Tegal 903e

Cassette a cassette en línea Grabador único de plasma Wafer. Capacidad para grabar vías y contactos. Para aguafuerte dióxido de silicio, nitruros de silicio, y poliamidas. Sistema se vende con la consulta de la facilitación y funcionamiento adecuados. El sistema está operativo y se puede demostrar en nuestro Centro de Atención al Cliente en Mesa, Arizona. Varias actualizaciones están disponibles para satisfacer sus necesidades específicas.

Puede manejar obleas de 3 pulgadas a 6 pulgadas configurado actualmente para obleas de 4 pulgadas.

• Control por microprocesador
• En la actualidad configurado para 4 pulgadas (100 mm) obleas.
• ENI 1000 Watt 13,56 MHz generador de RF.
• 20 Proceso de la capacidad de la receta
• Los gases de proceso controlados por Tylan de MFC
• No fricción espátula de recogida y transporte de obleas lugar.
• Leybold D65 de oxígeno de la bomba de servicio (la bomba en seco opcional disponible)
• Dos controladores de lazo cerrado Tegal temperatura
• Diciembre del monitor y el teclado
• No fricción espátula de recogida y transporte de obleas lugar.
• Manuales incluidos, 208 V, 50/60 Hz.

(Venta pendiente)