Tegal 903e

کاست به کاست در خط ویفر تنها Etcher پلاسما. امکان استفاده به vias ها و تماس های اچ. اچ دی اکسید سیلیکون، نیتریدها سیلیکون و پلی آمید. سیستم با مشورت از تسهیل و بهره برداری مناسب به فروش می رسد. سیستم های عملیاتی است و می تواند در مرکز پشتیبانی مشتری ما در مسا، آریزونا نشان داده شده است. ارتقاء مختلف در دسترس هستند تا متناسب با نیازهای خاص خود را.

می تواند ویفر از 3 وارد به 6 اید و در حال حاضر به مدت 4 وارد ویفر پیکربندی اداره کند.

  • کنترل میکروپروسسوری
  • در حال حاضر 4 اینچ (100mm میرسیم) ویفر پیکربندی شده است.
  • ENI 1000 وات 13.56 مگاهرتز RF ژنراتور.
  • 20 دستور العمل فرآیند قابلیت
  • گازهای فرآیند کنترل Tylan در MFC
  • عدم اصطکاک کاردک مخصوص پهن کردن و مالیدن مرهم روی پارچه و زخم و غیره انتخاب کنید و محل حمل و نقل نان فطیر.
  • Leybold D65 پمپ اکسیژن خدمات (اختیاری خشک پمپ در دسترس نیست)
  • دو کنترل کننده حلقه بسته Tegal درجه حرارت
  • دسامبر مانیتور و صفحه کلید
  • عدم اصطکاک کاردک مخصوص پهن کردن و مالیدن مرهم روی پارچه و زخم و غیره انتخاب کنید و محل حمل و نقل نان فطیر.
  • دفترچه راهنما شامل، 208 V، 50/60 هرتز

(فروش در انتظار)