und Service für mehrere ältere Einheiten aus Nordson MARCH (März Plasmod, March Lieferung Plasmod, March PM-600 und im März Jupiter RIE-Systeme) übernommen. Wir bleiben mit unserem Know-how und bieten umgebaut März und Tegal Plasma-Systemen. Werfen Sie einen Blick an, was wieder aufgebaut Systeme, die wir zu bieten haben .