Limpiadores de plasma, grabadores de plasma, Plasma y Ashers deposición catódica (PVD) son proporcionados por los sistemas de investigación Glow. Investigación resplandor fabrica el nuevo AutoGlow plasma limpiador / grabador, el OptiGlow sistemas de plasma y el SputterGlow deposición (PVD) sistemas. Investigación Glow también ha hecho cargo de las partes y el apoyo de todo el mundo para varios sistemas de plasma mayores de Nordson MARZO (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Júpiter RIE) y construye nuevos reactores de plasma para diversas necesidades y tamaños. Entendemos que la mayoría de los laboratorios y la gente que compra sistemas de plasma requiere una gran cantidad de asistencia antes y después de la venta. Tenemos la capacidad de ejecutar sus muestras, y ayudar con la instalación de su sistema. La investigación se iluminará proceso de muestras gratis para los clientes que lo desea, puede adquirir nuestros sistemas.

AutoGlow sistema de plasma

Limpiador de plasma. Puede ser utilizado a baja potencia de 10 vatios o watts hasta 300, 13,56 MHz generador de estado sólido, la sintonización automática, la presión de lectura, purga de nitrógeno, ventilación suave, tres entradas de gas y es la marca CE. El AutoGlow viene con una garantía de 24 meses. Perfecto para el tratamiento de PDMS, la eliminación orgánica o borrado de la foto-resistencia.

El sistema AutoGlow plasma se utiliza en las fábricas de producción, así como laboratorios, diseñados para proporcionar un tratamiento médico, científico, educativo y de la microelectrónica de la comunidad con la tecnología de plasma a un costo moderado. Incluye una garantía de 2 años.

Los sistemas más grandes AutoGlow están disponibles con cámaras de aluminio anodizado para adaptarse a las necesidades del Cliente. Sistemas AutoGlow puede procesar 200 mm (8 ") obleas.

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SputterGlow sistema de deposición por pulverización catódica

Una excelente opción para depositar dieléctricos o metales con un máximo de tres objetivos. Originalmente diseñado para depositar Si ₃ N ₄ revestimientos anti-reflectantes en las células solares como una alternativa al uso de PECVD, porque el proceso no requiere SputterGlow gases peligrosos como el _SiH4 para la deposición de nitruro de silicio. El sistema tiene paso a paso la robótica, las estaciones de calefacción, y se controla con una computadora lap-top.

El propietario magnetrón planar genera un plasma con una potencia de alta o baja en función de sus necesidades. El SputterGlow fue diseñado para asegurar la integridad del proceso de vacío y utilizar una cámara de aluminio (para mantener los costos bajos).

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OptiGlow Plasma Systems

Se utiliza para modificar la superficie de plasma y de tratamiento de plasma, activación de la superficie. De menos de $ 10,500 (USD), el robusto, mesa OptiGlow sistema de plasma es perfecto para aplicaciones de producción o laboratorio. Fácil de usar. Pantalla de la cámara de presión y estado del módulo.

El sistema OptiGlow es el primer sistema de bajo costo de plasma que se puede utilizar para aumentar la capacidad de humectación y la comodidad de las lentes de contacto y diversos materiales. El sistema de plasma OptiGlow es ideal para su uso antes de su recubrimiento, laminado y procesos de deposición, y es altamente eficaz en el tratamiento de una amplia gama de sustratos o materiales. Utilizados en MEMS Bio y la microfluídica.

El sistema de plasma de 75 OptiGlow es como el OptiGlow estándar, pero con con 75 vatios de potencia y la opción de utilizar un máximo de dos gases de entrada, tales como el oxígeno o el argón.

leaning or E tching at 13.56 MHz. El ACE OptiGlow está diseñado para realizar un shing, C inclinado o Tching E a 13,56 MHz. El ACE OptiGlow está diseñado para un máximo de dos entradas de gases y se puede utilizar con los gases de tipo CF4. Cámara de aluminio anodizado y para cualquiera de las condiciones de EID o Plasma. Ideal para un proceso largo y la eliminación de las capas de los paquetes o los chips semiconductores.

OptiGlow ACE (limpieza, incineración, Grabado)

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Sistemas reconstruido

Investigación Glow ha asumido la responsabilidad de todo el mundo para las partes y el servicio de varias unidades más antiguas de Nordson de marzo (marzo Plasmod, de marzo de Super Plasmod, de marzo de PM-600 y sistemas de marzo de Júpiter RIE). Nos quedamos con nuestra experiencia y ofrecer reconstruida de marzo y los sistemas de Tegal plasma. Echa un vistazo a lo que reconstruyó sistemas que tenemos para ofrecer .