OptiGlow Plasma-Anlagen

Glow Research bietet drei verschiedene Arten von OptiGlow Plasma-Systeme:

  • OptiGlow: Niedrigster Preis. Zur Oberflächenmodifizierung mit Luft als Prozessgas, ein Durchflussmesser, 100 kHz, 50 Watt, Aluminium-Kammer, keine Justierung erforderlich, automatische Zeitschaltuhr. Verfügt über einen internen Vakuumpumpe. Drucktaster, automatischen Betrieb.
  • OptiGlow 75: Für Plasma-Reinigung, PDMS Behandlung, wurde die Aktivierung ist eine Oberflächenmodifikation durch Luft, Sauerstoff, Argon oder Stickstoff für die Verarbeitung von zwei Durchflussmesser, 100 kHz, 75 Watt, keine Justierung erforderlich, Zeitautomatik und Aluminium-Kammer.. Externe Vakuumpumpe (empfehlen Fomblinöl für Sauerstoff-Verarbeitung). Drucktaster, automatischen Betrieb.
  • leaning, E tching (ACE). OptiGlow ACE: For A shing / Aktivierung, C schiefen, E tsching (ACE). Aus eloxiertem Aluminium Kammer, von 10 bis 150 Watt, automatische Sendersuche 13,56 MHz, zwei Durchflussmesser, Plasma oder RIE Stil Verarbeitung mit Sauerstoff, Argon oder CF4 Chemie. Ideal für Ätzen IC-Gehäusen oder anderen Ätzen / Reinigen applicaitons. Hat Probenhalter mit zwei Regalen ... obersten Regal für RIE, bottom shelf für Plasma-Verarbeitung. Entwickelt für lange Verarbeitungszeit per Knopfdruck, automatischer Betrieb.

Die OptiGlow ACE kann verwendet werden, um restliche Kunststoff von IC und zu entfernen für die Fehleranalyse werden. Hier sind einige Daten aus unserer Kunden, JHT Instruments, LLC.

Kommentare von JHT Instruments, LLC: Nach 1,5 Stunden Bearbeitungszeit bei den folgenden Bedingungen: Einheit im Vordergrund "Regal" des Probenhalters, 100 Meter Kammerdruck, 100W Leistung nach vorne. A uch gereinigt von der Oberfläche des Gerätes mit IPA. Die folgenden Bilder veranschaulichen den Prozess aus dem verpackten Gerät bis hin zur gewünschten gelöscht sterben Oberfläche. Der ACE scheint recht "benutzerfreundlich" und effektiv sein.

Nach links: Post-Politur (sterben leicht sichtbar)
Um die richtige Post 1,5 Stunden Veraschung, 100 Watt,
auf der Oberseite (RIE) Regal.
 
OptiGlow:

Entwickelt für Luft-Plasma, Plasma-Behandlung, Kontaktlinsen-Behandlung, Steigerung Benetzbarkeit, Oberflächenbehandlung und General Plasma System. Die robuste, Table-Top-OptiGlow Plasma System ist perfekt für die Produktion oder im Labor. Die OptiGlow Plasma System ist das erste Low-Cost-Plasma-System zur Erhöhung der Benetzbarkeit und Komfort von Kontaktlinsen entwickelt. Die OptiGlow wird auch verwendet, um Material vor der Beschichtung, Laminierung oder Ablagerung zu behandeln, und ist hochwirksam bei der Behandlung einer Vielzahl von Substraten oder Materialien. Erhöhte Oberflächenenergie aus einem Material verbessert die Hafteigenschaften, wodurch eine verbesserte Bindung, Kleben, Markierbarkeit, Lackierbarkeit und Beschichtbarkeit.

