OptiGlow Plasma Systems

Glow Tutkimus tarjoaa kolme erilaista OptiGlow plasma järjestelmät:

  • OptiGlow: Alin hinta. Pintamodifiointiin, käyttäen ilmaa prosessikaasun, yksi virtausmittari, 100 kHz, 50 wattia, alumiini kammioon, ilman säätelyjä, automaattinen ajastin. Sisältää sisäisen alipainepumppu. Push-painiketta, automaattinen toiminta.
  • OptiGlow 75: plasman puhdistus, PDMS hoitoa, aktivointi, pinnan muunnos käyttämällä ilma, happi, argon tai typpi jalostukseen. On kaksi virtausmittarit, 100 kHz, 75 wattia, ei säätelyjä, automaattinen ajastin ja alumiini kammio. Ulkoinen alipainepumppu (suosittelemme Fomblin öljyä hapen käsittelyä). Push-painiketta, automaattinen toiminta.
  • leaning, E tching (ACE). OptiGlow ACE: For shing / Aktivointi, C kallellaan, E tching (ACE). Eloksoitu alumiini kammio, 10-150 wattia, automaattinen viritys 13,56 MHz, kaksi virtausmittarit, plasma tai RIE tyyli käsittely happi, argon tai CF4 kemia. Ihanteellinen etsaus IC paketteja tai muita etsaus / puhdistus applicaitons. Onko näytteen pidin kaksi hyllyä ... ylähyllyllä on RIE, alahylly plasman käsittelyyn. Suunniteltu pitkän käsittelyajan-painonappi, automaattinen toiminta.

OptiGlow ACE voidaan käyttää jäännösten poistamiseksi muovia IC: n vika-analyysi. Tässä on joitakin tietoja asiakaspalvelusta, JHT Instruments, LLC.

Kommentit JHT Instruments, LLC: 1,5 tunnin kuluttua käsittelyn ajan seuraavissa olosuhteissa: Unit päälle "hyllylle", näytteen pitimen, 100mt paine, 100W teho. LSO puhdistetaan pinnan yksikön IPA: lla. Seuraavat kuvat havainnollistavat prosessin pakattu laitteen läpi halutulle poistetaan kuolevat pinnalle. ACE näyttää olevan melko "käyttäjäystävällinen" ja tehokasta.

Vasemmalla: post-lakkaus (die kevyesti näkyvissä)
Oikealla: Post 1,5 tuntia polttoupokkaaseen, 100 wattia,
päällä (RIE) hylly.
 
OptiGlow:

Suunniteltu Air Plasma, Plasma Treatment, piilolinssien hoito, lisäys Kastuvuus, pintakäsittely ja General Plasma System. Tukeva, pöydässä OptiGlow plasma-järjestelmä on täydellinen tuotantoon tai lab sovelluksia. OptiGlow plasma-järjestelmä on ensimmäinen edullinen plasma-järjestelmä on suunniteltu lisäämään wetability ja mukavuuden tasoa piilolinssejä. OptiGlow on myös hoitoon materiaalia ennen päällystystä, laminointi-tai saostumista, ja on erittäin tehokas hoidettaessa erilaisia ​​substraatteja tai materiaalia. Lisääntynyt pinta energiaa materiaali parantaa tarttuvuutta ominaisuuksia, jolloin parempi liimaus, liimaus, markability, maalattavuuteen ja coatability.

  • Hydrofiilinen pintakäsittely
  • Lisää tarttuvuutta ja kapillaari vaikutukset
  • Hydrofiilisiä käsittely mikro kanavien
  • Käytetään Bio MEMS ja mikrofluidistiikassa
  • Valvonta pintaominaisuudet
  • Parantaa elektro virtaus (EOF) eri materiaalia
  • Hoito PDMS
  • Välittää proteiinin ja solu-hylkivät ominaisuudet joidenkin materiaalien
  • Ihanteellinen ennen pinnoitusta laminoimalla tai pinnoitusprosesseilla
  • Puhdistaa ja aktivoi ennen tulostusta tai liimaus

Hydrofobisten: Piilolinssi materiaalia ilman OptiGlow plasma hoitoa.

OptiGlow plasma-järjestelmä sisältää alumiini kammioon ja luotettava 100kHz, matalien taajuuksien RF Generator. Pumppu on rakennettu järjestelmä. Kytke OptiGlow plasmajärjestelmän ja olet valmis käsittelemään. OptiGlow plasma-järjestelmä on suunniteltu käyttämään huoneen ilmaa prosessikaasun.

Hinnoiteltu alle 10.500 dollari (USD), OptiGlow plasma-järjestelmä soveltuu optisten labs, piilolinssien valmistajia ja yliopistoihin, jotka löytävät sen täydellisesti heidän plasma tarpeisiin sekä niiden talousarvioon.

Hydrofiilinen: Parannettu webabilty kanssa OptiGlow plasma hoitoon.

Kaasun plasmakäsittelyn tarjoaa nopean ja tehokkaan menetelmän pinnan modifiointi piilolasien tai erilaiset polymeerit ja materiaaleja. OptiGlow plasma käsittely voi lisätä wetability, parantaa voitelevuus ja mahdollistaa laskeuman biologisesti yhteensopivien materiaalien. Piilolinssi plasmakäsittelyn on yhteinen sovellus, jossa linssin pinnan hapetetaan luoda hydrofiilinen linssin pinnan, joka on vastustuskykyinen proteiinin saostumista. Plasma prosessi mahdollistaa parantaa mukavuutta ja pidentää kulumista.

Kammio

Plasma kamari, valmistettu korkealuokkaisesta 6061-T: alumiinia, kestää kemikaaleja ja helppo puhdistaa. Virta syötetään yläelektrodi kautta RF-syötteen läpi, ja alumiinin kammion toimii maa-mahdollistaa yhtenäisen plasman käsittelyä.

Järjestelmän ohjausyksikkö valvoo paine, ajastettuja teho ja todellinen teho. Jostain plasmakäsittely, on tärkeää tietää kammion paine varmistaa asianmukaisen ja toistettavissa prosessi. Suhteellinen kammion paine näkyy edessä järjestelmä.

Process Control

Virtausmittari on asennettu eteen OptiGlow plasmajärjestelmän helposti kaasun säätö-ja katselua varten. Sisäinen solenoidi sulkeutuu kaasu pois, kun prosessi on aikakatkaistiin. Tämä mahdollistaa toistettavat tuotannon, jalostuksen tarvitsematta jatkuvasti säätää kaasun virtausta myöhemmin plasma hoitoja. Kammion painetta ohjataan kaasun virtaus kammioon. Kuten turvallisuuden suoja-prosessissa kaasu on vain pääsee virtaamaan sisään reaktiokammioon, jos kaikki lukitukset on vahvistettu.

Virta ja Matching Network

OptiGlow plasma-järjestelmä on varustettu 100 KHz, 50 Watt Low Frequency Generaattori ja sisäänrakennettu vastaava yksikkö. Ei viritys on välttämätöntä ja vahva, kestävä plasma hehku on automaattisesti jokaisella aikavälillä.

Turvallisuus

Vakio-ominaisuuksia ovat painike, joka päättyy RF sähkön ja kaasun flow.Safety lukitukset estää aktivoinnin RF-teho ja virtaus, kun kansi on auki tai jos kannet poistetaan. OptiGlow plasma on läpäissyt tiukan testauksen ja on CE-merkitty. Suunniteltu USA ja International teho (110 tai 230 VAC).