Caractéristiques AutoGlow

Le système AutoGlow plasma a de l'électronique à semi-conducteurs, mis à jour les options de livraison de gaz et de la technologie qui est attendu par les utilisateurs et le personnel de sécurité à travers le monde. La taille plus grande chambre peut accueillir une 6 "substrat et est 160mm (ID) diamètre x 186,94 mm (ID) de profondeur et est fait de quartz de haute pureté. Le système et la chambre sont conçus pour accroître l'uniformité et la répétabilité par rapport aux autres systèmes à plasma sur table.

Le système AutoGlow plasma a été conçue pour être de faible puissance ou fonctionnement à haute puissance avec un 10-300 variables watts, 13,56 MHz générateur à l'état solide rendant le système de plasma AutoGlow le système le plus efficace de son genre sur le marché. L'opérateur peut exécuter un processus moins 10 watts ou plus élevé que 300 watts pour un traitement plus agressif. La puissance peut être ajustée par paliers de 1 watt.

  • Petit, de table système
  • Variable de 10 à 300 Watts à 13,56 MHz pour le traitement doux ou plus agressif
  • Chambre en quartz de haute pureté
  • Électronique-pas à l'état solide des tubes
  • Propriétaire détecteur à état solide pour le réglage rapide
  • La syntonisation automatique pour le traitement du plasma efficace
  • Pression lecture facile pour le traitement
  • Minuteur
  • Affiche puissance directe et réfléchie et point de consigne RF
  • AutoTell carte de diagnostic pour une disponibilité améliorée
  • Chambre de distribution de gaz pour améliorer l'uniformité
  • Évent doux pour éviter la pression d'éclatement
  • Module optionnel de contrôle de gaz avec un maximum de trois entrées de gaz
  • Plasma uniforme pour des résultats rapides et efficaces
  • Propriétaire générateur RF et le réseau match pour la puissance réfléchie minimale quel que soit le réglage de la puissance
  • Réseau SimpleMatch correspondant pour le réglage rapide
  • Protection contre les UV intégrée dans la porte avant vue
  • Système entièrement caractérisé pour des résultats reproductibles
  • Facile à comprendre-facile à utiliser
  • Tous les composants électroniques sont sur deux plug dans les conseils pour faciliter la réparation
  • Aide au démarrage
  • Start-up vidéo
  • Manuel complet et la documentation
  • Garantie de 24 mois

La conception de la AutoGlow commence par de la tôle utilisée sur le système. Tôle est traitée et masqués pour assurer la conception RF bon.
Le boîtier métallique est masqué de manière à augmenter le contact métal sur métal ... pour éliminer les fuites RF. Cela signifie que le AutoGlow va frapper un plasma rapidement, indépendamment de la charge de l'échantillon. Une bonne mise au point RF commence avec la conception du meuble.
Le AutoGlow est modulaire. Le générateur RF peut être facilement retiré de l'arrière du système. La Chambre peut être facilement enlevé. Tous les appareils électroniques du système sont sur une seule carte remplaçable (fixée sur le panneau d'affichage frontal). Les seules connexions nécessaires sont d'électricité, de vide et de gaz (tous représentés). Il suffit de brancher la prise secteur, connectez la pompe à vide et votre gaz ... et vous êtes prêt à traiter vos échantillons.

La carte de diagnostic confirme que tous les modules fonctionnent correctement.

 

 

 

 

 

Le Réseau match RF est extrêmement rapide des condensateurs tourner sur 360 degrés, ce qui permet l'AutoGlow pour régler extrêmement rapide quelle que soit la charge de l'intérieur de la chambre de traitement.

L'électrode supérieure est sous tension et l'électrode inférieure est mise à la terre, qui produit un processus chimique. Le AutoGlow peut courir à partir aussi bas que 10 watts pour le traitement doux, ou en tant que élevée que 300 watts pour un traitement plus agressif.

Tous les appareils électroniques sont sur une carte électronique. Cette carte est montée à l'arrière du panneau de commande frontal. L'assemblage du panneau avant peuvent être facilement remplacés.