  • Hydrophile Oberflächenbehandlung
  • Steigern Adhäsion und Kapillarwirkung
  • Hydrophile Behandlung von Mikrokanälen
  • Wird in Bio-MEMS und Mikrofluidik
  • Kontrolle der Oberflächeneigenschaften
  • Erhöht elektroosmotischen Fluß (EOF) aus verschiedenen Materialien
  • Die Behandlung von PDMS
  • Vermitteln Protein-und Zell-abweisende Eigenschaften für einige Materialien
  • Ideal für den Einsatz vor dem Beschichten, Laminieren oder Abscheidungsverfahren
  • Reinigt, aktiviert vor dem Bedrucken oder Kleben

Hydrophobe: Kontaktlinsen-Material ohne OptiGlow Plasmabehandlung.

Die OptiGlow Plasma System verfügt über einen Aluminium-Kammer und eine zuverlässige 100kHz, niedrige Frequenz RF-Generator. Die Pumpe wird in das System eingebaut. Schließen Sie einfach den OptiGlow Plasma-System und Sie sind bereit zu verarbeiten. Die OptiGlow Plasma System ist so konzipiert, Raumluft als Prozessgas verwendet werden.

Priced unter $ 10.500 (USD), ist die OptiGlow Plasma System zur optischen Labors geeignet, Kontaktlinsen-Hersteller und Universitäten, die finden, es wird eine perfekte Passform für ihre Bedürfnisse Plasma, als auch ihr Budget.

Hydrophile: Verbesserte webabilty mit OptiGlow Plasmabehandlung.

Gas-Plasma-Behandlung bietet eine schnelle, effiziente Methode zur Oberflächenmodifizierung von Kontaktlinse oder verschiedenen Polymeren und Materialien. OptiGlow Plasmabearbeitung erhöhen Benetzbarkeit verbessert Schlüpfrigkeit und ermöglicht das Deponieren von biokompatiblen Materialien. Kontaktlinsen Plasma-Behandlung ist eine häufige Anwendung, bei der die Oberfläche des Objektivs oxidiert, um eine hydrophile Linsenoberfläche, die resistent gegen Proteinablagerungen ist zu erstellen. Das Plasma-Verfahren ermöglicht für verbesserten Komfort und mehr Verschleiß.

Kammer

Die Plasmakammer, aus hochwertigem 6061-T Aluminium hergestellt, ist beständig gegen Chemikalien und leicht zu reinigen. Leistung wird an die obere Elektrode über einen HF-Zuführung durch zugeführt wird, und das Aluminium Kammer wirkt als Grund-was für eine gleichmäßige Plasmabearbeitung.

Das System Steuermodul Monitore Kammerdruck, voreingestellten Strom-und Ist-Leistung. Für jeden Plasmaverfahren, ist es wichtig, den Kammerdruck auf eine korrekte und wiederholbare zu gewährleisten kennen. Eine relative Kammerdruck auf der Vorderseite des Systems angezeigt.

Process Control

Durchflußmesser ist auf der Vorderseite des OptiGlow Plasma für einfache Einstellung und Anzeige Gas angebracht ist. Ein internes Magnetventil schaltet das Gas ab, nachdem der Prozess abgelaufen ist. Dies wird für wiederholbare Produktion Verarbeitung ohne ständig justieren den Gasfluss für nachfolgende Plasma-Behandlungen zu ermöglichen. Der Kammerdruck wird durch die Strömung des Gases in der Kammer gesteuert. Als Sicherheitsschutz wird Prozessgas nur fließen gelassen wird, um der Reaktionskammer, wenn alle Verriegelungen bestätigt.

Power and Matching-Netzwerk

Die OptiGlow Plasma System ist mit 100 KHz, 50 Watt Low Frequency Generator und einem eingebauten Anpaßeinheit ausgestattet. Kein Tuning erforderlich ist und eine starke, robuste Plasmaglühen wird automatisch auf jedem Lauf erzeugt.

Sicherheit

Zur Standardausstattung gehören eine Schaltfläche, die HF-Leistung und Gas flow.Safety Verriegelungen verhindern die Aktivierung des HF-Leistung und Gasfluss, wenn die Kammer Tür offen oder wenn Abdeckungen entfernt werden, ist beendet. Die OptiGlow Plasma System hat strenge Tests bestanden und ist CE-gekennzeichnet. Konzipiert für US oder International Power (110 oder 230 VAC).