Características AutoGlow

El sistema de plasma tiene AutoGlow electrónica de estado sólido, actualizado las opciones de entrega de gas y la tecnología que se espera por los usuarios y personal de seguridad de todo el mundo. El tamaño de la cámara más grande puede acomodar un 6 "sustrato y es 160 mm (ID) de diámetro x 186,94 mm (ID) de profundidad y está hecho de cuarzo de alta pureza. El sistema de cámara y están diseñados para aumentar la uniformidad y la repetibilidad en comparación con otros sistemas de plasma de mesa.

El sistema AutoGlow plasma fue diseñado tanto para la operación de baja potencia o de alta potencia con una variable de 10-300 vatios, 13,56 MHz del generador de estado sólido haciendo que el sistema de plasma AutoGlow el sistema más eficiente de su tipo en el mercado. El operador puede ejecutar un proceso a 10 vatios o tan alto como 300 vatios para un procesamiento más agresivo. La potencia se puede ajustar en incrementos de 1 vatio.

  • Pequeño, de sobremesa del sistema
  • Variable de 10 a 300 vatios a 13,56 MHz para el procesamiento suave o más agresiva
  • Cámara de cuarzo de alta pureza
  • La electrónica de estado sólido sin tubos
  • Detector de estado sólido patentado para un ajuste rápido
  • Ajuste automático de procesamiento de plasma eficiente
  • Presión lectura para facilitar el procesamiento
  • Temporizador
  • Muestra la potencia directa y reflejada y en el punto de RF conjunto
  • AutoTell diagnóstico de la tarjeta para mayor tiempo de actividad
  • Cámara de distribución de gas para la uniformidad mejorada
  • Ventilación suave para evitar que la presión de estallido
  • Módulo de control de gas opcional con un máximo de tres entradas de gas
  • Plasma uniforme para obtener resultados rápidos y eficientes
  • Propietario generador de RF y la red rival para un mínimo de energía se refleja, independientemente de la configuración de energía
  • SimpleMatch red de adaptación para la sintonización rápida
  • Protección UV incorporada en la puerta vista frontal
  • Sistema totalmente caracterizado por resultados repetibles
  • Fácil de entender, fácil de operar
  • Toda la electrónica está en dos tablas de enchufe para facilitar las reparaciones
  • Puesta en marcha de apoyo
  • Puesta en marcha de vídeo
  • Manual completo y la documentación
  • Garantía de 24 meses

El diseño de la AutoGlow comienza con la chapa metálica utilizada en el sistema. Chapa metálica es tratada y enmascarado para asegurar el diseño de RF apropiado.
La caja metálica se enmascara de tal manera de aumentar el contacto metal-metal ... para eliminar las fugas de RF. Esto significa que el AutoGlow golpeará un plasma rápidamente, independientemente de la carga de la muestra. Adecuada sintonización RF comienza con el diseño del gabinete.
El AutoGlow es modular. El generador de RF se puede quitar fácilmente de la parte posterior del sistema. La cámara se puede quitar fácilmente. Toda la electrónica del sistema están en una junta recambiable (conectado a la pantalla del panel frontal). Las únicas conexiones requeridas son para vacío eléctrica, y el gas (todos mostrados). Sólo tiene que conectar el cable de corriente, conecte la bomba de vacío y el gas ... y ya está listo para procesar las muestras.

La tarjeta de diagnóstico que confirme que todos los módulos están funcionando correctamente.

 

 

 

 

 

La Red de ajustes de RF es extremadamente rápido de los condensadores de giro de 360 ​​grados, lo que permite sintonizar AutoGlow extremadamente rápido, independientemente de la carga en el interior de la cámara de procesamiento.

El electrodo superior es alimentado y el electrodo inferior es conectado a tierra, lo cual produce un proceso químico. El AutoGlow se puede ejecutar desde un precio tan bajo como 10 vatios para el procesamiento suave, o como alta como 300 vatios para un procesamiento más agresivo.

Toda la electrónica están en una tarjeta electrónica. Esta placa está montada en la parte posterior del panel de control frontal. El conjunto del panel frontal puede ser fácilmente reemplazado.