AutoGlow Plasma Systems

AutoGlow plasma-järjestelmä on pöytälevy plasma kemia reaktori on suunniteltu tarjoamaan lääketieteen, tieteen, koulutuksen ja tuotanto mikroelektroniikan yhteisölle plasma teknologiaan kohtuullisin kustannuksin. Järjestelmää käytetään tuotannossa sekä T & K-keskukset. Käytetään argon plasma, happi plasma, plasma pinnoite, PDMS, happi plasmakäsittelyn, valokuva vastustaa strippaus, FA sovelluksia, Paryleeni poisto, orgaaninen poisto ja laboratorioille.

Yliopistojen ja yritysten maailmanlaajuisesti löytää AutoGlow plasma-järjestelmä sopii täydellisesti heidän plasma tarpeisiin.

AutoGlow plasma-järjestelmä on tehokkain järjestelmä laatuaan markkinoilla, koska se vaihtelee 10 W ja 300 W, 13.56 MHz solid-state-generaattori. AutoGlow plasma-järjestelmä on suunniteltu myös tehokkaasti erittely kaasut käyttöön järjestelmän luomista reaktiivinen lajien nopeasti puhdistaa tai muuta näytettä. Automaattinen viritys ja paineen lukema sisältyvät. AutoGlow voi iskeä plasma niinkin alhainen kuin 10 Wattia!

Automaattinen / push-painikkeella.

Glow Tutkimus on ottanut parhaat mallit ja vanhojen järjestelmien ja päivitetään AutoGlow plasmajärjestelmän nykytekniikalla, myös meidän oma vaiheen laajuus ilmaisin ja SimpleMatch RF verkosto, joka mahdollistaa tehokkaan plasma viritys ja tarjoaa nopean käsittelyn ilman vaivaa jatkuvasti mukautumaan eri näytteen kuormat. AutoGlow on erittäin luotettava ja sillä on kahden vuoden takuu! Helposti replaceble moduulit ovat seuraavat: RF Generator, RF Match Network, Face Plate Module (ks. alla), kvartsi jaosto ja Gas Control Module. Lisätietoja ja tietoja, klikkaa "AutoGlow ominaisuudet" oikealla tällä sivulla .

Tässä on mitä hiljattain Asiakas oli sanottavaa heidän AutoGlow: "Kaikki toimii hyvin. Se vain chugs mukana niin kuin pitääkin. Olen vaikuttunut voimme melkein kokonaan tuhka AZ4620 kestää klo 125W muutamassa minuutissa. Minulla on joku myös käyttää sitä esikäsittelyyn PDMS ennen liimausta. Toimii hyvin siitä. "
 
AutoGlow 200 on suunniteltu enintään 200 mm alustoille tai 8 "kiekot, ja se voi suorittaa RIE tai plasma käsittelyä, riippuen siitä mikä näyte käytetty kantaja. Eloksoitu alumiini kammio voi accomidate vakio O2, Ar tai CF4 tyyppiä kaasujen etsausta sovelluksia. Hyvin todistettu elektroninen, RF-generaattori, jotka vastaavat verkko-ja kaasu-ohjaus on sama kuin standardi AutoGlow edellä. Ota yhteyttä Glow tutkimus lisätietoja AutoGlow 200.
AutoGlow 200 on sama asema diagnostinen kortti AutoGlow jossa vahvistetaan, että kaikki osa-moduulit toimivat oikein. Järjestelmä oikealla on
näytetään lisävarusteena typen kammio vent purge.
AutoGlow 200 voidaan käyttää Variety hakemusten plasma aktivointi, siivous, orgaaninen poisto, pre-laskeuma puhdistus   samoin kuin erilaisia ​​syövyttämällä sovelluksissa.
 
 
 
 
 

MIT on AutoGlow in Stata Centeristä, jota käytetään eri biolääketieteen ja mikrofluidistiikassa tutkimusta. Kuvassa Geraldine Paulus, jatko-opiskelija vastaa AutoGlow MIT Building 66 (Landau Rakennus Lab).

 
 
 

"Rice University on AutoGlow on Halas Research Lab. Järjestelmää käytetään poistamiseksi polymeeri kestää sovelluksiin plasmonics ja nanofotoniikan. Kuvassa Lisa Brown, jatko-opiskelija, joka käyttää AutoGlow valmistautua näytteitä pinta-avusteinen molekyylispektroskopian. "

Harvardin yliopiston AutoGlow järjestelmän Gordon McKay Lab. Järjestelmää käytetään orgaanisia poisto, pinnan muunnos ja palvelee useita tutkijoita DNA-tutkimusta ja ihmisen genomin sekvensointi. Kuvassa Gordon Whitlock puheenjohtaja Glow Research.

Kuvassa AutoGlow on Microsystems Technology Lab MIT. Tätä AutoGlow käytetään fotoresistillä puhdistamisesta ja pinnan muunnos. Tämä lab tekee tutkimusta MEMS, BioMEMS, Nanoteknologia ja fotoniikan.