SputterGlow καθοδικής διασκόρπισης σύστημα Εναπόθεση

Σύστημα για την thin film, με καθοδική διασκόρπιση, PVD, λεπτή εναπόθεση φιλμ, επίστρωσης κενού, μεταλλικής ή διηλεκτρικής λεπτή εναπόθεση φιλμ. Το Glow Έρευνας SputterGlow είναι ένα ευέλικτο σύστημα καθοδικής διασκόρπισης εναπόθεση σχεδιαστεί για να επεξεργάζονται 200 ​​χιλιοστά γκοφρέτες, 156mm x 156mm ηλιακά κύτταρα ή μικρότερες γκοφρέτες-συμπεριλαμβανομένων κομμάτια των πλακιδίων. Η SputterGlow μπορεί να έχει μέχρι τρία εναλλάξιμα σταθμούς διαδικασία (κάθε σταθμός μπορεί να ρυθμιστεί για τη θέρμανση, εναπόθεση καθοδικής διασκόρπισης ή διασκόρπισης χαρακτική). Η SputterGlow είχε αρχικά σχεδιαστεί για την εναπόθεση Si 3 N 4 Antireflective επιστρώσεις για τα φωτοβολταϊκά κύτταρα και μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την κατάθεση διασκόρπισης ένα ευρύ φάσμα από διηλεκτρικά ή μετάλλων.

Φωτοβολταϊκά μηχανικοί έχουν βρει το SputterGlow να είναι μια εξαιρετική εναλλακτική λύση για την Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD), επειδή η διαδικασία SputterGlow δεν απαιτεί σιλάνιο (SiH 4) για την απόθεση νιτρίδιο του.

Μαζί με την τεράστια εξοικονόμηση κόστους-της δεν απαιτεί ακριβό διευκόλυνση ή την ασφάλεια των εμποδίων-πολλοί ερευνητές πιστεύουν ότι υπάρχουν ισχυρά πλεονεκτήματα στη χρησιμοποίηση ενός έκπτυστων ταινία για την τελική παθητικότητας / αντι-ανακλαστική επίστρωση, με αποτέλεσμα την υψηλότερη απόδοση φωτοβολταϊκών κυττάρων. Η SputterGlow σχεδιάστηκε από τον John Reche. Για ένα υπόβαθρο για John Reche κάντε κλικ στο "About Us" σε αυτή την ιστοσελίδα.

Ευελιξία

Με τρεις σταθμούς θάλαμο, ο SputterGlow μπορεί να χρησιμοποιηθεί για ένα ευρύ φάσμα αναγκών επεξεργασίας. Οι επιμέρους σταθμούς μπορεί να χρησιμοποιηθεί εναλλακτικά για τη θέρμανση, ψεκασμού ή χαρακτική με την κατάλληλη ποικιλία επιλογών σε αγορές, ή εκ των υστέρων σε μεταγενέστερη ημερομηνία. Η SputterGlow είναι μια τέλεια επιλογή για την έρευνα ή εφαρμογές χαμηλής όγκου παραγωγής.

Ακεραιότητα Επιμελητήριο / κόστους

Έλεγχος κενού

Η SputterGlow σχεδιάστηκε για να διασφαλίσει την ακεραιότητα της διαδικασίας κενό και να χρησιμοποιήσει ένα θάλαμο αλουμινίου (για να κρατήσει το κόστος κάτω). Ο θάλαμος έχει διαρροή ηλίου δοκιμαστεί σε 6,5 x 10 -10 mbar με όλα τα λιμάνια μπλοκαριστεί, (4,8 x 10 -10 Torr).

Η ειδικά σχεδιασμένη αίθουσα αλουμίνιο επιτρέπει μια 3X μείωση των τιμών σε σύγκριση με ένα ανοξείδωτο χάλυβα θάλαμο του ιδίου διαμετρήματος. Η SputterGlow μπορεί να λειτουργήσει από ένα εξαιρετικά χαμηλής ισχύος των 25 watt (για λιγότερο επιθετική επεξεργασία), στο 1 kW, για την πιο επιθετική εναπόθεση καθοδικής διασκόρπισης.

Το έθιμο σχεδιασμένο θάλαμο από αλουμίνιο επιτρέπει μια 3X μείωση των τιμών σε σύγκριση με ένα ανοξείδωτο χάλυβα θάλαμο του ιδίου διαμετρήματος. Επιμελητήριο είναι 34 "σε διάμετρο x 11" ψηλά.

Ιδιόκτητο Σχεδιασμός

Ένα ιδιόκτητο επίπεδη Μάγνητρο χρησιμοποιείται για να δημιουργήσει το πλάσμα. Αυτό έχει ως αποτέλεσμα το σχεδιασμό σε μεγαλύτερη διάρκεια ζωής για την sputtering στόχους, και βελτιωμένη ομοιομορφία απόθεση στο υπόστρωμα. Η Λάμψη Έρευνας ιδιόκτητο επίπεδες Μάγνητρο θα ενισχυθεί επίσης sputtering χαμηλότερα επιτόκια και μεταφορά θερμότητας προς το υπόστρωμα.

PC Ελέγχου με Ηλεκτρονικό Υπολογιστή

Χειροκίνητη ή Lap-top Ελέγχου με Ηλεκτρονικό Υπολογιστή

Ένα ενσωματωμένο μικροεπεξεργαστή ελέγχει τα μοτέρ του συστήματος μεταφοράς πλακιδίων, η θέση των βάθρων πλακιδίων, το άνοιγμα των βαλβίδων κενού και του φυσικού αερίου, κλπ. Ο χρήστης ελέγχει τη διαδικασία εναπόθεσης από τη λήψη μια συνταγή από το προσωπικό τους φορητό υπολογιστή (δεν παρέχεται). Ο ενσωματωμένος μικροεπεξεργαστής είναι συνδεδεμένος με το φορητό υπολογιστή μέσω θύρας USB. Ο χρήστης μπορεί να προσαρμόσει τη δική τους διαδικασία με την έρευνα Λάμψη ιδιόκτητο πρόγραμμα αλληλουχίας, ή να επιλέξετε οποιοδήποτε προκαθορισμένη διαδικασία που έχει κατεβάσει στον υπολογιστή τους.

Τροφοδοτικά

Η SputterGlow μπορεί να ρυθμιστεί με RF, DC ή διακεκομμένης τροφοδοτικά συνεχούς ρεύματος. Η SputterGlow μπορεί να χρησιμοποιηθεί για να καταθέσετε μια ποικιλία των υλικών ... διηλεκτρικών, τους ημιαγωγούς, τα μέταλλα και τα μαγνητικά υλικά. Παλμικά DC μπορεί να χρησιμοποιηθεί αντί του ενός RF προμήθειας με το πλεονέκτημα της εξάλειψης του δικτύου συντονισμού. Η παροχή συνεχούς ρεύματος μπορεί να καθορίζεται εάν τα μέταλλα ή μαγνητικά υλικά πρέπει να έκπτυστων αποκλειστικά.