پاک کننده ها، Etchers پلاسما پلاسما، Ashers پلاسما و با خشم ادا کردن رسوب (PVD) توسط تحقیقات براق ارائه شده است. تحقیقات براق تولید سیستم پلاسما AutoGlow، OptiGlow پلاسما سیستم ها و SputterGlow با خشم ادا کردن رسوب (PVD). تحقیقات براق تا کنون بیش از قطعات و پشتیبانی از سیستم های قدیمی تر پلاسما از Nordson مارس (Plasmod، سوپر Plasmod، PM-600، مشتری RIE) در سراسر جهان گرفته شده و ایجاد رآکتورهای پلاسما جدید مورد نیاز و اندازه های مختلف. ما درک می کنیم که بسیاری از آزمایشگاه ها و افرادی که خرید سیستم های پلاسما، نیاز به مقدار زیادی از کمک های قبل و پس از فروش. در حال حاضر توانایی برای اجرای نمونه های خود، و با نصب و راه اندازی سیستم شما کمک. تحقیقات براق نمونه رایگان برای مشتریان است که ممکن است بخواهید برای خرید سیستم ما را پردازش کند.

انتخاب سیستم های مناسب:

OptiGlow از هوای اتاق استفاده می کند به عنوان گاز روند، 50 وات، 100 کیلوهرتز، محفظه آلومینیومی است. برای تغییر سطح. کمترین سیستم ما قیمت زیر 11،000 دلار (شامل پمپ خلاء).

OptiGlow 75 با استفاده از اکسیژن یا آرگون (و گاز)، 75 وات، 100 کیلوهرتز، محفظه آلومینیومی است. برای اصلاح سطح، تمیز کردن پلاسما، درمان prebond.

OptiGlow ACE-با استفاده از اکسیژن، آرگون و یا فلوئور (CF4) نوع گاز. دو فلومترس گاز، محفظه آلومینیوم آنودایز. متغیر 10 تا 150 وات 13.56 مگاهرتز RF ژنراتور، autotune. RIE یا پلاسما پردازش. برای فعال سازی، ashing، تمیز کردن و اچ. ایده آل برای از بین بردن لایه های تجزیه و تحلیل شکست، از اچینگ انواع فیلم.

AutoGlow حداکثر تا سه گازهای اکسیژن، آرگون و یا گازهای دیگر، اتاق کوارتز، 6 "لایه های متغیر 10 تا 300 وات 13.56 مگاهرتز RF ژنراتور، autotune. capacitive همراه، با فشار دکمه عمل به صورت خودکار. برای تمیز کردن پلاسما، prebond، اچینگ فیلم، از بین بردن مواد آلی، از بین بردن photoresist مورد استفاده قرار می گیرد.

AutoGlow 200-200 بسترهای میلی متر (و یا 8 ویفر) می تواند روند. RIE یا پلاسما پردازش. تا سه گازهای اکسیژن، آرگون یا فلوئور (CF4) نوع گاز، متغیر 10 تا 300 وات 13.56 مگاهرتز RF ژنراتور، autotune، اتاق آلومینیوم آنودایز. مورد استفاده برای تمیز کردن پلاسما، فعال سازی، prebond، اچینگ، از بین بردن مواد آلی، از بین بردن photoresist.

سیستم AutoGlow پلاسما

تمیز کننده پلاسما. این سیستم جدول بالا می توان در قدرت پایین 10 وات تا 300 وات، 13.56 مگاهرتز ژنراتور حالت جامد، پیکربندی خودکار، فشار خواندنی از پاکسازی نیتروژن، تخلیه نرم، سه ورودی گاز و CE مشخص شده استفاده می شود. AutoGlow همراه با 24 ماه گارانتی می باشد. ایده آل برای درمان PDMS، حذف آلی و یا عکس مقاومت در برابر حذف. دارای یک محفظه کوارتز و می تواند پردازش تا 6 "(150 میلیمتر) بسترهای.

است سیستم پلاسما AutoGlow، در کارخانه های تولید استفاده می شود و همچنین به عنوان آزمایشگاه های طراحی شده برای ارائه به جامعه پزشکی، علمی، آموزشی و میکروالکترونیک با فن آوری پلاسما در هزینه متوسط ​​شامل گارانتی 2 ساله.

