Tegal 903e

Cassette à cassette En ligne unique Etcher Plasma Wafer. Possibilité de gravure des vias et de contacts. Pour la gravure en dioxyde de silicium, nitrures de silicium, et les polyamides. Le système est vendu avec la consultation de la facilitation et le bon fonctionnement. Le système est opérationnel et peut être démontrée à notre centre de support client à Mesa, en Arizona. Diverses améliorations sont disponibles pour répondre à vos besoins spécifiques.

Peut gérer des plaquettes de 3 po à 6 po Actuellement configurée pour 4 po plaquettes.

• Contrôle par microprocesseur
• Actuellement configurée pour 4 po (100mm) plaquettes.
• ENI 1000 Watt 13,56 MHz générateur RF.
• Capacité de 20 recette de processus
• Gaz à effet de processus contrôlé par Tylan MFC
• Non-friction spatule choisir et de transport de plaquettes place.
• Leybold D65 pompe de service d'oxygène (en option pompe à sec disponible)
• Deux Tegal fermés régulateurs de température en boucle
• Décembre Ecran et clavier
• Non-friction spatule choisir et de transport de plaquettes place.
• Manuels inclus, 208 V, 50/60 Hz

(Vente en cours)