AutoGlow Systèmes Plasma

Le système AutoGlow plasma est un réacteur de chimie table plasma conçu pour fournir à la communauté médicale, scientifique, éducatif et la production de la microélectronique avec la technologie du plasma à un coût modéré. Le système est utilisé dans la production ainsi que des centres de RD. Utilisé pour un plasma d'argon, un plasma d'oxygène, revêtement par plasma, PDMS, le traitement par plasma d'oxygène, de résine photosensible de décapage, les applications FA, l'enlèvement parylène, élimination des matières organiques et l'utilisation en laboratoire.

Les universités et les entreprises dans le monde de trouver le système de plasma AutoGlow la solution idéale pour leurs besoins de plasma.

Le système AutoGlow plasma est le système le plus efficace de son genre sur le marché en raison de son variable de 10 Watt à 300 Watt, 13,56 MHz générateur de l'état solide. Le système AutoGlow plasma est également conçu pour gaz de décomposition efficacement introduites dans le système créer des espèces réactives qui rapidement nettoyer ou la modifier l'échantillon. Réglage automatique de lecture et une pression sont inclus. Le AutoGlow peut frapper un plasma aussi bas que 10 Watts!

Automatique / par bouton-poussoir.

Recherche Glow a pris les meilleurs designs des anciens systèmes, et mis à jour le système plasma AutoGlow avec la technologie actuelle, y compris notre détecteur de phase ampleur propriétaire et SimpleMatch RF réseau qui permet un réglage du plasma efficace et assure un traitement rapide, sans la peine de constamment s'adapter à divers échantillons charges. Le AutoGlow est très fiable et a une garantie de deux ans! Modules facilement remplaçable dans le système sont les suivants: générateur RF, Réseau match RF, module Face Plate (voir ci-dessous), la Chambre de quartz et le module de commande du gaz Pour plus de données et d'informations, s'il vous plaît cliquer sur les "Caractéristiques AutoGlow" vers la droite sur cette page. .

Voici ce qu'est un client récent avait à dire au sujet de leur AutoGlow: «Tout fonctionne très bien. Il chugs juste le long comme il se doit. Je suis impressionné que nous pouvons presque entièrement en cendres AZ4620 résister à 125W en quelques minutes. J'ai quelqu'un l'utilise aussi pour le prétraitement de PDMS avant le collage. Fonctionne très bien pour cela. "
 
Le AutoGlow 200 est conçu pour un maximum de 200 mm ou 8 substrats "gaufrettes, et peut effectuer ou de plasma RIE traitement-selon le porte-échantillon utilisé. La chambre en aluminium anodisé peut accomidate norme O2, Ar ou CF4 gaz de type pour la gravure des applications. Le ainsi révélée électronique, générateur RF, correspondant réseau et de commande de gaz est la même que la AutoGlow type au-dessus. S'il vous plaît contactez la recherche Glow pour plus d'informations sur la AutoGlow 200.
Le AutoGlow 200 a la carte même statut que le diagnostic AutoGlow ce qui confirme que tous les sous-modules fonctionnent correctement. Le système à la droite est
représenté par la purge d'évent d'azote chambre facultative.
Le AutoGlow 200 peut être utilisé pour une Varity des demandes de l'activation plasma, de nettoyage, l'élimination biologique, de pré-dépôt de nettoyage   ainsi qu'un grand nombre d'applications de gravure.
 
 
 
 
 

MIT a une AutoGlow dans le centre Stata qui est utilisé pour biomédicale différents et la recherche microfluidique. Sur la photo, est un Paulus Geraldine, un étudiant au doctorat en charge de la AutoGlow au MIT Bâtiment 66 (Landau bâtiment Lab).

 
 
 

«Rice University a un AutoGlow dans le laboratoire de recherche Halas. Le système est utilisé pour l'élimination de polymère résiste à des applications dans la plasmonique et la nanophotonique. Sur la photo, Lisa Brown, un étudiant au doctorat qui utilise le AutoGlow pour préparer des échantillons de surface-enhanced spectroscopie moléculaire. "

Système AutoGlow l'Université de Harvard dans le laboratoire de Gordon McKay. Le système est utilisé pour l'élimination biologique, modification de surface et sert les besoins de plusieurs chercheurs travaillant sur la recherche de l'ADN et le séquençage du génome humain. Sur la photo, Gordon Whitlock, président de la recherche Glow.

Sur la photo, est le AutoGlow au Laboratoire technique des microsystèmes au MIT. Cette AutoGlow est utilisé pour l'élimination de résine photosensible, de nettoyage et de modification de surface. Ce laboratoire effectue des recherches dans les MEMS, BioMEMS, la nanotechnologie et la photonique.