AutoGlow Plasma Systems

AutoGlow plasma süsteem on tabletop plasma keemia reaktori eesmärk on anda meditsiini-, teadus-, haridus-ja tootmise mikroelektroonika kogukond plasma tehnoloogia mõõduka hinnaga. Süsteemi kasutatakse tootmises, samuti R & D keskused. Kasutatakse argoon plasma, hapniku plasma, plasma kate, PDMS, hapniku plasmas ravi, foto seisma eemaldamine FA rakenduste Parylene eemaldamine, orgaanilise eemaldamine ja lab kasutamist.

Ülikoolid ja ettevõtted kogu maailmas leida AutoGlow plasma süsteem sobib ideaalselt oma plasma vajadustele.

AutoGlow plasma süsteem on kõige tõhusam süsteem omataoline turul, sest selle muutuja 10 Watt kuni 300 W, 13,56 MHz solid state generator. AutoGlow plasma süsteem on mõeldud ka tõhusamalt jaotus gaaside kasutusele süsteemi loomisel reaktiivne liike, mis kiiresti puhastada või muuta proovis. Automatic tuning ja rõhu näit on lisatud. AutoGlow võib leida plasma nii madalale kui 10 Watts!

Automaatne / lüliti tööd.

Glow Research võtnud parima kujunduse vanade süsteemide ja ajakohastatud AutoGlow plasma süsteemi kaasaegse tehnoloogia, sh kehittämämme etapp suurusjärgus detektor ja SimpleMatch RF võrk, mis võimaldab tõhusat plasma tuning ja tagab kiire töötlemine ilma vaevast pidevalt kohaneda erinevate proov koormusi. AutoGlow on väga usaldusväärsed ja on kahe aastane garantii! Lihtsalt replaceble moodulite süsteem on: RF Generator, RF Match võrgustik, otspind Module (vt allpool), Quartz koda ja gaasi seire moodul. Rohkem andmeid ja teavet, siis vajuta "AutoGlow Features" paremal sellel leheküljel .

Siin on, mida viimastel Klient oli öelda oma AutoGlow: "kõik töötab hästi. See lihtsalt chugs mööda nagu peaks. Ma muljet saame peaaegu täielikult tuha AZ4620 seisma at 125W mõne minuti. Mul on keegi ka kasutada seda eeltöötlemisest PDMS enne liimimine. Töötab suurepäraselt, et ".
 
AutoGlow 200 süsteem on mõeldud kuni 200 mm substraatide või 8 "vahvlid, võib teostada RIE või plasma töötlemise, sõltuvalt sellest, proovi vedaja kasutada. Alumiiniumist pessa accomidate standard O2, Ar või CF4 tüüpi gaaside ofort rakendusi. Hästi tõestanud elektrooniline, RF generaator, mängu võrgu ja gaasi seire on sama standard AutoGlow eespool. Palun võtke Glow Research Lisainformatsiooni AutoGlow 200.
AutoGlow 200 on sama staatus diagnostika kaardi AutoGlow mis kinnitab, et kõik sub-moodulid töötavad korralikult. Süsteemi õige on
kujutatud valikuline lämmastik koda vent purge.
AutoGlow 200 saab kasutada sordi taotluste plasma aktiveerimine, puhastamine, orgaanilise eemaldamine, pre-sadestamise puhastamine   samuti erinevaid ofort rakendusi.
 
 
 
 
 

MIT on AutoGlow sisse stata Center, mida kasutatakse erinevate biomeditsiiniliste ja microfluidics teadus. Pildil on Geraldine Paulus, doktorant eest AutoGlow MIT Building 66 (Landau Building Lab).

 
 
 

"Rice University on AutoGlow sisse Halas Research Lab. Süsteemi kasutatakse eemaldamine polümeer vastupanu taotluste plasmonics ja nanophotonics. Pildil on Lisa Brown, doktorant, kes kasutab AutoGlow valmistada proovid pind täiustatud molekuli spektroskoopia. "

Harvardi ülikooli AutoGlow süsteemi Gordon McKay Lab. Süsteemi kasutatakse orgaaniliste eemaldamine, pinna muundamise ja teenib mitu töötavate teadlaste DNA uuringud ja inimese genoomi järjestuse. Pildil on Gordon Whitlocki president Glow Teadusministeerium.

Pildil on AutoGlow at Microsystems Technology Lab MIT. See AutoGlow kasutatakse valguskindla eemaldamist, puhastus-ja pinna muundamise. See lab teeb uuringuid MEMS, BioMEMS, nanotehnoloogia ja fotoonika.