Plasma Puhdistusaineet, Plasma Etchers, Plasma Ashers ja Sputterointi (PVD) järjestelmien tarjoaa Glow Research. Glow Research valmistaa AutoGlow plasma järjestelmiä, OptiGlow plasma järjestelmät ja SputterGlow sputterointiin (PVD) järjestelmiin. Glow Tutkimus on ottanut osat ja maailmanlaajuista tukea useita vanhempia plasma järjestelmät Nordson MAALISKUUSSA (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter RIE) ja rakentaa uuden plasma reaktorit eri vaatimuksiin ja kokoja. Ymmärrämme, että useimmat labs ja ihmiset jotka ostavat plasma järjestelmät vaativat paljon apua ennen ja jälkeen myynnin. Meillä on kyky ajaa näytteitä, ja auttaa asentamisen. Glow Tutkimus käsittelee Ilmaisia ​​näytteitä asiakkaille, jotka saattavat haluta ostaa järjestelmiämme.

Oikean System:

OptiGlow-käyttää huoneilman kuin prosessin kaasu, 50 wattia, 100 kHz, alumiini kammio. Pintamodifiointiin. Meidän edullisin järjestelmä 11.000 dollari (sisältää alipainepumppu).

OptiGlow 75-käytettäväksi hapen tai argonia (ja muiden kaasujen), 75 wattia, 100 kHz, alumiini kammioon. Pintamodifiointiin, plasma puhdistus, prebond hoitoon.

OptiGlow ACE-käytettäväksi hapen, argonin tai fluori (CF4) tyyppi kaasua. Kaksi kaasu virtausmittarit, anodisoitu alumiini kammio. Vaihteleva 10-150 watin 13,56 MHz RF-generaattori, automaattisen virityksen. RIE tai plasman käsittelyyn. Aktivointia varten, polttoupokkaaseen, siivous ja etsaus. Ihanteellinen poistaa kerroksia vika-analyysi, etsaus erilaisia ​​elokuvia.

AutoGlow-Kolme kaasujen-happi-, argon-tai muita kaasuja, kvartsi kammio, 6 "-substraatteja, muuttuja 10-300 Watt 13,56 MHz: n RF-generaattori, viritysprosessi. Kapasitiivinen kytkettyä, painonappi automaattista toimintaa. Käytetään plasma puhdistusta, prebond, etsaus elokuvia, poistamalla orgaanisia poistamalla fotoresistin.

AutoGlow 200 pystyy käsittelemään 200 mm alustoille (tai 8 "kiekot). RIE tai plasman käsittelyyn. Jopa kolmen kaasun-happi, argon tai fluori (CF4) tyyppi kaasu, muuttuja 10-300 watin 13,56 MHz RF-generaattori, Autotune, anodisoitu alumiini kammio. Käytetään plasma puhdistusta, aktivointi, prebond, etsaus, poistamalla orgaanisia poistamalla fotoresistin.

AutoGlow plasmajärjestelmän

Plasma Cleaner. Tässä pöydässä järjestelmää voidaan käyttää pienellä teholla on 10 wattia tai jopa 300 wattia, 13,56 MHz solid-state generaattori, automaattinen viritys, paine-lukemat, typpipuhdistin, pehmeä tuuletus, kolme kaasu tuloa ja on CE-merkitty. AutoGlow on 24 kuukauden takuu. Täydellinen hoitoon PDMS orgaaninen poistaminen tai fotoresistin poisto. On kvartsi kammioon ja voidaan suorittaa jopa 6 "(150 mm) substraatteja.

AutoGlow plasma järjestelmää käytetään tuotannossa tehtaat sekä laboratorio-tarkoituksena on tarjota lääketieteen, tieteen, koulutuksen ja mikroelektroniikan yhteisölle plasma teknologiaan kohtuullisin kustannuksin. Sisältää 2 vuoden takuu.

Suuremmat AutoGlow järjestelmät ovat saatavilla anodisoitua alumiinia kamarit sovittaa asiakkaan tarpeisiin (RIE tai Plasma käsittely). Kuvassa alla on AutoGlow 200. Suunniteltu 200 mm (8 ") substraattien tai-kiekkojen, CF4, O2 tai Ar kaasua, järjestelmää voidaan käyttää RIE tai plasman käsittelyyn riippuen näytteen harjoittaja käytät. Se on anodisoitua alumiinia kammioon, ja sitä voidaan käyttää Syövytyksen polttoupokkaaseen tai pinta modificaiton.

Lue lisää AutoGlow

OptiGlow Plasma Systems  

shing, C leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE on suunniteltu toimimaan Plasma ctivation, shing, C kallellaan tai E tching klo 13.56 MHz. OptiGlow ACE on kaksi kaasua tuloa, ja voidaan käyttää ilmaa, happea tai CF4 tyyppiä kaasuja. Se on anodisoitua alumiinia kammioon, ja sitä voidaan käyttää joko RIE tai plasma käsittelyä. Great pitkä prosessi ja poistaa kerroksia pakkausten tai puolijohdesiruja. Käytetään vika-analyysi, poistamalla fotoresistillä, siivous orgaanisia, etsaus Paryleeni, pintakäsittely ja monia muita sovelluksia.

Standardia OptiGlow Järjestelmää käytetään Plasma pinnan muunnos-ja Plasma Treatment, Surface aktivointi. Hinnoiteltu alle 10.500 dollari (USD), tukeva, pöydässä OptiGlow plasma-järjestelmä on täydellinen tuotantoon tai lab sovelluksia. Helppokäyttöinen näyttö paine ja moduulin tila.

OptiGlow järjestelmä on ensimmäinen edullinen plasma, jota voidaan käyttää lisäämään kostuvuus ja mukavuutta piilolinssejä. OptiGlow plasma-järjestelmä on ihanteellinen käyttää ennen pinnoitusta laminointi ja pinnoitusprosesseilla, ja on erittäin tehokas hoidettaessa useimpia materiaaleja tai materiaalista.

OptiGlow +75 plasmajärjestelmän on samanlainen kuin standardin OptiGlow ja siinä on suurempi alumiinin kammioon, 75 wattia ja mahdollisuus käyttää enintään kaksi tulo kaasuja, kuten happea tai argonia. Voidaan käyttää orgaanisia poistamiseksi ja strippaus fotoresistin.

SputterGlow Sputterointi System

Täydellinen valinta tallettaa erilaisia ​​eristeiden ja metallien, jopa kolme tavoitetta. Alunperin suunniteltu tallettaa Si 3N neljä heijastuksia pinnoitteilla aurinkokennojen vaihtoehtona voidaan käyttää PECVD-koska SputterGlow prosessi ei edellytä haitallisten kaasujen, kuten SiH4 ja nitridin saostumista. Järjestelmä on Stepper robotiikka, lämmitetyt asemat ja ohjataan lap-top tietokone.

Oma tasomainen magnetroni tuottaa plasma alhainen tai korkea teho, riippuen tarpeesta. SputterGlow oli varmistaa prosessin tyhjiö eheys ja käyttää alumiini kammio (pitämään kustannukset kurissa).

Lue lisää SputterGlow

Kunnostettu Systems

Glow Tutkimus on ottanut maailmanlaajuisen vastuun osista ja palvelusta useita vanhempia yksiköitä Nordson maaliskuussa (maaliskuu Plasmod, maaliskuu Super Plasmod, maaliskuu PM-600 ja maaliskuun Jupiter RIE järjestelmät). Me jäädä osaamistamme ja tarjota uudelleen maaliskuussa ja Tegal plasma järjestelmiä. Katsokaa mitä uudestaan ​​järjestelmiä meillä on tarjota .