Nettoyeurs plasma, Etchers Plasma, Plasma et Ashers dépôt par pulvérisation cathodique (PVD) sont fournis par les systèmes de recherche Glow. Recherche Glow fabrique le nouveau nettoyant AutoGlow plasma / graveur, le OptiGlow systèmes plasma et le dépôt par pulvérisation SputterGlow (PVD) systèmes. Recherche Glow a également repris les parties et le soutien dans le monde entier pour plusieurs systèmes plasma âgées de Nordson MARS (Plasmod, Super Plasmod, PM-600, Jupiter RIE) et construit des réacteurs plasma de nouvelles exigences et de tailles diverses. Nous comprenons que la plupart des laboratoires et des gens qui achètent des systèmes plasma nécessitent beaucoup d'assistance avant et après la vente. Nous avons la possibilité d'exécuter vos échantillons, et d'aider à l'installation de votre système. Recherche Glow traiter des échantillons gratuit pour les clients qui pourraient vouloir acheter nos systèmes.

AutoGlow système plasma

Nettoyeur Plasma. Peut être utilisé à faible puissance de 10 watts ou jusqu'à 300 watts, 13.56 MHz générateur de l'état solide, syntonisation automatique, la pression de lecture, purge à l'azote, aération douce, trois entrées de gaz et est marqué CE. Le AutoGlow vient avec une garantie de 24 mois. Parfait pour le traitement des PDMS, élimination des matières organiques ou de photorésistant retrait.

Le système AutoGlow plasma est utilisé dans les usines de production ainsi que des laboratoires conçus pour fournir le médical, scientifique, éducatif et de la microélectronique communauté avec la technologie plasma à un coût modéré. Inclut une garantie de 2 ans.

Systèmes AutoGlow plus grands sont disponibles avec les chambres en aluminium anodisé pour s'adapter aux exigences du client. Systèmes AutoGlow peut traiter 200 mm (8 ") gaufrettes.

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SputterGlow système de dépôt par pulvérisation cathodique

Un choix parfait pour déposer les diélectriques ou les métaux avec jusqu'à trois cibles. Initialement conçue pour le dépôt de Si 3 N 4 revêtements anti-reflet sur ​​les cellules solaires comme une alternative à l'utilisation PECVD parce que le processus ne nécessite pas SputterGlow gaz dangereux tels que SiH 4 pour le dépôt de nitrure. Le système a stepper robotique, les stations chauffée, et est contrôlé par un ordinateur lap-top.

Les propriétaires magnetron planaire génère un plasma avec une puissance faible ou élevée en fonction de votre besoin. Le SputterGlow a été conçu pour assurer l'intégrité procédé sous vide et d'utiliser une chambre en aluminium (pour garder les coûts bas).

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OptiGlow Plasma Systems

Utilisés pour la modification de surface par plasma et de traitement au plasma, l'activation de surface. Un prix inférieur à 10 500 $ (USD), le robuste table OptiGlow système plasma est idéal pour les applications de production ou en laboratoire. Facile à utiliser. Affichage de la pression de chambre et l'état du module.

Le système OptiGlow est le premier système à faible coût qui plasma peut être utilisé pour augmenter la mouillabilité et le confort des lentilles de contact et de divers matériaux. Le système de plasma OptiGlow est idéal pour une utilisation avant le revêtement, le laminage et les procédés de dépôt, et est très efficace pour traiter un large éventail de substrats ou de matériel. Utilisé dans les MEMS et la microfluidique Bio.

Le système OptiGlow plasma 75 est comme le OptiGlow standard, mais avec avec 75 watts de puissance et la possibilité d'utiliser jusqu'à deux gaz d'entrée, comme l'oxygène ou l'argon.

leaning or E tching at 13.56 MHz. L'ACE OptiGlow est conçu pour effectuer une shing, C inclinés ou tching E à 13,56 MHz. L'ACE est conçu pour OptiGlow jusqu'à deux entrées de gaz et peut être utilisé avec les gaz CF4 type. Chambre de l'aluminium anodisé et des conditions de RIE ou plasma soit. Parfait pour un long processus enlève des couches sur les emballages ou les semi-conducteurs.

OptiGlow ACE (nettoyage, incinération, Gravure)

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Systèmes Reconstruite

Recherche Glow a pris la responsabilité dans le monde entier pour les pièces et services de plusieurs unités de plus de Nordson MARS (Mars Plasmod, Mars super Plasmod, Mars PM-600 et Mars à Jupiter systèmes RIE). Nous restons avec notre expertise et notre offre reconstruit Mars et Tegal systèmes plasma. Jetez un oeil à ce que les systèmes reconstruits nous avons à offrir .