Plasma Cleaners, Plasma Etchers, Plasma Ashers ja Sputterointi (PVD) järjestelmät tarjoavat Glow Research. Glow Research valmistaa uuden AutoGlow plasma puhtaampia / etsaaja, OptiGlow plasma järjestelmät ja SputterGlow sputterointiin (PVD) järjestelmiin. Glow Tutkimus on myös ottanut osaa ja maailmanlaajuinen tuki useita vanhempia plasma järjestelmät Nordson maaliskuussa (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter RIE) ja rakentaa uuden plasma reaktorit eri vaatimukset ja kokoja. Ymmärrämme, että useimmat labs ja ihmiset, jotka ostavat plasma-järjestelmät vaativat paljon apua ennen ja jälkeen myynnin. Meillä on kyky ajaa näytteitä, ja auttaa asentamisen. Glow Tutkimus käsittelee Ilmaisia ​​näytteitä asiakkaille, jotka haluavat ehkä ostaa järjestelmiämme.

AutoGlow Plasma System

Plasma Cleaner. Voidaan käyttää pienellä teholla 10 wattia tai jopa 300 wattia, 13,56 MHz solid-state-generaattori, automaattinen viritys, paine-lukemat, typpi purge, pehmeä tuuletus, kolme kaasu tuloa ja on CE-merkitty. AutoGlow on 24 kuukauden takuu. Täydellinen hoitoon PDMS, orgaaninen poistaminen tai fotoresistin poisto.

AutoGlow plasma järjestelmää käytetään tuotannossa tehtaissa sekä Labs suunniteltu tarjoamaan lääketieteen, tieteen, koulutuksen ja mikroelektroniikan yhteisön kanssa plasma teknologiaa kohtuullisin kustannuksin. Sisältää 2 vuoden takuu.

Suuremmat AutoGlow järjestelmät ovat saatavilla anodisoitua alumiinia kamarit sopimaan asiakkaan tarpeisiin. AutoGlow järjestelmät voivat käsitellä 200 mm (8 ") kiekkoja.

Lue lisää AutoGlow

SputterGlow Sputterointi System

Täydellinen valinta tallettaa eristeiden ja metallit jopa kolme tavoitetta. Alunperin tarkoitus tallettaa Si 3 N 4 heijastuksia ehkäisevä pinnoite on aurinkokennojen vaihtoehtona käyttäen PECVD-koska SputterGlow Prosessi ei vaadi vaarallisia kaasuja kuten SiH 4 nitridi laskeuman. Järjestelmä on askelmoottori robotiikka, lämmitetyt asemat ja ohjataan lap-top tietokone.

Oma Planar magnetroni tuottaa plasma matalalla tai korkealla virtaa riippuen sinun tarvitse. SputterGlow oli varmistaa prosessin tyhjiö eheyden ja hyödyntää alumiini kammio (pitämään kustannukset kurissa).

Lue lisää SputterGlow

OptiGlow Plasma Systems

Käytetään Plasma pinnan muunnos-ja Plasma Treatment, Surface aktivointi. Hinnoiteltu alle 10.500 dollari (USD), tukeva, pöydässä OptiGlow plasma-järjestelmä on täydellinen tuotantoon tai lab sovelluksia. Helppo käyttää. Näyttö kammiopaine ja moduulin tila.

OptiGlow järjestelmä on ensimmäinen edullinen plasma-järjestelmä, jota voidaan käyttää lisätä kostuvuus ja mukavuutta piilolinssit ja eri materiaaleja. OptiGlow plasma-järjestelmä sopii käytettäväksi ennen pinnoitusta, laminointi ja pinnoitusprosesseilla, ja on erittäin tehokas hoidettaessa useimpia materiaaleja tai materiaalia. Käytetään Bio MEMS ja mikrofluidistiikka.

OptiGlow 75 plasma on kuin standardi OptiGlow, mutta on 75 wattia tehoa ja mahdollisuus käyttää jopa kaksi input kaasuja, kuten happea tai argonia.

leaning or E tching at 13.56 MHz. OptiGlow ACE on suunniteltu toimimaan shing, C nojaten tai E tching klo 13.56 MHz. OptiGlow ACE on suunniteltu korkeintaan kaksi kaasua tuloa ja voidaan käyttää CF4 tyyppi kaasuja. Eloksoitu alumiini kammio ja joko RIE tai Plasma olosuhteissa. Erinomainen pitkä prosessi ja poistaa kerroksia pakkauksiin tai puolijohdesiruja.

OptiGlow ACE (pesu, tuhkan, etsaus)

Lue lisää OptiGlow järjestelmät

Uudistetut Systems

Glow Tutkimus on ottanut maailmanlaajuisen vastuun osista ja palvelusta useita isompia yksiköitä Nordson maaliskuussa (maaliskuu Plasmod, maaliskuu Super Plasmod, maaliskuu PM-600 ja maaliskuun Jupiter RIE järjestelmät). Pysymme osaamisellamme ja tarjota uudelleen maaliskuussa ja Tegal plasman järjestelmiä. Katsokaa mitä uudestaan ​​järjestelmiä meillä on tarjota .