Características SputterGlow

• La deposición catódica reactiva de Si ₃ N ₄ u otras películas
• Elimina la necesidad de gas silano
• Fácil para facilitar en un laboratorio, no se necesita Gases de Alto Riesgo
• Hasta tres destinos
• Depósito dieléctricos o metales
• Obleas de 200 mm (o menor) o 156 mm x 156 mm Células Solares
• Opciones de Calefacción (hasta 400 grados C)
• 1200 vatios, 13,56 MHz generador de RF
• Búsqueda automática de canales
• Bomba de Turbo y Respaldo
• Refrigerado por agua-Magnetron Sputtering
• Manejo paso a paso controlado de sustrato
• PC o el control manual de los medidores
• El control de los gases de MFC
• LED de diagnóstico

Opciones

• Bias
• RGA
• De recirculación de enfriamiento de destino
• Viewport de Windows

Todos los sistemas de SputterGlow viene con un manual de garantía de 12 meses, del propietario, el vídeo a la correcta puesta en marcha del sistema y su funcionamiento. Investigación Resplandor también proporcionará soporte en el sitio de servicio de campo para la puesta en marcha del sistema.

Para más información por favor llame al 480-621-8405 EE.UU. Resplandor de Investigación o envíenos un correo electrónico .