Andere Plasma-Anwendungen

Andere Anwendungen umfassen die Probenvorbereitung für die Elektronenmikroskopie, die Behandlung von Kunststoffoberflächen, um die Haftung, die Entfernung von Photoresist auf Halbleiterwafern, und die Oberflächenbehandlung vor dem Vakuum Filmverdampfung für spezielle Beschichtungen zu verbessern.

Das Plasma erzeugt ist ein teilweise ionisiertes Gas-Komplex von Elektronen, Ionen, freie Radikale, Photonen verschiedener Energien und Gas-Atomen bestehen. Die Glimmentladung oder Plasma erzeugt eine Spannung Gasstrom, der physikalisch-chemischen Eigenschaften von festen Oberflächen ändert, ohne die zugrunde liegenden Bulk-Eigenschaften des Materials. Ein paar Sekunden Belichtung ist oft ausreichend, um die Oberfläche zu verarbeiten.

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