AutoGlow Plasma-Anlagen

Die AutoGlow Plasma-System ist ein Tabletop-Plasma-Reaktor Chemie entwickelt, um die medizinische, wissenschaftliche, pädagogische und die Produktion Mikroelektronik-Community mit Plasma-Technologie zu einem moderaten Preis bieten. Das System ist in der Produktion sowie F & E-Zentren eingesetzt. Wird für Argon-Plasma-, Sauerstoff-Plasma, Plasma-Beschichtung, PDMS, Sauerstoff-Plasma-Behandlung, widerstehen Foto Strippen, FA-Anwendungen, Parylene Entfernung, Entfernung organischer und Laboranwendungen.

Universitäten und Unternehmen weltweit finden die AutoGlow Plasma System die perfekte Lösung für ihre Bedürfnisse Plasma.

Die AutoGlow Plasma System ist das effizienteste System seiner Art auf dem Markt wegen seiner variablen 10 Watt bis 300 Watt, 13.56 MHz Festkörper-Generator. Die AutoGlow Plasma-System wird auch die effiziente Aufteilung Gase eingeführt, um das System zu schaffen reaktive Spezies, die schnell zu reinigen oder zu modifizieren wird die Probe ausgelegt. Automatischer Sendersuchlauf und ein Druck-Anzeige enthalten sind. Die AutoGlow kann ein Plasma so niedrig wie 10 Watt zu schlagen!

Automatische / per Knopfdruck bedienen.

Glow Forschung hat die besten Designs aus den alten Systemen übernommen und aktualisiert die AutoGlow Plasma System mit der aktuellen Technologie, einschließlich unserer eigenen Phasengröße Detektor und SimpleMatch RF-Netzwerk, die eine effiziente Plasma-Tuning erlaubt und ermöglicht eine schnelle Verarbeitung ohne die Mühe der ständige Anpassung an verschiedene Muster Lasten. Die AutoGlow ist sehr zuverlässig und hat zwei Jahre Garantie! Leicht ersetzbar Module im System sind: HF-Generator, HF-Spiel Netzwerk-, Stulp-Modul (siehe unten), Quarzkammer und Gas Control Module Weitere Daten und Informationen, klicken Sie bitte auf den "AutoGlow Features" nach rechts auf dieser Seite. .

Hier ist, was ein Kunde kürzlich, um über ihre AutoGlow sagen hatte: "Alles funktioniert prima. Es ist einfach entlang tuckert, wie es sollte. Ich bin beeindruckt, wir können fast voll Asche AZ4620 bei 125W Widerstand in wenigen Minuten. Ich habe auch mit jemand es für die Vorbehandlung von PDMS vor dem Verkleben. Funktioniert prima dafür. "
 
Die AutoGlow 200-System ist für bis zu 200 mm Substrate oder 8 "-Wafer ausgelegt und kann RIE oder Plasma durchführen Verarbeiten-je nachdem, welche Probenträger dient. Die Kammer kann aus eloxiertem Aluminium Standard O2, Ar oder CF4 Typ Gase zum Ätzen von Anwendungen accomidate. Das bewährte elektronische, HF-Generator, entsprechen Netzwerk-und Gas-Steuerung ist die gleiche wie die Standard-AutoGlow oben. Bitte kontaktieren Sie Glow Forschung für mehr Informationen über die AutoGlow 200.
Die AutoGlow 200 hat den gleichen Status wie die diagnostische Karte AutoGlow, dass alle Sub-Module korrekt funktionieren bestätigt. Das System nach rechts ist
gezeigt, mit dem optionalen Stickstoff Kammerentlüftungsöffnung Säuberung.
Die AutoGlow 200 kann für eine Vielzahl von Anwendungsbereichen aus Plasma Aktivierung verwendet werden, Reinigung, Entfernprozess organischer, vor dem Auftragen Reinigung   sowie eine Vielzahl von Anwendungen Ätzen.
 
 
 
 
 

MIT hat eine AutoGlow im Stata Center, die für verschiedene biomedizinische Forschung und Mikrofluidik eingesetzt wird. Abgebildet ist ein Geraldine Paulus, Doktorand verantwortlich für die AutoGlow am MIT-Gebäude 66 (Landau Gebäude Lab).

 
 
 

"Rice University hat eine AutoGlow im Halas Research Lab. Das System zur Entfernung von Polymer widersteht für Anwendungen in Plasmonik und Nanophotonik verwendet wird. Abgebildet ist Lisa Brown, ein Doktorand, der die AutoGlow verwendet, um Proben für surface-enhanced Molekülspektroskopie vorzubereiten. "

Harvard University AutoGlow System in der Gordon McKay Lab. Das System ist für Bio-Entfernung, Oberflächenmodifizierung und dient den Bedürfnissen der verschiedenen Forscher, die an DNA-Forschung und Sequenzierung des menschlichen Genoms verwendet. Abgebildet ist Gordon Whitlock, Präsident von Glow Research.

Abgebildet ist die AutoGlow am Microsystems Technology Lab am MIT. Dies ist für AutoGlow Fotolack Entfernung, Reinigung und Oberflächenmodifizierung verwendet. Das Labor forscht in MEMS, BioMEMS, Nanotechnik und Photonik.