Decapado de Fotoresinas

El sistema AutoGlow plasma puede ser utilizado para despojar de fotoresist. La mayoría de los usuarios utilizar un plasma de oxígeno para eliminar fotorresistente de una variedad de tipos de obleas (silicio, GaAs, carburo de silicio, nitruro de silicio sustratos). El diseño automatizado de plasma AutoGlow sistema permite un funcionamiento fácil y sin vigilancia.

Incineración de baja temperatura es un medio eficaz para la preparación de muestras para una amplia variedad de métodos analíticos. Un plasma de oxígeno suavemente oxidar materia orgánica dejando detrás inorgánicos. Las muestras, tales como tejido de la planta o animal puede ser incinera dejando la estructura tridimensional intacta para microscopía análisis. Las tasas de incineración son alrededor de un gramo por hora, por lo que el plasma AutoGlow sistema de auto-tune característica es muy adecuada para un funcionamiento autónomo. El sistema AutoGlow plasma puede ser utilizado para la limpieza de células de transmisión, ventanas y portaobjetos.