SputterGlow Features

  • Reactive atomisatsioonsadestuse Si 3 N 4 või teised filmid
  • Kaob vajadus silaan Gas
  • Lihtne selleks, et hõlbustada Lab, nr ohtlikud gaasid Vajalik
  • Kuni kolme eesmärgi
  • Hoiuste dielektrikute või Metals
  • 200 mm vahvlid (või väiksem) või 156 mm x 156 mm Solar Cells
  • Küte Options (kuni 400 ° C)
  • 1200 Watt, 13,56 MHz RF Generator
  • Automatic Tuning
  • Turbo ja Backing Pump
  • Vesijahutus magnetron sputtering
  • Stepper Kontrollitud Substraat käitlemine
  • Arvuti või Käsitsi kontroll Gauges
  • MFC kontrolli gaasid
  • LED Diagnostics

Valikud

  • Substraat Bias
  • RGA
  • Retsirkulatsiooniga Target Cooling
  • Vaateava Windows

Kõik SputterGlow süsteemid kaasas 12 kuuline garantii, omaniku manuaal, video on õige luua süsteemi ja toimimise. Glow Teadusuuringud annavad ka kohapeal valdkonnas teeninduse eest alustada süsteemi.

Täpsema informatsiooni saamiseks helistage Glow Research USA 480-621-8405 või kirjutage meile .