Οι Plasma Καθαριστές, Etchers πλάσματος, πλάσμα και Ashers Εναπόθεση καθοδικής διασκόρπισης (PVD) συστήματα που παρέχονται από την έρευνα Λάμψη. Έρευνα Λάμψη AutoGlow κατασκευάζει συστήματα πλάσματος, πλάσμα OptiGlow συστήματα και SputterGlow εναπόθεση καθοδικής διασκόρπισης (PVD) συστήματα. Έρευνα Λάμψη έχει αναλάβει τα τμήματα και παγκόσμια υποστήριξη για αρκετά μεγάλα συστήματα πλάσματος από Nordson ΜΑΡΤΙΟΥ (Plasmod, Σούπερ Plasmod, PM-600, Δίας RIE) και χτίζει νέους αντιδραστήρες πλάσματος για διάφορες απαιτήσεις και τα μεγέθη. Καταλαβαίνουμε ότι τα περισσότερα εργαστήρια και οι άνθρωποι που αγοράζουν συστήματα πλάσματος απαιτούν μεγάλη βοήθεια πριν και μετά την πώληση. Έχουμε τη δυνατότητα να τρέξει τα δείγματά σας, και να βοηθήσει με την εγκατάσταση του συστήματός σας. Η έρευνα θα επεξεργαστεί Λάμψη ΔΩΡΕΑΝ ΔΕΙΓΜΑΤΑ για τους πελάτες που μπορεί να θέλουν να αγοράσουν τα συστήματα μας.

Επιλέγοντας το σωστό σύστημα:

OptiGlow-χρησιμοποιεί τον αέρα ως το χώρο του φυσικού αερίου διαδικασία, 50 W, 100 kHz, θάλαμος αλουμινίου. Για μετατροπή της επιφάνειας. Χαμηλότερες τιμές σύστημά μας κάτω από $ 11.000 (περιλαμβάνει την αντλία κενού).

OptiGlow 75-για χρήση με οξυγόνο ή αργού (και άλλων αερίων), 75 watt, 100 kHz, θάλαμος αλουμινίου. Για μετατροπή της επιφάνειας, το πλάσμα καθαρισμού, prebond θεραπεία.

OptiGlow ACE-για χρήση με οξυγόνο, αργό ή φθορίου (CF4) αερίου τύπου. Δύο ροόμετρα αερίου, ανοδιωμένο αλουμίνιο θάλαμο. Μεταβλητή 10 έως 150 watt 13,56 MHz RF γεννήτρια, autotune. RIE ή επεξεργασίας πλάσματος. Για ενεργοποίηση, την αποτέφρωση, τον καθαρισμό και τη χαρακτική. Ιδανικό για την αφαίρεση των στρωμάτων για την Ανάλυση Αστοχίας, χαρακτική μια ποικιλία από ταινίες.

AutoGlow-έως και τρεις αέρια-οξυγόνου, αργού ή άλλα αέρια, χαλαζία θάλαμο, 6 "υποστρώματα, μεταβλητή 10 έως 300 watt 13,56 MHz RF γεννήτρια, autotune. Χωρητική σύζευξη, μπουτόν αυτόματης λειτουργίας. Χρησιμοποιείται για τον καθαρισμό του πλάσματος, prebond, χαρακτική ταινίες, αφαιρώντας τις οργανικές ουσίες, αφαίρεση photoresist.

AutoGlow 200-μπορεί να επεξεργαστεί 200 χιλιοστά υποστρώματα (ή 8 "γκοφρέτες). RIE ή επεξεργασίας πλάσματος. Έως τρεις αέρια-οξυγόνου, αργού ή φθορίου (CF4) αερίου τύπου, μεταβλητή 10 έως 300 watt 13,56 MHz RF γεννήτρια, autotune, ανοδιωμένο αλουμίνιο θάλαμο. Χρησιμοποιείται για τον καθαρισμό του πλάσματος, την ενεργοποίηση, prebond, χαρακτική, αφαιρώντας τις οργανικές ουσίες, αφαίρεση photoresist.

AutoGlow Plasma Σύστημα

Καθαριστικό πλάσματος. Αυτό το επιτραπέζιο σύστημα μπορεί να χρησιμοποιηθεί με χαμηλή ισχύ των 10 W. ή μέχρι 300 βατ, 13,56 MHz γεννήτρια στερεά κατάσταση, αυτόματη ρύθμιση, πίεση ανάγνωση έξω, έκπλυσης αζώτου, μαλακό εξαερισμού, τρεις εισόδους του φυσικού αερίου και έχει τη σήμανση CE. Η AutoGlow έρχεται με μια εγγύηση 24 μηνών. Ιδανική για τη θεραπεία PDMS, οργανική αφαίρεση ή φωτογραφία-αντιστέκονται στην απομάκρυνση. Έχει ένα θάλαμο χαλαζία και μπορεί να επεξεργαστεί μέχρι και 6 "(150 mm) υποστρώματα.

Το πλάσμα AutoGlow σύστημα χρησιμοποιείται σε εργοστάσια παραγωγής καθώς και εργαστήρια-σχεδιασμένα για να παρέχουν την ιατρική, επιστημονική, εκπαιδευτική και μικροηλεκτρονική κοινότητας με την τεχνολογία πλάσματος σε ένα μέτριο κόστος. Περιλαμβάνει ένα 2 χρόνια εγγύηση.

