Ümberehitatud Systems

Glow Research spetsialiseerunud Tegal, märtsis ja R & D plasma süsteeme. Ümberehitatud Tegal 901e ja 903e süsteemid on tavaliselt stock.

Glow Research on võtnud üle kogu maailma osades ja teeninduse paljudele vanematele plasma süsteemide märts Plasma Systems, Inc (märts Plasmod, Super Plasmod, PM-600 ja Jupiter RIE süsteemid).

See leping lubab Glow Research võime pakkuda garantiisid meie ümberehitatud märts süsteeme.

Recent Tegal 901e Klientide Kommentaar:

"Me ostetud Tegal 901e süsteemi Glow Research. Julgelt rääkimata meist õnnelik klient oma veebilehel. "... .... Eric Weis, PanJit Americas, Inc

 

Märts Plasmod
March Plasmod 6" Märts Plasmod 150 Watt, 13,56 MHz Generator. Barrel tüüpi plasma süsteemi Pyrex 5,8 "(dia) x 7" (sügav) kambris. Pyrex kamber uks on paigaldatud seestpoolt välisuks lihtsat juurdepääsu ja töötlemise. On automaatne häälestus sobitamine võrgustik lihtne töödelda. Analog panel meetrit. 115V, 50/60 Hz, [...]

Lab Plasma süsteemi
March Plasmod with Gas Control Module (optional) Märts Plasmod 115 VAC, 13,56 MHz RF generaator, manuaal tuning, Quartz sisekambri ja väliskambrisse .. Käsitsihäälestus. Väliskambrisse läbimõõt on 4,5 ", sisekambri läbimõõt on 4.25" ja kambrisse sügavus on 6,2 ". Täielikult ümber ehitatud ja testitud. Müüa 30-päevase garantii. Hind on $ 4,000. Tehakse ettepanek, et teil on [...]

Märts AP-1000
Excellent Shape, Looks New Ümberehitatud märts AP-1000, S / N P100199, mis on valmistatud: märts 2005 Advanced Energy ACG6B, 600 watt RF generaator, 13,56 MHz., Tahkes olekus 13,56 MHz toite automaatse impedantsi sobitamine 2 Mass vooluhulga regulaatorid (Porter), 250 SCCM ja 500 SCCM Light Tower Leybold Trivac pump mudel D65BCS, valmis Fomblin tüüpi õli Alcatel õliudu Eliminator, OME 40S [...]

MÄRTS CS-1701
MARCH CS-1701 (Rebuilt) MÄRTS CS-1701 RIE süsteemi MÄRTS CS-1701 süsteem toetab veel Nordson MÄRTS ja Glow Uuringud on ümberehitatud selle süsteemi kõige kõrgematele standarditele. Pärast müüki toetust saab sõlminud Nordson märtsil kogu maailmas. Paigaldus abi toetab Glow Research. See uuem stiil MÄRTS CS-1701 on uuendanud gaasi hargnemiskohas kaanega lift [...]

Plasma Cleaner
Plasma Cleaner AutoGlow plasma puhtam ja Aaser. 1-30 Watt, auto-tune, diagnostika, 160 mm dia. kvarts kamber, rõhu näidik, taimer välja lülitatud, CE-märgistusega, capacitively sidestatud, 24 kuud garantii. Suur plasma puhastus, tuhastamist või eemaldamist orgaanikat.

Tegal Plasmod (4.5 "väliskambrisse)
plasmod-45 115 VAC, 13,56 MHz RF generaator, manuaal tuning, Pyrex kambrist, üks gaasi sisend. Väliskambrisse läbimõõt on 4,5 ", sisekambri läbimõõt on 4.25" ja kambrisse sügavus on 6,2 ". Täielikult ümber ehitatud ja testitud. Müüa 30-päevase garantii.

Märts Jupiter
march-jupiter Märts Jupiter II RIE. AE 600-vatine RF Generator, Four Mass vooluhulga regulaatorid, Automatic Tuning, Taimer, End Point Detector, Baratron Pressure Control, lõpp-punkti juhtimisega ning mikroprotsessor kontrolli. 4 "või 6". Täielikku toetust, ümberehitatud, 30 päeva garantii. Valmis etch!

Tegal 903e
tegal-903e Kassetist-kassetti-line Single Wafer Plasma Etsaaja. Võimalik etch VIaS ja kontakte. Söövitamisel ränidioksiid, räni liht-ja polüamiid. Süsteem müüakse koos konsultatsiooni on õige lihtsustamise ja toimimist. Süsteem toimib ja on võimalik tõestada meie klienditoekeskus Mesa, Arizona. Mitmed uuendused on saadaval vastavalt oma konkreetsetele vajadustele. [...]

Tegal 901e
tegal-901e Kassetist-kassetti polükristalset / Silicon Nitriidid Plasma Etsaaja. Süsteem toimib ja on võimalik tõestada. Praegu konfigureeritud 4 (100mm) ahjusid. ENI 1000 W 13,56 MHz RF Generator. 20 Process retsept võime Protsessigaasid kontrollib TYLAN MFC mitte-hõõrdumine spaatliga noppida ja koht vahvel transport. Leybold D65 hapniku teenuse pump Tegal Closed loop temperatuuriregulaator Piirturien [...]