SputterGlow Ominaisuudet

  • Reaktiivinen Sputterointi Si 3 N 4 tai muita elokuvia
  • Vähentää tarvetta Silaani Gas
  • Helppo helpottavan Lab, ei haitallisia kaasuja tarvitaan
  • Jopa kolme tavoitetta
  • Talletus eristeiden Metals
  • 200 mm Vohvelit (tai pienempi) tai 156 mm x 156 mm Solar Cells
  • Lämmitys Options (jopa 400 ° C)
  • 1200 W, 13,56 MHz suurtaajuusgeneraattorin
  • Automaattinen viritys
  • Turbo ja Tausta Pump
  • Vesijäähdytys magnetroni Sputterointikoneet
  • Stepper Hallittu Alustan käsittely
  • Tietokone tai manuaalinen ohjaus Mittarit
  • MFC valvonta kaasujen
  • LED-diagnostiikka

Options

  • Alustan Bias
  • RGA
  • Kiertävät Target Jäähdytys
  • Viewport Windows

Kaikki SputterGlow järjestelmissä mukana 12 kuukauden takuu, omistajan käsikirja, video asianmukaista perustaa järjestelmän ja toiminnan. Glow Tutkimus antaa myös paikan päällä kentän palvelu tukee käynnistyksen järjestelmän.

Lisätietoja saat soittamalla Glow Research USA 480-621-8405 tai Lähetä meille sähköpostia .