Plasma Cleaners, Plasma Etchers, Plasma Ashers ja Atomisatsioonsadestus (PVD) süsteeme tarnib Glow Research. Glow Research valmistab uue AutoGlow plasma puhtamaks / Etsaaja, OptiGlow plasma süsteemid ja SputterGlow atomisatsioonsadestuse (PVD) süsteemid. Glow Uuringud on üle võtnud osa ja kogu maailmas toetust mitmed vanemad plasma süsteemide Nordson märtsis (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter RIE) ja ehitab uue plasma reaktorite erinevad nõuded ja suurused. Me mõistame, et kõige labs ja inimesi, kes ostavad plasma süsteemid vajavad palju abi nii enne kui ka pärast müüki. Meil on võime käivitada oma proovid ja aidata installi. Glow Teadusuuringud protsessi tasuta proove Kliendid, et võiksite osta meie süsteemid.

AutoGlow Plasma süsteemi

Plasma Cleaner. Saab kasutada väikese võimsusega 10 vatti või kuni 300 vatti, 13,56 MHz tahkes olekus generaator, automaatne häälestamine, rõhu näidik, lämmastik purge, pehme ventilatsiooni, kolm gaasi sisendite ja on CE märgistatud. AutoGlow kaasas 24-kuulise garantii. Perfect ravivad PDMS, orgaanilised eemaldamine või valguskindla eemaldamist.

AutoGlow plasma süsteemi kasutatakse tootmise tehased samuti labs-eesmärk on anda meditsiini-, teadus-, haridus-ja mikroelektroonika kogukond plasma tehnoloogia mõõduka hinnaga. Sisaldab 2-aastane garantii.

Suuremad AutoGlow süsteemid on saadaval alumiiniumist kambrid sobivad kliendi soovile. AutoGlow võimalik opereerida 200 mm (8 ") ahjusid.

Lisateavet AutoGlow

SputterGlow Atomisatsioonsadestus süsteemi

Ideaalne valik hoiuste dielektrikute või metallide kuni kolme eesmärgid. Algselt kavandatud tagatisraha Si ₃ N ₄ peegeldusvastane pinnakihi päikesepatareid alternatiivina kasutada PECVD-sest SputterGlow protsess ei nõua ohtlikke gaase nagu SiH ₄ nitriidi setted. Süsteem on stepper robootika, soojendusega jaamad, ja juhitakse lap-top arvuti.

Varaliste tasapinnaline magnetron tekitab plasma madala või suure võimsusega sõltuvalt teie vajadust. SputterGlow eesmärk oli tagada protsessi vaakum terviklikkuse ja kasutada alumiiniumist Kambris (hoida kulud alla).

Lisateavet SputterGlow

OptiGlow Plasma Systems

Kasutatakse Plasma Surface muutmine ja Plasma ravi, Surface aktiveerimine. Hinnaga alla $ 10.500 (USD), vastupidav, laua-top OptiGlow plasma süsteem ei ole täiuslik tootmise või lab rakendusi. Lihtne kasutada. Kuva rõhk ja mooduli olekut.

OptiGlow süsteem on esimene odav plasma süsteemi, mida saab kasutada suurendada niiskuse imavus ja mugavus kontaktläätsed ja erinevate materjalidega. OptiGlow plasma süsteem on ideaalne kasutada enne kattekihi, lamineerimine ja sadestumise protsessid ja on väga tõhus ravivad mitmesuguseid substraate või materjal. Kasutatakse Bio MEMS ja MicroFluidics.

OptiGlow 75 plasma süsteem on nagu standard OptiGlow, vaid 75 vatti võimu ja võimalus kasutada kuni kaks sisend gaase nagu hapnik või argoon.

leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE on ette nähtud täitma Shing, C lahjad või E tching juures 13,56 MHz. OptiGlow ACE on mõeldud kuni kahele gaasile sisendite ja saab kasutada CF4 tüüpi gaase. Anodeeritud alumiiniumist kambrisse ja kas RIE või plasma tingimustes. Suur pikk protsess ja kõrvaldades kihid pakenditele või pooljuhtkiipide.

OptiGlow ACE (puhastamine, tuhastamine, ofort)

Lisateavet OptiGlow süsteemid

Ümberehitatud Systems

Glow Research on võtnud üle kogu maailma eest osade ja teenuste mitu vanemaid üksusi Nordson märtsis (märts Plasmod, March Super Plasmod, March PM-600 ja märtsis Jupiter RIE süsteemid). Ööbime meie teadmised ja pakkuda ümberehitatud märtsis ja Tegal plasma süsteeme. Heitke pilk mis ehitati süsteemid meil pakkuda on .