Tegal 903E

Kassette zu Kassette In-Line Single Wafer Plasma System. Capability zu ätzen, Vias und Kontakte. Zum Ätzen Siliciumdioxid, Siliciumnitrid und Polyamide. System ist mit der Beratung von über angemessene Erleichterung und Betrieb verkauft. System ist betriebsbereit und kann an unser Customer Support Center in Mesa, Arizona demonstriert werden. Verschiedene Upgrades sind verfügbar, um Ihre spezifischen Bedürfnisse anzupassen.

Kann Wafer von 3 Zoll bis 6 Zoll Derzeit für 4 Zoll Wafer konfiguriert handhaben.

• Mikroprozessor-Steuerung
• Derzeit für 4 Zoll (100 mm) Wafer konfiguriert.
• ENI 1000 Watt 13,56 MHz HF-Generator.
• 20 Prozess-Rezept-Fähigkeit
• Prozessgase nach Tylan MFC-gesteuert
• Non-Reibung Spachtel Pick and Place Wafer-Transport.
• Leybold D65 Sauerstoff Pumpe (optional Trockenpumpe verfügbar)
• Zwei Tegal Closed-Loop-Temperaturregler
• Dezember-Monitor und Tastatur
• Non-Reibung Spachtel Pick and Place Wafer-Transport.
• Handbücher enthalten, 208 V, 50/60 Hz

(Verkauf angemeldet)