Caractéristiques AutoGlow

Notez le tube Distrubution gaz dans la chambre - ce qui contribue à l'uniformité processus.

Le système de plasma a AutoGlow électronique des solides, mis à jour les options de livraison du gaz et de la technologie qui est attendu par les utilisateurs et le personnel de sécurité à travers le monde. La taille de la chambre est 144.27mm (5,68 po) de diamètre par 186.94mm profonde (7,36 po) et est composée de quartz de haute pureté. Le système et la chambre sont conçus pour accroître l'uniformité et la répétabilité par rapport aux autres systèmes plasma de table. Une grande chambre est également disponible.

Le système AutoGlow plasmatique a été conçu soit pour de faible puissance ou une opération de grande puissance avec une variable de 10 à 300 watts, 13.56 MHz générateur d'état solide rendant le système plasma AutoGlow les plus efficaces du système de son genre sur le marché.

  • Petit, de table système
  • Variable de 10 à 300 Watts à 13,56 MHz pour le traitement doux ou plus agressif
  • Chambre de quartz de haute pureté
  • Solid state electronics-pas de tubes
  • Proprietary détecteur à l'état solide à réglage rapide
  • Réglage automatique pour le traitement du plasma efficaces
  • Pression lecture facile pour le traitement
  • Minuterie
  • Affiche puissance directe et réfléchie du point de consigne et de RF
  • AutoTell carte de diagnostic pour une disponibilité améliorée
  • Distribution de gaz de chambre pour une meilleure uniformité
  • Évent doux pour éviter la pression d'éclatement
  • En option Module de contrôle de gaz avec un maximum de trois entrées de gaz
  • Plasma uniforme pour des résultats rapides et efficaces
  • Proprietary générateur RF et réseau match pour la puissance réfléchie minimale quel que soit le réglage de puissance
  • Réseau SimpleMatch contrepartie pour ajustage rapide
  • Protection anti-UV intégré dans la porte vue de face
  • Système entièrement caractérisé pour des résultats reproductibles
  • Facile à comprendre, facile à utiliser
  • Toute l'électronique est sur deux planches pour brancher réparation facile
  • L'appui au démarrage
  • Start-up video
  • Manuel complet et de documentation
  • Garantie de 24 mois
La conception de la AutoGlow commence avec la tôle utilisée sur le système. Le métal est recouvert de zinc et

Feuilles de métal sont traitées et masqués pour assurer RF bon design.cured pour assurer une bonne adhérence de la peinture avec le contact électrique correcte. L'armoire métallique est masqué de manière à augmenter le contact métal-métal ... pour éliminer les fuites RF. Cela signifie que le AutoGlow va frapper un plasma rapidement, indépendamment de la charge de l'échantillon. Une bonne optimisation RF commence avec la conception du cabinet. Le AutoGlow est modulaire. Le générateur de RF peut être facilement retiré de l'arrière du système. La Chambre peut être facilement retiré. Toute l'électronique du système sont sur une seule carte remplaçable (attaché au panneau d'affichage avant). Les seules connexions nécessaires sont d'électricité, de vide et de gaz (tous représentés). Il suffit de brancher la prise secteur, conect la pompe à vide et votre gaz ... et vous êtes prêt à traiter vos échantillons.

 

 

 

 

 

 

Le Réseau du match RF est extrêmement rapide des condensateurs virage à 360 degrés, ce qui permet à l'AutoGlow de régler très rapidement quel que soit le charge à l'intérieur de la chambre de traitement.

L'électrode supérieure est alimenté et l'électrode inférieure est fondée-ce qui produit un processus chimique. Le AutoGlow pouvez exécuter d'aussi peu que 10 watts pour le traitement doux, ou aussi haut que 300 watts pour un traitement plus agressif.

Glow plasma typiques. La porte de la chambre de quartz a une protection UV pour répondre aux nouvelles normes de sécurité