SputterGlow Merkmale

  • Reactive Deposition von Si 3 N 4 oder anderen Filmen
  • Beseitigt Notwendigkeit Silangas
  • Einfach in einem Labor erleichtern, braucht keine gefährlichen Gase
  • Bis zu drei Ziele
  • Kaution Dielektrika oder Metalle
  • 200 mm-Wafern (oder kleiner) oder 156 mm x 156 mm Solarzellen
  • Heizung Optionen (bis 400 Grad C)
  • 1200 Watt, 13,56 MHz HF-Generator
  • Automatic Tuning
  • Turbo-und Vorpumpe
  • Wassergekühlte Magnetron-Sputtern
  • Stepper Kontrollierte Substrathandling
  • Computer-oder manuelle Steuerung von Gauges
  • MFC-Steuerelement von Gasen
  • Diagnose mithilfe der LEDs

Optionen

  • Substratvorspannung
  • RGA
  • Umlaufkühler Ziel Cooling
  • Viewportfenstern

Alle SputterGlow Systeme kommt mit einem 12 Monate Garantie, Bedienungsanleitung, Video-on ordnungsgemäßen Aufbau des Systems und den Betrieb eingestellt. Glow Forschungen werden auch Vor-Ort-Bereich Service-Support für die Inbetriebnahme des Systems.

Für weitere Informationen rufen Sie bitte 480-621-8405 USA Glow Forschung oder Mailen Sie uns .