AutoGlow Merkmale

Das System verfügt über AutoGlow Plasma Festkörperelektronik, aktualisiert Gas Versandoptionen und Technologie, die sowohl von Nutzern und Sicherheitspersonal in der ganzen Welt erwartet wird. Die größere Kammer Größe bietet Platz für 6 "Substrat und ist 160mm (ID) Durchmesser x 186,94 mm (ID) tief und besteht aus hochreinem Quarz gefertigt. Das System und die Kammer sind so konzipiert, Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit zu erhöhen, wenn zu anderen Table-Top-Plasma-Systeme verglichen.

Die AutoGlow Plasma-System wurde sowohl für Low-Power-oder Hochleistungs-Betrieb mit einem variablen 10-300 Watt, 13.56 MHz Festkörper-Generator macht die AutoGlow Plasma System das effizienteste System seiner Art auf dem Markt entwickelt. Der Bediener kann ein Verfahren bei 10 Watt ausgeführt oder so hoch wie 300 Watt für eine aggressivere Verarbeitung. Die Leistung kann in 1 Watt-Schritten eingestellt werden.

  • Klein, Table-Top-System
  • Variabel von 10 bis 300 Watt bei 13,56 MHz für die schonende Verarbeitung oder aggressiver
  • Kammer von hochreinem Quarz
  • Solid-State-Elektronik-Rohre keine
  • Proprietäre Festkörperdetektor für eine schnelle Abstimmung
  • Die automatische Abstimmung für eine effiziente Verarbeitung Plasma
  • Druck ausgelesen für eine einfache Verarbeitung
  • Timer
  • Zeigt die Leistung und der Reflexion und HF-Sollwert
  • AutoTell diagnostische Karte für verbesserte Betriebszeit
  • Gasverteilungsvorrichtung für verbesserte Gleichmäßigkeit
  • Soft-Vent, um den Druck platzen verhindern
  • Optional Gas Control Module mit bis zu drei Gas-Eingänge
  • Einheitliche Plasma für schnelle und effiziente Ergebnisse
  • Proprietäre HF-Generator und Match-Netzwerk für minimal reflektierte Leistung unabhängig von der Einstellung der Leistung
  • SimpleMatch Anpassungsnetzwerk für einen schnellen Suchlauf
  • UV-Schutz in die Vorderansicht Tür gebaut
  • Vollständig charakterisiert System für reproduzierbare Ergebnisse
  • Leicht zu verstehen, einfach zu bedienen
  • Die gesamte Elektronik ist auf zwei Einsteckkarten für einfache Reparatur
  • Start-up-Unterstützung
  • Start-up-Video
  • Vollständige Anleitung und Dokumentation
  • 24 Monate Garantie

Das Design des AutoGlow beginnt mit dem Metallblech auf dem System verwendet. Blech behandelt und maskiert, um geeignete RF-Design zu gewährleisten.
Die Metall-Gehäuse ist in einer Weise, um das Metall-Metall-Kontakt ... um HF-Lecks zu beseitigen erhöhen maskiert. Dies bedeutet, dass die AutoGlow ein Plasma schnell schlagen, unabhängig von der Abtastwertladeperiode. Richtiger RF Tuning beginnt mit dem Gehäuse-Design.
Die AutoGlow ist modular aufgebaut. Der HF-Generator kann leicht von der Rückseite des Systems entfernt werden. Die Kammer kann leicht entfernt werden. Alle System-Elektronik sind auf einer auswechselbaren Bord (an dem Displayfeld). Die einzigen Verbindungen erforderlich sind für Elektro-, Vakuum-und Gas (alle dargestellt). Schließen Sie einfach den Netzstecker, schließen Sie die Vakuumpumpe und Ihre Gas ... und Sie sind bereit, Ihre Proben zu verarbeiten.

Der Diagnostic-Karte wird bestätigen, dass alle Module einwandfrei funktionieren.

 

 

 

 

 

Die HF-Spiel-Netzwerk ist extrem schnell die Kondensatoren 360 Grad, die AutoGlow extrem schnelle unabhängig von der Last im Inneren der Behandlungskammer einzustellen ermöglicht drehen.

Die obere Elektrode wird mit Strom versorgt und die untere Elektrode ist geerdet-produziert, welche einen chemischen Prozess. Die AutoGlow kann von so niedrig wie 10 Watt für schonende Verarbeitung ausführen, oder als bis zu 300 Watt für aggressivere Verarbeitung.

Die gesamte Elektronik befinden sich auf einer Platine. Dieses Board ist an der Rückseite der vorderen Bedienfeld montiert ist. Die Frontplatte der Montage kann leicht ersetzt werden.