AutoGlow سیستم های بزرگتر در دسترس هستند با اتاق های آلومینیوم آنودایز متناسب با نیاز مشتری (RIE یا پلاسما پردازش). تصویر زیر 200 AutoGlow است. تا 200 میلی متر (8) بسترهای یا ویفر، CF4، O2 و یا گاز آرگون، سیستم می تواند برای RIE یا پردازش پلاسما بسته به حامل نمونه استفاده می کنید استفاده می شود طراحی شده است. این محفظه آلومینیوم و می توان برای modificaiton اچینگ، ashing و یا سطح مورد استفاده قرار گیرد.

یافتن پست های بیشتر در مورد AutoGlow

OptiGlow سیستم های پلاسما  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. ACE OptiGlow طراحی شده است برای انجام پلاسما ctivation، SHING، C متمایل به یا E tching به 13.56 مگاهرتز است. ACE OptiGlow دارای دو ورودی گاز است و می تواند با استفاده از هوا، اکسیژن، و یا CF4 گازهای نوع است. این محفظه آلومینیوم آنودایز شده و می تواند برای هر دو RIE یا پلاسما پردازش مورد استفاده قرار گیرد. بزرگ برای یک فرآیند طولانی و از بین بردن لایه بر روی بسته و یا تراشه های نیمه هادی است. مورد استفاده برای تجزیه و تحلیل شکست، از بین بردن photoresist، تمیز کردن مواد آلی، از از اچینگ Parylene، درمان سطحی و میزبان از برنامه های دیگر.

سیستم OptiGlow استاندارد برای اصلاح سطح پلاسما و درمان پلاسما، فعال سطحی مورد استفاده قرار می گیرد. قیمت کمتر از $ 10،500 (USD)، محکم، جدول بالا OptiGlow سیستم پلاسما برای تولید و یا آزمایشگاه برنامه های کاربردی کامل است. آسان برای استفاده با یک صفحه نمایش برای فشار محفظه و وضعیت ماژول.

سیستم OptiGlow اول کم هزینه سیستم پلاسما است که می تواند برای افزایش wettability و آسایش از لنزهای تماسی استفاده می شود. سیستم OptiGlow پلاسما نیز ایده آل برای استفاده از قبل به پوشش، لمینیت و فرآیندهای رسوب و در درمان طیف گسترده ای از بسترهای یا مواد بسیار مؤثر است.

OptiGlow 75 پلاسما سیستم شبیه به OptiGlow استاندارد و دارای محفظه آلومینیوم بزرگتر، 75 وات از قدرت و گزینه ای را برای استفاده از گازهای ورودی دو، از قبیل اکسیژن و یا آرگون است. را می توان برای حذف آلی و photoresist باطله مورد استفاده قرار گیرد.

SputterGlow با خشم ادا کردن سیستم رسوب

انتخاب ایده آل که با سپرده کردن طیف گسترده ای از دی الکتریک و فلزات، با سه هدف است. در اصل طراحی شده به واریز و Si 3 N 4 پوشش ضد انعکاسی بر روی سلول های خورشیدی به عنوان یک جایگزین با استفاده از PECVD چون در روند SputterGlow می کند گازهای خطرناک به عنوان SiH 4 برای رسوب نیترید نیاز ندارد. سیستم پله ای رباتیک، ایستگاه های گرم، و با یک کامپیوتر نوت بالا کنترل شده است.

مگنترون اختصاصی مسطح تولید پلاسما با قدرت پایین یا بالا، با توجه به نیاز شما. SputterGlow برای اطمینان از روند یکپارچگی خلاء و استفاده از یک محفظه آلومینیومی (برای نگه داشتن هزینه پایین) طراحی شده است.

یافتن پست های بیشتر در مورد SputterGlow

بازسازی سیستم

تحقیقات براق است بر مسئولیت جهانی گسترده ای را برای قطعات و خدمات برای چند واحد بزرگتر از Nordson اسفند (مارس Plasmod، مارس سوپر Plasmod، مارس PM-600 و سیستم RIE مارس مشتری). ما با تخصص و پیشنهاد ما به بازسازی سیستم های پلاسما مارس و Tegal داشته باشید. نگاهی به در سیستم چه بازسازی ما باید ارائه دهد .