AutoGlow Features | Glow Forschung Plasma Systems

Beachten Sie die Gas-distrubution Rohr in der Kammer - das hilft bei der einheitlichen Prozess.

Die AutoGlow Plasma System Solid-State-Elektronik, aktualisiert Gaszufuhr Optionen und Technologien, die sowohl Benutzern als auch Sicherheitspersonal auf der ganzen Welt erwartet. Die Kammer beträgt 144.27mm (5,68 in) im Durchmesser von 186.94mm tief (7,36 Zoll) und ist von hoher Reinheit Quarz. Das System und die Kammer sind so konzipiert, Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit zu erhöhen, wenn andere Table-Top-Plasma-Systeme im Vergleich. Eine größere Kammer ist ebenfalls verfügbar.

Die AutoGlow Plasma-System wurde sowohl für Low-Power-oder High-Power-Betrieb mit einem variablen 10-300 Watt, 13.56 MHz Festkörper-Generator macht die AutoGlow Plasma System das effizienteste System seiner Art auf dem Markt entwickelt.

Klein, Table-Top-System
Variable 10 bis 300 Watt bei 13,56 MHz für sanfte oder mehr aggressive Verarbeitung
Kammer von hochreinem Quarz gemacht
Solid-State-Elektronik-no Rohre
Proprietäre Festkörperdetektor für eine schnelle Abstimmung
Automatic Tuning für die effiziente Verarbeitung von Plasma
Pressure Auslesen für einfache Verarbeitung
Timer
Zeigt Vorwärts-und reflektierte Leistung und RF-Sollwert
AutoTell diagnostische Karte für verbesserte Verfügbarkeit
Chamber Gasversorgung für eine verbesserte Gleichmäßigkeit
Soft-vent, um den Druck platzen zu verhindern
Optional Gas Control Module mit bis zu drei Gas-Eingänge
Uniform Plasma für eine schnelle und effiziente Ergebnisse
Proprietäre HF-Generator und Match-Netzwerk für minimal reflektierte Leistung unabhängig von der Leistungsstufe
SimpleMatch Anpassungsnetzwerk für einen schnellen Suchlauf
UV-Schutz in der Frontansicht Tür gebaut
Vollständig charakterisiert System für reproduzierbare Ergebnisse
Leicht zu verstehen, einfach zu bedienen
Die gesamte Elektronik ist auf zwei Einsteckkarten für einfache Reparatur
Start-up-Unterstützung
Start-up-Video
Vollständige Anleitung und Dokumentation
24 Monate Garantie

Das Design des AutoGlow beginnt mit dem Blech auf dem System verwendet wird. Das Metall ist verzinkt und

Blech behandelt und maskiert, um die ordnungsgemäße RF sicherzustellen design.cured, um eine ordnungsgemäße Verbindung der Farbe mit der richtigen elektrischen Kontakt zu gewährleisten. Die Metall-Gehäuse ist in einer Weise, die Metall-Metall-Kontakt zu erhöhen maskierten ... um HF-Lecks zu beseitigen. Dies bedeutet, dass die AutoGlow wird ein Plasma schnell zuschlagen, unabhängig von der Probe zu laden. Proper RF Tuning beginnt mit dem Gehäuse-Design. Die AutoGlow ist modular aufgebaut. Der HF-Generator kann leicht von der Rückseite des Systems entfernt werden. Die Kammer kann leicht entfernt werden. Alle System-Elektronik sind auf einer auswechselbaren Bord (an dem Displayfeld). Die einzigen Verbindungen erforderlich sind für Elektro-, Vakuum-und Gas (alle dargestellt). Schließen Sie einfach den Netzstecker, conect der Vakuumpumpe und Ihre Gas ... und Sie sind bereit, Ihre Proben zu verarbeiten.

Die RF-Match Network ist extrem schnell die Kapazitäten um 360 Grad drehen, die die AutoGlow zu extrem schnellen, unabhängig von der Last innerhalb der Prozesskammer Melodie ermöglicht.

Die obere Elektrode wird mit Strom versorgt und die untere Elektrode ist geerdet, was produziert einen chemischen Prozess. Die AutoGlow kann von so niedrig wie 10 Watt für die schonende Verarbeitung ausgeführt wird, oder so hoch wie 300 Watt für mehr aggressive Verarbeitung.