Tegal 903e

Kassetist-kassetti-line Single Wafer Plasma Etsaaja. Võime etc Vias ja kontakte. Sest ofort ränidioksiidi, räni liht-ja polüamiid. Süsteem müüakse koos konsultatsiooni on õige lihtsustamise ja toimimist. Süsteem toimib ja on võimalik tõestada meie klienditoe Center Mesa, Arizona. Erinevad uuendused on saadaval vastavalt oma konkreetsetele vajadustele.

Saavad hakkama vahvlid alates 3 tolli kuni 6 tolli Praegu konfigureeritud 4 sisse ahjusid.

• Mikroprotsessor kontroll
• Praegu konfigureeritud 4 tolli (100 mm) ahjusid.
• ENI 1000 Watt 13,56 MHz RF Generator.
• 20 Process retsept võime
• Protsessigaasid kontrollib Tylan MFC poolt
• Non-hõõrdumine spaatliga noppida ja koht vahvel transport.
• LEYBOLD D65 hapniku teenuse pump (vabatahtlik kuiv pump olemas)
• Kaks Tegal suletud temperatuur kontrollerid
• Detsember Monitor ja klaviatuur
• Non-hõõrdumine spaatliga noppida ja koht vahvel transport.
• Juhendid lisatud, 208 V, 50/60 Hz

(Müügiks kuni)