Plasma Cleaners, Plasma etchers, Plasma Ashers ja Atomisatsioonsadestus (PVD) süsteemid pakuvad Glow Teadusministeerium. Glow Research valmistab AutoGlow plasma süsteemid, OptiGlow plasma süsteemid ja SputterGlow atomisatsioonsadestuse (PVD) süsteemid. Glow Research on üle võtnud osa ja kogu maailmas toetust mitmed vanemad plasma süsteemide Nordson märtsis (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter RIE) ja ehitab uue plasma reaktorite erinevad nõuded ja suurused. Me mõistame, et kõige labs ja inimesi, et osta plasma vajavad palju abi enne ja pärast müüki. Meil on võimalus näidata oma proovid ja aidata installi. Glow Research töötleb tasuta proove Kliendid, et võiksite osta meie süsteemid.

Õigete System:

OptiGlow-kasutab toaõhu kui protsessi gaas, 50 W, 100 kHz, alumiinium kambrisse. Pinna modifitseerimiseks. Meie madalaima hinnaga süsteemi $ 11000 (sisaldab vaakumpump).

OptiGlow 75-kasutamiseks hapnik või argoon (ja teiste gaas), 75 W, 100 kHz, alumiinium kambrisse. Pinna modifitseerimiseks, plasma puhastus, prebond ravi.

OptiGlow AKE kasutamiseks hapniku, argooni või fluori (CF4) tüübi gaasi. Kaks gaasi voolumõõtureid, alumiiniumist kambris. Muutuja 10-150 watt 13,56 MHz RF generaator, autotune. RIE või plasma töötlemisel. Aktiveerimiseks, tuhastamist, puhastus-ja söövitamisel. Ideaalne eemaldamist kihtide jätmise analüüsi, ofort erinevaid filme.

AutoGlow-Up to 3 gaasi-hapniku, argooni või muude gaaside, kvarts koda, 6 "põhimikud, muutuja 10-300 watt 13,56 MHz RF generaator, autotune. Capacitive eraldatakse, nupp automaatset tööd. Kasutatakse plasma puhastus, prebond, ofort filme, eemaldades orgaanika, eemaldades valguskindla.

AutoGlow 200-saab töödelda 200 mm substraatide (või 8 "vahvlid). RIE või plasma töötlemisel. Kuni 3 gaasi-hapniku, argooni või fluori (CF4) tüüpi gaasi, muutuva 10-300 watt 13,56 MHz RF generaator, autotune, alumiiniumist kambris. Kasutatakse plasma puhastus, aktiveerimise, prebond, söövitamisel, eemaldades orgaanika, eemaldades valguskindla.

AutoGlow Plasma süsteemi

Plasma puhtamaks. See tabel-top süsteemi saab kasutada madala võimsusega 10 W ja kuni 300 W, 13,56 MHz solid state generator, automaat tuning, rõhu näidik, lämmastik purge, pehme ventilatsiooni, 3 gaasi sisendite ja on CE märgistatud. AutoGlow kaasas 24 kuuline garantii. Perfect raviks PDMS, orgaanilised eemaldamine või valguskindla eemaldamist. On kvarts kambrisse ja saab töödelda kuni 6 "(150 mm) pindadele.

AutoGlow plasma süsteemi kasutatakse tootmise tehased samuti labs-eesmärk on anda meditsiini-, teadus-, haridus-ja mikroelektroonika kogukond plasma tehnoloogia mõõduka hinnaga. Sisaldab 2-aastane garantii.

Suuremad AutoGlow süsteemid on saadaval alumiiniumist kambrid sobivad kliendi soovile (RIE või Plasma töötlemine). Pildil Allpool on AutoGlow 200. Mõeldud kuni 200 mm (8 ") substraatide või tahvlite, CF4, O2 või Ar gaas, süsteem saab kasutada RIE või plasma töötlemisel sõltuvalt proovi vedaja te kasutate. See on anodeeritud alumiiniumist kambrisse ja saab kasutada ofort, tuhastamine või pinda modificaiton.

Saa rohkem infot AutoGlow

OptiGlow Plasma Systems  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE on ette nähtud täitma Plasma ctivation, Shing, C lahjad või E tching kell 13,56 MHz. OptiGlow ACE on kaks gaasi sisendite ja saab kasutada õhuga, hapnikuga, või CF4 liiki gaase. See on anodeeritud alumiiniumist kambrisse ja seda saab kasutada kas RIE või Plasma töötlemiseks. Suur pikk protsess ja eemaldamine kihid pakenditel või pooljuhtkiipidest. Kasutatakse jätmine analüüs, eemaldades valguskindla, puhastus orgaanika, ofort Parylene, pinnatöötlus ja paljud teised rakendused.

Standard OptiGlow süsteemi kasutatakse Plasma Surface muutmine ja Plasma ravi, Surface aktiveerimine. Hinnaga alla $ 10.500 (USD), vastupidav, laua-top OptiGlow plasma süsteem sobib tootmiseks või lab rakendusi. Lihtne kasutada ekraan rõhk ja mooduli olekut.

OptiGlow süsteem on esimene odav plasma süsteemi, mida saab kasutada suurendada märguvuse ja mugavalt kontaktläätsi. OptiGlow plasma süsteem on ideaalne ka kasutada enne kate, lamineerimine ja pinnakatmisprotsesside ja on väga tõhus ravivad mitmesuguseid substraate või materjal.

OptiGlow 75 plasma süsteem on sarnane standard OptiGlow ja on suurem alumiiniumist kambris 75 vatti võimu ja võimalus kasutada kuni 2 sisendit gaasid, nagu hapnik või argoon. Võib kasutada orgaaniliste eemaldamine ja lammutamine valguskindla.

SputterGlow Atomisatsioonsadestus süsteemi

Ideaalne valik hoiuste laia dielektrikute või metallide, kuni 3 eesmärgid. Algselt mõeldud hoiule Si 3 N 4 peegeldusvastane pinnakihi päikesepatareid alternatiivina kasutada PECVD-sest SputterGlow protsess ei nõua ohtlikke gaase nagu SiH 4 jaoks nitriidi setted. Süsteem on stepper robootika, soojendusega jaamad, ja juhitakse lap-top arvuti.

Varaliste tasapinnaline magnetron tekitab plasma väikese või suure võimsusega, sõltuvalt vajadusest. SputterGlow eesmärk oli tagada protsessi vaakum terviklikkuse ja kasutada alumiinium kamber (hoida kulud alla).

Saa rohkem infot SputterGlow

Ümberehitatud Systems

Glow Uuringud on võtnud üle kogu maailma eest osade ja teenuste mitu vanemaid üksusi Nordson märtsis (märts Plasmod märts Super Plasmod märts PM-600 ja märtsis Jupiter RIE süsteemid). Me jääda oma teadmisi ja pakkuda ümberehitatud märtsis ja Tegal plasma süsteeme. Heitke pilk mida ümberehitatud süsteemid on meil pakkuda .