Μεγαλύτερα συστήματα AutoGlow είναι διαθέσιμα με ανοδιωμένο αλουμίνιο θαλάμους για να ταιριάζουν στις απαιτήσεις του πελάτη (RIE ή επεξεργασίας πλάσματος). Στη φωτογραφία κάτω είναι μια AutoGlow 200. Σχεδιασμένη για έως 200 mm (8 ") υποστρώματα ή γκοφρέτες, CF4, Ο2 ή Ar αερίου, το σύστημα μπορεί να χρησιμοποιηθεί για RIE ή επεξεργασίας πλάσματος, ανάλογα με το φορέα δείγμα που χρησιμοποιείτε. Έχει ανοδιωμένο αλουμίνιο θάλαμο και μπορεί να χρησιμοποιηθεί για modificaiton χαρακτική, αποτέφρωση ή επιφάνεια.

Μάθετε περισσότερα για AutoGlow

OptiGlow Plasma Συστήματα  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. Η ACE OptiGlow έχει σχεδιαστεί για να εκτελεί ένα πλάσμα ctivation, Α shing, C ή E κλίση tching σε 13,56 MHz. Η OptiGlow ΜΕΑ έχει δύο εισόδους φυσικού αερίου και μπορεί να χρησιμοποιηθεί με τον αέρα, οξυγόνο, ή CF4 αέρια τύπου. Έχει ανοδιωμένο αλουμίνιο θάλαμο και μπορεί να χρησιμοποιηθεί είτε για RIE ή επεξεργασίας πλάσματος. Μεγάλη για μια μακρά διαδικασία και αφαίρεση στρωμάτων στις συσκευασίες ή τα τσιπ ημιαγωγών. Χρησιμοποιείται για την Ανάλυση Αστοχίας, αφαιρώντας photoresist, καθαρισμού οργανικών, χαρακτική Parylene, επιφανειακή επεξεργασία και μια σειρά από άλλες εφαρμογές.

Το στάνταρ σύστημα OptiGlow χρησιμοποιείται για μετατροπή της επιφάνειας του πλάσματος και επεξεργασία του πλάσματος, ενεργοποίηση επιφάνεια. Κοστολογείται κάτω από 10.500 δολάρια (USD), το ανθεκτικό, επιτραπέζια OptiGlow πλάσματος σύστημα είναι ιδανικό για την παραγωγή ή εργαστήριο εφαρμογές. Εύκολο στη χρήση με οθόνη για την πίεση του θαλάμου και το καθεστώς μονάδα.

Το σύστημα OptiGlow είναι το πρώτο σύστημα χαμηλού κόστους πλάσμα που μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την αύξηση της διαβροχής και την άνεση των φακών επαφής. Το πλάσμα OptiGlow σύστημα είναι επίσης ιδανικό για χρήση πριν από την επίστρωση, εξέλασης και διεργασιών εναπόθεσης, και είναι ιδιαίτερα αποτελεσματικό στη θεραπεία ένα ευρύ φάσμα υποστρωμάτων ή υλικού.

Το σύστημα OptiGlow 75 πλάσματος είναι παρόμοιο με το πρότυπο OptiGlow και έχει μια μεγαλύτερη αίθουσα από αλουμίνιο, 75 Watt της δύναμης και η επιλογή να χρησιμοποιήσει μέχρι δύο αέρια εισόδου, όπως το οξυγόνο και αργό. Μπορεί να χρησιμοποιηθεί για τη βιολογική απομάκρυνση και photoresist απογύμνωση.

SputterGlow καθοδικής διασκόρπισης σύστημα Εναπόθεση

Μια τέλεια επιλογή για να καταθέσει ένα ευρύ φάσμα από διηλεκτρικά ή μετάλλων, με έως και τρεις στόχους. Αρχικά είχε σχεδιαστεί για να καταθέσουν Si 3 N 4 αντι-ανακλαστική επίστρωση για τα ηλιακά κύτταρα ως εναλλακτική λύση στη χρήση PECVD, διότι η διαδικασία SputterGlow δεν απαιτεί επικίνδυνα αέρια όπως SiH 4 για εναπόθεση νιτριδίων. Το σύστημα έχει stepper ρομποτική, θερμαινόμενη σταθμούς, και ελέγχεται με ένα lap-top υπολογιστών.

Το ιδιοκτησιακό επίπεδη Μάγνητρο δημιουργεί ένα πλάσμα με χαμηλή ή υψηλή ισχύ, ανάλογα με τις ανάγκες σας. Η SputterGlow σχεδιάστηκε για να διασφαλίσει την ακεραιότητα της διαδικασίας κενό και να χρησιμοποιήσει ένα θάλαμο αλουμινίου (για να κρατήσει το κόστος κάτω).

Μάθετε περισσότερα για SputterGlow

Ξαναχτίστηκε Συστήματα

Έρευνα Λάμψη έχει αναλάβει την παγκόσμια ευθύνη για ανταλλακτικά και service για αρκετές παλαιότερες μονάδες από Nordson ΜΑΡΤΙΟΥ (Μάρτιος Plasmod Μαρτίου Σούπερ Plasmod, Μάρτιος PM-600 και τον Μάρτιο του Δία RIE συστήματα). Έχουμε μείνει με την τεχνογνωσία και την προσφορά μας και ξαναχτίστηκε Μαρτίου Tegal συστημάτων πλάσματος. Ρίξτε μια ματιά σε αυτό ανοικοδομήθηκε συστήματα που έχουμε να προσφέρουμε .